摘要
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X$rX= K+> V|zKuk 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Rp4FXR jC }200g_^ 建模任务
)0F^NU O3xz|&xY&
3_U\VGm 光栅特性与参数的严格分析
D;C5,rNt am(#Fa 不同光栅周期下的衍射效率
6vWii)O.D wRi~Yb?
+{^'i P `axQd%:AC 关于光栅周期选择的考虑
3Tw%W0q "c EvFY
]:!8 s\# pLo;#e8'f 偏振相关的衍射特性
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`>y[wa>9r #4lHaFq 通过参数优化进行光栅设计
-BjEL; Pgx+\;w" 固定周期的2D参数优化
rr>IKyI' Iw*C*%}[Z
%'kX"}N/ 2D参数优化–设计1
|&(H^<+Xp I,w^?o
~6MMErSj &Z#Vw.7U 2D参数优化–设计2
]IN- EfMG(oI
aTmX!! ',v0vyO8 制造
公差分析–设计2
M$DwQ}Z P2<gHJ9t
C={sE*&dYX +9&ulr 变化光栅周期的3D参数优化
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L>|A6S#y8/ zwF7DnW<< 制造公差分析
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_A# x&<c GcU(:V2o 走进VirtualLab Fusion
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>xk:pL*o` `qQQQ.K7)z VirtualLab Fusion中的工作流程
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.-gm"lB #EwRb<'Em •构造光栅
结构 0.3[=a43 −
通过使用界面来配置光栅结构 "@):*3
4 [用例]
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ZWs0l0 •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
YjMbd?v •使用参数运行搜索初始解决方案
DXw9@b −
参数运行文档的使用[用例]
'SXpb?CZ •通过参数优化找到最终设计
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4%Wn}@ VirtualLab Fusion技术
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