摘要
 L_.}z)S[\    !6%G%ZG@3-  当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
 V8sY7QK=   X<QE]RZ   ;VuB8cnL`    i4pJIb
 ;VuB8cnL`    i4pJIb  建模任务
 	*Qf}4a0    YiJu48J   IW1\vfe
 IW1\vfe  光栅特性与参数的严格分析
 Kje+Niz7    ~ZNhU;%YW  不同光栅周期下的衍射效率
 5`uS<[vA   :3t])mL#	   AFFLnLA<L    GMNb;D(>K
 AFFLnLA<L    GMNb;D(>K  关于光栅周期选择的考虑
 ?qbp   CIDL{i8   bT8UmR98    vjb?N
 bT8UmR98    vjb?N  偏振相关的衍射特性
 cR&xl^BJ   #TWc` 8   ks5'Z8X   1A)~Y
 ks5'Z8X   1A)~Y   .'a |St   (J4utw	Z
 .'a |St   (J4utw	Z   +o3g]0     xS}H483h6W
 +o3g]0     xS}H483h6W  通过参数优化进行光栅设计
 x-pMT3m\D#     asi1c
y\  固定周期的2D参数优化
 +B m+Pj>   yq}{6IyZ^   K;qZc\q
 K;qZc\q  2D参数优化–设计1
 &rl>{Uvq   9CNHjs+-}s   zvf]}mNx    W.|6$hRl)
 zvf]}mNx    W.|6$hRl)  2D参数优化–设计2
 J qUVGEg   c6HU'%v   y]l"u=$Tr{    752wK|o0|;
 y]l"u=$Tr{    752wK|o0|;  制造
公差分析–设计2
 3ngLEWT	   #H[4?4r   nnG2z@$-    $<cZ<g5)
 nnG2z@$-    $<cZ<g5)  变化光栅周期的3D参数优化
 z6lz*%Yi   #:|Y(,c   L0kNt
&di    tD]&et
 L0kNt
&di    tD]&et  制造公差分析
 )DmiN ^:   r?!xL\C\   9+QrTO    {+2cRr.
 
9+QrTO    {+2cRr.  走进VirtualLab Fusion
 tA-B3 ]   9oP{Al   Gme$FWa    f~FehN7
 Gme$FWa    f~FehN7  VirtualLab Fusion中的工作流程 
 =%\6}xPEl<   |y%].y)   0s|LK    XKX,7
 0s|LK    XKX,7  •构造光栅
结构 IxZ.2 67  −
通过使用界面来配置光栅结构 wzPw;xuG   [用例]
 />Vx*^u8Hz  •分析光栅衍射效率
 HF:	T]n,  −
光栅级次分析器[用例]
 0f%:OU5Y  •使用参数运行搜索初始解决方案
 X`n0b<  −
参数运行文档的使用[用例]
 <83gn
:$  •通过参数优化找到最终设计
 9.zQ<