摘要
Sx Bo% 1rue+GL 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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/Y
GMLx$?=j qX6zk0I a 建模任务
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|pU>^ 光栅特性与参数的严格分析
FOPmvlA\-< 2JeEmG9 不同光栅周期下的衍射效率
l+`CgYo 8F)9.s,*
nHfAx/9! s-&i!d 关于光栅周期选择的考虑
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u`-:'@4 l#w0-n%S 偏振相关的衍射特性
6/(Z*L"~6k 9NU-1vd~
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4`r-*Lx jlUT9Zp
SokU9n! {@-tRm& 通过参数优化进行光栅设计
)D]LPCd[ 5:EE%(g9 固定周期的2D参数优化
)^E6VD&6 f|yq~3x)
N$ 2Iz 2D参数优化–设计1
O7,:-5h0 S|IDFDn
5hAs/i9_ )hK;27m4 2D参数优化–设计2
n.P $E wG22ffaki
>Y:veEa6v6 n0^3F1Z 制造
公差分析–设计2
PC!X<C8* Ftud6
pSpxd|k 5Ak>/QF9 变化光栅周期的3D参数优化
&23t/` *NIhYg6
OnE~0+ y#lg)nB 制造公差分析
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h&bs` v(jZ[{x@ 走进VirtualLab Fusion
L7.LFWq$S ?T[K{t;~jo
twPD'X!r 6wyhL-{: VirtualLab Fusion中的工作流程
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n(Ry~Xu_ byj7c( •构造光栅
结构 Ymg,NkiP0 −
通过使用界面来配置光栅结构 gAy"W$F [用例]
X.ZY1vO •分析光栅衍射效率
~NO'8Mr −
光栅级次分析器[用例]
DEpn> •使用参数运行搜索初始解决方案
B]cV|S| −
参数运行文档的使用[用例]
e= _7Q.cn •通过参数优化找到最终设计
ew8Manx +r__>V, VirtualLab Fusion技术
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