摘要
C &-]RffA !t+eJj 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
[Cf{2WB:7 :dj=kuUTbu Q'K[?W|C } {<L< 建模任务
Jqgo\r%` UA}N EK<ly"S. 光栅特性与参数的严格分析
%E`=c]! w]=c^@t_ 不同光栅周期下的衍射效率
hxx`f-#= A<<Bm M.% `w/b];e1) %8~g#Z 关于光栅周期选择的考虑
7=[/J*-m DS6g_SS3 cy!;;bB %6HJM| {H 偏振相关的衍射特性
=Z}=n S?4 ,G!mO,DX u[?M{E/HU i+eDBg6 /dq(Z"O_ qASV\
<n Q9NKQuSu #5}v? 通过参数优化进行光栅设计
fVx_]5jM g.d~`R@v 固定周期的2D参数优化
?N(opggiD W+ D{4: ?_+8K`B 2D参数优化–设计1
'(!U5j nh?~S` 8$C?j\J|* d td}P~ 2D参数优化–设计2
N/i {j.= 4]mAV\1 dPCn6 (H-}z`sy/@ 制造
公差分析–设计2
4oA9|}<FR Ki( wTkcR^ !J-oGs\ u 变化光栅周期的3D参数优化
gtlyQ
_V GBo'= R"V^%z;8o w~l%xiC 制造公差分析
B7ty*)i? Yo;Mexo! MZK%IC> FvT;8ik:3 走进VirtualLab Fusion
&JHqUVs^ 5;_&C=[ HlC[Nu^6U ~fR-cXj" VirtualLab Fusion中的工作流程
6h3TU,$r DfV'1s4y cOo@UU P a<d$P*I(cH •构造光栅
结构 `d6,]' −
通过使用界面来配置光栅结构 GG$&=.$ [用例]
d
gRTV<vM •分析光栅衍射效率
c3q @]|aI −
光栅级次分析器[用例]
Qa-~x8 ] •使用参数运行搜索初始解决方案
f5dctDHP −
参数运行文档的使用[用例]
j^qI~|# •通过参数优化找到最终设计
SJXP}JB_ F vae lB VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings L$4nbOu\~ qbu5aK}+ (来源:讯技光电)