摘要
VvFMpPi 'r0kX|| 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
MrU0Jrk4+ :@~W$f\y
-ZVCb@% I5%#A/|z 建模任务
z?3t^UPW ;n\$'"K&; 14DHU 光栅特性与参数的严格分析
iZ( U] -s6k't 不同光栅周期下的衍射效率
7{JIHY+ o)]mJb~XG- m%s&$ v?
Ufx 关于光栅周期选择的考虑
&02I-lD4+ b0|;v-v ^0tO2$ 6"djX47j 偏振相关的衍射特性
V<A$eb>6 rgw@ (~IoRhp^ 23p1Lb9P WcHL:38 pf8M0,AY VFI\2n` "xduh3/~= 通过参数优化进行光栅设计
FGey%:p9$ t6C2DHh7$ 固定周期的2D参数优化
uvMcB9 kMx^L;:n
o|V`/sW{ 2D参数优化–设计1
T
B(K&3_D =nff;Xu v$)ZoM6E I83 _x|$FZ 2D参数优化–设计2
`UD,ne aN?^vW< OpD%lRl ,CxIA^ 制造
公差分析–设计2
@#QaaR;4 fNk0&M s9rKXY',:l /e;E+
变化光栅周期的3D参数优化
3C
gmZ7[ snicVzvA oJ.5! Kg ua!43Bp 制造公差分析
_Kwp8_kTr (.pi ,+Ws kyH0J[/n +~n4</ 走进VirtualLab Fusion
,(3oAj\ ~J![Nx/ gwyX%9 ('z:XW96 VirtualLab Fusion中的工作流程
+5x{|!Pn (91 YHhk{ R~"&E#C GS&I6 •构造光栅
结构 {|B
2$1': −
通过使用界面来配置光栅结构 A~X| vW [用例]
eb>jT: •分析光栅衍射效率
|)*9BN −
光栅级次分析器[用例]
B:96E& •使用参数运行搜索初始解决方案
1t/mq?z: −
参数运行文档的使用[用例]
?*^HZ~O1 •通过参数优化找到最终设计
8o i{%C&- LeV";=_n VirtualLab Fusion技术
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|_s6] \SN>Yy }R!t/8K \0n<6^y 文件信息
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