摘要
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V!i0 :}\w2W E[ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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iGxlB 4l/hh|3@ 建模任务
x;&01@m. eI8rnp(Ia
%#xdD2oN 光栅特性与参数的严格分析
:Ve>tZeW "~R,%sYb( 不同光栅周期下的衍射效率
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A>@ i
TI n[~kcF 关于光栅周期选择的考虑
aDrF"j c418TjO;
dWK;
h `SdvXn 偏振相关的衍射特性
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C-i9F%.. i3bH^WwE&k
]ow$VF{y 42* y27Dtm 通过参数优化进行光栅设计
BHoy:Tp Gk<M@d^hQ 固定周期的2D参数优化
Y?ADM(j bXVH7F y
z+ch-L^K4 2D参数优化–设计1
c/:d$o- $AGW8"
,t"?~Hl". q"Ct=d 2D参数优化–设计2
Yp*Dd}n` :{:R5d(_I
*P\$<4l ,8=`Y9# 制造
公差分析–设计2
Ri[ v(Zf G~z=,72
W9i}w& V*xo3hU 变化光栅周期的3D参数优化
(u/-ud1p I-?PTr
.[%^~q7 =t[hs l 制造公差分析
OV@MT^ D<V[:~-o
qDG{hvl[1r `^:>sU 走进VirtualLab Fusion
4b\R@Knu +JyD W%a:L
%pikt7,Z~ "!- VirtualLab Fusion中的工作流程
ss{y=O%9" Alo;kt@x
v'0WE HPGIz!o •构造光栅
结构 wSy|h*a, −
通过使用界面来配置光栅结构 jN3K=
MA [用例]
@ Sq
=q=S •分析光栅衍射效率
}u3Q*oAGl −
光栅级次分析器[用例]
35q4](o9" •使用参数运行搜索初始解决方案
6]%SSq& −
参数运行文档的使用[用例]
S*aVcyDEP •通过参数优化找到最终设计
bcM65pt_C v&7yqEm}B VirtualLab Fusion技术
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