摘要
!^Q.VYY 0uBl>A7qhn 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时，具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
{Zp\^/ Ef<b~E@ odIZo|dv GR\5WypoJ 建模任务
S_~z-`;h! LM2TZ @LJpdvb 光栅特性与参数的严格分析
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不同光栅周期下的衍射效率
TX#m&vh >}(CEzc8 #-h\. #s kI%%i>Y} 关于光栅周期选择的考虑
k}~O}~- mFHH515 *Vho?P6y\Y MxBTX4E S 偏振相关的衍射特性
3"F`ZJ]= ETB6f !t i6 TRsE % 37;$-cFE 7
[g/TB <8,cuX\ OQ9x*TmK 通过参数优化进行光栅设计
^{8Gt @ - M,7N}z@; 固定周期的2D参数优化
2. d| G ` umdG(os R >2By
+/!X 2D参数优化–设计1
t='# |'); cW+t#>' r [CAR[
g& &N;-J2M 2D参数优化–设计2
/ Wf^hA
UUMtyf 8Dvazg}4 HI@syFaJM 制造
公差分析–设计2
5aa<qtUj H GIAc?;zY lSH6>0# B k^OV56 变化光栅周期的3D参数优化
H OBP`lf oTT7 M`P3h p6vKoI#T N~F
RM& x 制造公差分析
B*E2.\~ h`3eu;5) G}9= ) D$JHs 4 走进VirtualLab Fusion
ZNx$r]4nF ]~\sA 57 #6yXQ
F-*2LMe VirtualLab Fusion中的工作流程
WQHd[2Z#e Vrvic4 vp. ZK[/` wM|" I^[ •构造光栅
结构 /6_|]ijc −
通过使用界面来配置光栅结构 2W$c FC [用例]
Ka`=WeJ| •分析光栅衍射效率
*@TZ+{t −
光栅级次分析器[用例]
Vi$-Bw$@ •使用参数运行搜索初始解决方案
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36%Pj` −
参数运行文档的使用[用例]
) IJQeC •通过参数优化找到最终设计
]Ta N{" BT@r!>Nl VirtualLab Fusion技术
R-P-i0 ~ @UdfAyL `g,8- 0VK-g}"x 文件信息
uWrQ& }@ } E_#k]#* \);4F=h}f x=#VX\5k: 更多阅览
A7c/N=Cp^ -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers l|hUw -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block U!m @DJj -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings |$7vI&m r4,VTy2Qe （来源：讯技光电）
