摘要
_{ z.Tu 7@R;lOzL3 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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=vxiqRm IP'gN-#i 建模任务
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[m7^Euury 光栅特性与参数的严格分析
f)x^s$H *rPUVhD_ 不同光栅周期下的衍射效率
nd(O;XBI Sr1xG%;|/
-`FPR4; RX.n7Tb 关于光栅周期选择的考虑
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偏振相关的衍射特性
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Nq|b$S [4 #8P9}WTno.
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/ 通过参数优化进行光栅设计
{]1+01vI- {S4^;Va1 固定周期的2D参数优化
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6XPf0Gl 2D参数优化–设计1
o@6:|X)7 Op^r }7
ZW\}4q;[A 0U'g2F>{ 2D参数优化–设计2
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;C,D1_20Z Z'EXq.hk 制造
公差分析–设计2
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>D'Kt?L<]m NMYkEz(&R 变化光栅周期的3D参数优化
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CCp&P5[67 h^#K4/ 制造公差分析
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_:|/4.]`_ /I@nPH<y VirtualLab Fusion中的工作流程
/(-X[[V Wt2+D{@8
lTOO`g O+U9 p •构造光栅
结构 FL-yt −
通过使用界面来配置光栅结构 rdd%"u+ [用例]
oW]~\vp^0 •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
.<8kDyim •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
m}Z=m8 •通过参数优化找到最终设计
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i` bbevy!m VirtualLab Fusion技术
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