摘要
rvETt ((
{4)5} 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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l~'NqmXe 4n}^1eQ9 建模任务
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Zd<8c^@ 光栅特性与参数的严格分析
!~QmY,R p -wEPC0 不同光栅周期下的衍射效率
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+ieRpVg |yYu!+U 关于光栅周期选择的考虑
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VhX~sJ1%Gp MB!$s_~o#L 偏振相关的衍射特性
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M'}iIO`L CSNfLGA 通过参数优化进行光栅设计
MtXTh*4 {3){f;b 固定周期的2D参数优化
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pHv~^L%= 2D参数优化–设计1
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JSK 2D参数优化–设计2
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q&0I7OV h?+bW'm 制造
公差分析–设计2
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A-5'OI =.yKl*WV{ 变化光栅周期的3D参数优化
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;=F]{w]$+ ZhYOz 制造公差分析
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7^*[ XH XfYhLE 走进VirtualLab Fusion
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C">w3#M% Y=YIz>u VirtualLab Fusion中的工作流程
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N_eZz#); -3T~+ •构造光栅
结构 k.("<) −
通过使用界面来配置光栅结构 e9@7GaL`"S [用例]
i!DO •分析光栅衍射效率
4Y:[YlfD. −
光栅级次分析器[用例]
,+hH|$ •使用参数运行搜索初始解决方案
^*A8 NdaB −
参数运行文档的使用[用例]
M73d^z •通过参数优化找到最终设计
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