摘要
WNo< 0|X xAu&O\V 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
.aD=d\ xMD]b P"<,@Mn hDD]Kc;G^1 建模任务
57`9{.HB \ 3FOI OJXK]dZ 光栅特性与参数的严格分析
y aLc~K c|(&6(r 不同光栅周期下的衍射效率
)|IMhB+4 \) vI- O"m(C[+[ 4j}uVGi{e 关于光栅周期选择的考虑
CkEbSa<)hK 6
u}c543 ]=jpqxlx &0JCZ/e 偏振相关的衍射特性
f/tJ>^N5 1LonYAHF
*Fm#Qek u8Oo@xf0Fr T}y@ a^# <BhNmEo)2 +JPHQx'W Y<[jUe`O; 通过参数优化进行光栅设计
%C~LKs5oH /=~o|-n8@ 固定周期的2D参数优化
#6F/:j; a:}&v^v F92et<y. 2D参数优化–设计1
qZ rv2dT 8mv}-; 31`Eq*Y)4 V8+8?5'l 2D参数优化–设计2
v)-:0f wSIfqf+y G ,?l
o=m 7f#r&~= 制造
公差分析–设计2
al{}p UwVc!Lys *$v`5rP 48"=,IrM 变化光栅周期的3D参数优化
-/gAb<= M\)(_I)V= >Z!H9]f( l_0/g^( 制造公差分析
uH=^ILN. jR@J1IR< y5$AAas sq1v._^s 走进VirtualLab Fusion
VY_<c 98v ~-K<gT/ ~pve;(e= ;.#l[ VirtualLab Fusion中的工作流程
X}RQ&k J>%uak< ODE^;:z ! hH*/[|z •构造光栅
结构 4j VFzO%. −
通过使用界面来配置光栅结构 #SIIhpjA( [用例]
4I7;/ZgALQ •分析光栅衍射效率
ns`njx}C −
光栅级次分析器[用例]
xa$p,_W:' •使用参数运行搜索初始解决方案
O[v(kH' −
参数运行文档的使用[用例]
_MST8 •通过参数优化找到最终设计
s7G!4en M?m)<vMr* VirtualLab Fusion技术
NI33lp$V '?j,oRz^T 8V(-S, |"o/GUI~ 文件信息
{3R?<ET]mt 3*;S%1C^ mmx;Vt$i j/*4Wj[ 更多阅览
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