摘要
0Er;l| %X>P+6<= 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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BkcA_a:W 0
$_0T 建模任务
;"j>k>tg Y KWtsy
,)](h+zl_6 光栅特性与参数的严格分析
I@9[ ( V^C7ix: 不同光栅周期下的衍射效率
_|qs-USA wrmbO T
>UDb:N[ ,a1
1&"xl 关于光栅周期选择的考虑
(TQhO$, y4Fuh nb>
g?=|kp qp)a`'Pq 偏振相关的衍射特性
3El5g0'G e~iPN.'1
Sm(t"#dp oA'LQ
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d/3k ^ua8Ya
r"aJ&~8::W Zwxu3R_ 通过参数优化进行光栅设计
Q@HW`@i ;&8 固定周期的2D参数优化
x;L.j7lzA; -D-]tL6w
4~YPLu 2D参数优化–设计1
+kN/-UsB s_`=ugue
k6mC_ |r%lJmBB 2D参数优化–设计2
~D$?.,=l N5Rda2m
u^NZsuak e"]*^Q 制造
公差分析–设计2
{YzRf S oiL^$y/:;z
k,UezuV ^:F |2 变化光栅周期的3D参数优化
T~"T%r 1deNrmp%
_J+p[=[L IS9}@5`' 制造公差分析
VM [U&g<8n !W3bHy:C"
M^twD* \gE6KE<?p 走进VirtualLab Fusion
WUnmUW[/ X;D"}X4(E
L@t}UC ; M%n=+[O VirtualLab Fusion中的工作流程
ds9L4zfO ]J
aV +b'O
=|_{J"sv 43p0k&;-7 •构造光栅
结构 k@i+gV% −
通过使用界面来配置光栅结构 FBCi,_
\4 [用例]
PIxd'B*MF •分析光栅衍射效率
&!E+l<.RF −
光栅级次分析器[用例]
=5QP'Qt{O •使用参数运行搜索初始解决方案
ci~pM<+
−
参数运行文档的使用[用例]
tnCGa%M •通过参数优化找到最终设计
2G9sKg,kL F7r!zKXZ VirtualLab Fusion技术
2kS]:4)T j>KJgSs]&\
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