摘要
"ih>T^| c%,6L <[ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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mgD < $?}^
0R 建模任务
$}"Wta Gy Xs{* yp/V8C 光栅特性与参数的严格分析
1#X=&N uJ5%JB("E 不同光栅周期下的衍射效率
r+.4|u 1AEVZ@(j7 aD3F!Sn VNEZBy"F 关于光栅周期选择的考虑
aKFA&Xnsl
*/dsMa 3ijI2Zy 'L+BkE6+% 偏振相关的衍射特性
:W<,iqSCm W%<]_u[-} tVh4v#@+ H?bsK~
#=~1hk 58ZiCvqv =
(h;L$ ]?^xc[ 通过参数优化进行光栅设计
sTstc+w w\;9&;; 固定周期的2D参数优化
m~IWazj;A }Z$G=;3# v.&*z48 2D参数优化–设计1
zc~xWy+ 8q[WfD F?AfB[PM 6f9<&dCK 2D参数优化–设计2
\kGtYkctZ Hh=::Bi EKJ4_kkjM yzzre>F 制造
公差分析–设计2
|a:VpM ^* v{t?u |}.B!vg(4 .wOLi Ms 变化光栅周期的3D参数优化
d3J_IW+8R$ 5va&N<U z"C(#Y56 x f]65iE?x 制造公差分析
Im1qWe . pEeR kAQ Zj3P] ,$ret@.H 走进VirtualLab Fusion
wyEgm:Vt eZkz 1j~ -2Cf)>`v o5@P>\u> VirtualLab Fusion中的工作流程
Jm,X~Si 84\o7@$# 3t6'5{ qinQ5 t •构造光栅
结构 'ZgW~G]S −
通过使用界面来配置光栅结构 Rk0rHC6[ [用例]
\-id[zKb •分析光栅衍射效率
3;gtuqwD$ −
光栅级次分析器[用例]
U4pvQE.m< •使用参数运行搜索初始解决方案
J%B?YO, −
参数运行文档的使用[用例]
=+\oL!^ •通过参数优化找到最终设计
l:/V%{sx B y8Tw;aL VirtualLab Fusion技术
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