摘要
-8J@r2 \
M]:B: ; 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
t$ ~:C +( 7vmC. w0>)y- "Q!{8 9Y 建模任务
T//+&Sk[ "+"dALX{3K L7'X7WYf& 光栅特性与参数的严格分析
GnHf9
JrR ll^O+>1dO 不同光栅周期下的衍射效率
4>eg@s N @)B5^[4(; NNV.x7 |"&4"nwa 关于光栅周期选择的考虑
{*
_ W g(/O)G. [9Hm][|Ph :EAfD(D{) 偏振相关的衍射特性
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YTg] *VAi!3Rx; HUX+d4sg ApB'O;5 \}(-9dr obkv ]~ 6EGEwx s0'U[] 通过参数优化进行光栅设计
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eG}` 4h@of' 固定周期的2D参数优化
+n]Knfi )CU(~s|s A}}t86T 2D参数优化–设计1
nsn,8a38 {i?K~|
h J)~=b_'< XX;%:?n 2D参数优化–设计2
l )eaIOyk :zZM&r> ?["ZEa jF0BWPL 制造
公差分析–设计2
7}?z=LHb3 W#/Ol59 v:ZD}Q_ B9 {DO 变化光栅周期的3D参数优化
8XE0 p7 TMs\#
eS+LFS7*k s;)tLJ! 制造公差分析
t38T0Ao N($]))~3& aesFv)5DK N{@eV][Q 走进VirtualLab Fusion
&wvv5Vd B) iJH jV8><5C kE|#mI[> VirtualLab Fusion中的工作流程
^u<+tV
O`| ri5d Ku# _ "d\8OOU •构造光栅
结构 %?y`_~G −
通过使用界面来配置光栅结构 [\p0eUog/ [用例]
<>GyG-q •分析光栅衍射效率
EORAx −
光栅级次分析器[用例]
_E 8SX
v •使用参数运行搜索初始解决方案
>TJ$Z3 −
参数运行文档的使用[用例]
Sn,z$-;h; •通过参数优化找到最终设计
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sa?;D mLqm83 &0TheY;srf u?i1n=Ne 文件信息
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