摘要
, s otZT 'rS\9T 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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)_n(u3' )MLbE-@ 建模任务
zg@i7T v=+3AW-|v
P-$ , 光栅特性与参数的严格分析
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Pd;% xK)<763q> 不同光栅周期下的衍射效率
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y\(xYB>T AWPgrv/ 关于光栅周期选择的考虑
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Q`6hJgyL $G 6kS@A 偏振相关的衍射特性
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Mw"[2PA NFtA2EMLu[
<;'{Tj-" nd,\<}uP9 通过参数优化进行光栅设计
(d@(QJ \IYv9ScAx 固定周期的2D参数优化
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\ykA7Y% 2D参数优化–设计1
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[` }w7 a&2x;diF 2D参数优化–设计2
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n[r1h=?j3 _Ve)M% 制造
公差分析–设计2
Gd`7Tf)' SK&1l`3
-5]lHw} 4p+Veo6B 变化光栅周期的3D参数优化
"#gS ?aS :is2 &-|x
?(Tin80=r ^'du@XCf} 制造公差分析
(x@J@ GP* YU`k^a7%
.iP>?9$f" +4Wl 走进VirtualLab Fusion
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0H.bRk/P+ b{)kup VirtualLab Fusion中的工作流程
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8.^`~ta /.rj\, •构造光栅
结构 `#85r{c$: −
通过使用界面来配置光栅结构 $I/ !vV [用例]
c+7I •分析光栅衍射效率
\K}KnJ −
光栅级次分析器[用例]
"'+C% •使用参数运行搜索初始解决方案
q[W@.[2y) −
参数运行文档的使用[用例]
hVT>HER •通过参数优化找到最终设计
e]ST0J" I(3~BOUn_ VirtualLab Fusion技术
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