摘要
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s"~,Zzy@j 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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BF"eVKA 2#8PM-3" 建模任务
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.tsXQf 光栅特性与参数的严格分析
DLO#_t^v. fT=ZiHJ3Gu 不同光栅周期下的衍射效率
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MfA%Xep ~se
;L 关于光栅周期选择的考虑
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-:wV3D 偏振相关的衍射特性
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\P*%u 通过参数优化进行光栅设计
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~ @Q:?, 固定周期的2D参数优化
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公差分析–设计2
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d"+ _`d=` 3W3d $ 变化光栅周期的3D参数优化
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^.Q/iXgh hiaTJE|J? 制造公差分析
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4_\]zhS 'RCX6TKBnR •构造光栅
结构 q -^Z=,< −
通过使用界面来配置光栅结构 l3kBt-m [用例]
}iR!uhi# •分析光栅衍射效率
d.NB@[?* −
光栅级次分析器[用例]
8SMa5a{ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
f=40_5a6 •通过参数优化找到最终设计
VHU,G+ms r$Y% 15JV VirtualLab Fusion技术
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