摘要
U~}cib5W5 RoY"Haa 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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"(QI7:iM H*H=a 建模任务
>(9"D8 @Q%g#N
E979qKl 光栅特性与参数的严格分析
8YLS/dN0 w 8K;wX%_, 不同光栅周期下的衍射效率
G^6\ OOSy `SN?4;N0
@&4s)&-F V1
:aR3*! 关于光栅周期选择的考虑
<8?jn*$;\ -|/kg7IO\
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5:y c9<&+ 偏振相关的衍射特性
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$mF(6<w 1oVjx_I5y 通过参数优化进行光栅设计
$(PWN6{\r^ g218%i 固定周期的2D参数优化
6j{O/ }aJK^>^>A
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&Z)I 2D参数优化–设计1
;xl_9Ht/ M)T {6w
(d@ =
KJ]ejb$ 2D参数优化–设计2
,TdL-a5 gL-\@4\wc
P-*=e8z{ gvi]#| 制造
公差分析–设计2
8g!C'5 |AS`MsbI9
1r-#QuV# <e%~K4KH 变化光栅周期的3D参数优化
F87aIJ.pGN YJ[Jo3M@j0
.}6Mj]7?i ~?x
`f+ 制造公差分析
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*\5o0~~8J -?K?P=B;X 走进VirtualLab Fusion
?4&C)[^ B<A=U r
$sTvXf:g ^9zFAY.| VirtualLab Fusion中的工作流程
RgQ;fYS a|s64+
V(LE4P1 w' gKE'c •构造光栅
结构 mn;Wqb/ −
通过使用界面来配置光栅结构 Nsd7?|@HI [用例]
'r2VWavT •分析光栅衍射效率
3 IK+&hk −
光栅级次分析器[用例]
B&Igm<72x •使用参数运行搜索初始解决方案
=IkG;gg −
参数运行文档的使用[用例]
,7{}}l •通过参数优化找到最终设计
]PI|Xl w'-J24>= VirtualLab Fusion技术
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