摘要
8>V5dEbx' ?Ob3tUz2 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
0IpmRH/ 28nFRr
v>56~AJ ,0k;!YK 建模任务
7o4\oRGV T;#FEzBz
;Xw~D_uv 光栅特性与参数的严格分析
(w{j6).3Dj \Cj B1]I 不同光栅周期下的衍射效率
yHGADH0B A=4OWV?
#1[u(<AS :pUtSs7p} 关于光栅周期选择的考虑
Ls%MGs9PI fZ. ONq
h\e.e3/ ;bG>ZqJCVA 偏振相关的衍射特性
|^aKs#va $C\BcKlmv
8_8l.!~ ;aBG,dr}i
RZ7@cQY
6 r"<jh #
+0~YP*I`/ G?ZXWu. 通过参数优化进行光栅设计
"8RSvT<W^5 Z7#+pPt! 固定周期的2D参数优化
. ^u,. {FGj]*
WM{=CD 2D参数优化–设计1
/mMV{[ +:f"Y0
j6YOKJX "zc l|@ 2D参数优化–设计2
<[v[ci y(&Ac[foS}
d1*<Ll9K }#J/fa9
! 制造
公差分析–设计2
5bIw?%dk( #ABCDi={zA
=-T]3! ibw;}^m( 变化光栅周期的3D参数优化
pw#-_ ,_P-$lB
i1085ztN jylD6IT 制造公差分析
$:6!H:ty YQ}o?Q$z
[K Qi.u }b}m3i1 走进VirtualLab Fusion
=AT."$r>
~,Qp^"rlW
NHt\
U9l' 0_/[k*Re VirtualLab Fusion中的工作流程
>l m&iF3y [Pp'Ye~K@c
m~|40) 6Zo}(^Ovz •构造光栅
结构 xk5]^yDp −
通过使用界面来配置光栅结构 TpaInXR [用例]
iscz}E,Y •分析光栅衍射效率
s.rm7r@# −
光栅级次分析器[用例]
sKWfXCd •使用参数运行搜索初始解决方案
x;S @bY −
参数运行文档的使用[用例]
n<,BmVQ •通过参数优化找到最终设计
y-k.U% b>|6t~}M VirtualLab Fusion技术
(Z*!#}z` %>yL1BeA4
_t$sgz& 0sqFF[i 文件信息
\bF{-" 7. ~&T~1xsFJ
4Ig;3 ^%71 do%&m]#; 更多阅览
;jXgAAz7 -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers .8R@2c`}Cs -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block #R"*c
hLV -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings =(Mch~
S!UaH>Rh (来源:讯技光电)