摘要
kukaim>K lCE2SKj
当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
&HxT41pku _5h0@^m7y
NS5 49S |Q u_E 建模任务
v@,XinB[ XaGz].Sv
`GkRmv* 光栅特性与参数的严格分析
kv%)K'fU4 <NL+9l R 不同光栅周期下的衍射效率
2B'^`>+8S R`7n^,
3YRBI|XO y<uE-4 关于光栅周期选择的考虑
t>@yv# sbjtL,
A[RN-R, ct.Bg)E 偏振相关的衍射特性
| /#'S&!U
/Ef4EX0
|lHFo{8" r
&c_4%y
Znq(R8BMW I~'gK8<e7
d'q;+jnP "DzGBu\ 通过参数优化进行光栅设计
DoTs9w|5 YrKFa%k 固定周期的2D参数优化
6DO0zNTY t*rp3BIG
z.A4x#>- 2D参数优化–设计1
gx#J%k,f A<;0L . J
mC"7)&,F <M`-`v6H 2D参数优化–设计2
n\
Gg6Y XNK
43fkB.
[5-!d!a|st =yo=q)W 制造
公差分析–设计2
{!g?d<* sV&`0N
#VQ36pCd 4KZ SL:A 变化光栅周期的3D参数优化
w8U2y/:> I@+lFG
7ia"u+Y 4g S[D 制造公差分析
NywB3 U=M#41J
- =yTAx Bac?'ypm 走进VirtualLab Fusion
*(>Jd|C D@2Ya/c
JPHUmv6 _y|[Z; VirtualLab Fusion中的工作流程
MyK^i2eD z{@=_5;
d!w1t=2H ;;D%
l^m+ •构造光栅
结构 ,7QBJ_-;QJ −
通过使用界面来配置光栅结构 fHW-Je7mG [用例]
>_n:_ •分析光栅衍射效率
m]E o(P4+ −
光栅级次分析器[用例]
nz}]C04:- •使用参数运行搜索初始解决方案
Hu[8HzJo −
参数运行文档的使用[用例]
R
A*(|n> •通过参数优化找到最终设计
I4A; zkuv\kY/ Z VirtualLab Fusion技术
"<7$2! #!(Zn:[
&f$a1#O}dx J!ln=h 文件信息
7 _X&5ni 1{= E?
N+ak[axN 2K5}3<KD/ 更多阅览
%{7$\|;J' -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers mxtlr) -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block Jv-zB]3& -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings 7)g;Wd+H ADuZ}] (来源:讯技光电)