摘要
sG/mmZHYzr ];-DqK' 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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8sDbvVh1F fkprTk^# 建模任务
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!besMZ 光栅特性与参数的严格分析
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不同光栅周期下的衍射效率
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ArFsr B? Vr9H 7n 关于光栅周期选择的考虑
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wD|3Czc g>lJZD@ 偏振相关的衍射特性
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@}#" o `1cGb *b/ 通过参数优化进行光栅设计
^i"C%8 j\^0BTZ 固定周期的2D参数优化
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y$n7'W6 2D参数优化–设计1
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\9U4V>p 9;Z2.P"w 2D参数优化–设计2
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>\ i[:S *`@S 制造
公差分析–设计2
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Fq{Z-yVp [x{S ,?6 变化光栅周期的3D参数优化
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'%W'HqVcG1 qz|`\^ 制造公差分析
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@W\y#5"B Mo+mO&B 走进VirtualLab Fusion
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0D[D;MW 0nkon3H VirtualLab Fusion中的工作流程
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O"otzla DVu_KT[H d •构造光栅
结构 ~<M/<%o2* −
通过使用界面来配置光栅结构 /Q7cQ2[EU [用例]
"J0,SFu: •分析光栅衍射效率
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