摘要
D+3?p rS_G;}Zr 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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SvM\9 FE\E%_K'n7 建模任务
Ax&!Nz+? ,!l _
kM506U<g 光栅特性与参数的严格分析
;stuTj@vH ByY2KJ7 不同光栅周期下的衍射效率
H ni^S mcV<)UA}
9,'m,2%W pq{`WgA^ 关于光栅周期选择的考虑
t,7%|
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6Cj7 =|L7 X(ph$,[ 偏振相关的衍射特性
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&IQ=M.!r U*[E+Uq}:N
J,?#O#j z?\it(
lD,2])> - Z,Qj"V 通过参数优化进行光栅设计
'GJB9i+a^ |Mq+QDTTw~ 固定周期的2D参数优化
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I_<VGU k 2D参数优化–设计1
4f\NtQ) Xfc$M(a
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">bhxXeiN ^&?,L@fW 2D参数优化–设计2
h-P|O6@Ki Wi&v?nm
BD
C DQ f)*"X[)o 制造
公差分析–设计2
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efQ8jO |qw0:c=7! 变化光栅周期的3D参数优化
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(GmBv \(Sly&gL 制造公差分析
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AL VirtualLab Fusion中的工作流程
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#kC~qux^ rwq •构造光栅
结构 ;_cTrjMv\ −
通过使用界面来配置光栅结构 =d{6=2Pt [用例]
z&%i"IY •分析光栅衍射效率
T)mQ+&| −
光栅级次分析器[用例]
xWG@<}H •使用参数运行搜索初始解决方案
,R{&x7 −
参数运行文档的使用[用例]
ZexC3LD" •通过参数优化找到最终设计
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p VirtualLab Fusion技术
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