摘要
<^'{ G s.ey!ew 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Ug` | &\^n2`> 建模任务
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?/L1tX) 光栅特性与参数的严格分析
dK7 ^ Xa6qvg7/ 不同光栅周期下的衍射效率
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A8`orMo2 3~8AcX@ 关于光栅周期选择的考虑
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~l@%=/m 0MhxFoFO 偏振相关的衍射特性
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r]Z.`}Kkm ]dQZ8yVK 通过参数优化进行光栅设计
RH1U_gp4 ] @V*au: 固定周期的2D参数优化
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~MD><w> 2D参数优化–设计1
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I\)N\move jR}*bIzv 2D参数优化–设计2
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0!)U *+j, NF@i#: 制造
公差分析–设计2
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Gf!t< =T _y.mpX& 变化光栅周期的3D参数优化
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.kz(V5 h6K!|-Gq. 制造公差分析
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NO%|c|B| r< N-A?a 走进VirtualLab Fusion
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>IR`] F^J&g%ql VirtualLab Fusion中的工作流程
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Vu^Q4Z jTGS6{E •构造光栅
结构 g#pIMA#/ −
通过使用界面来配置光栅结构 sf=%l10Fk# [用例]
0EF,uRb •分析光栅衍射效率
U<#$w{d: −
光栅级次分析器[用例]
~{kA) : •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
/i\uwa, •通过参数优化找到最终设计
Ej9/_0lt ([z<TS#Md VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings Vb"T],N1m Hj-<{#, (来源:讯技光电)