摘要
Q=,6W:j /Vg=+FEO 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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)\qA[rTG LkUYh3 建模任务
TQ/EH~Sz X{ZcJ8K
m ll-cp 光栅特性与参数的严格分析
`Mh3v@K: {Tps3{|wt 不同光栅周期下的衍射效率
\-]zXKl2k e;*GbXd|
ji|+E`Nii [eWZ^Eh"I 关于光栅周期选择的考虑
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.jD K-a~Kr 偏振相关的衍射特性
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!iys\ AV OH(w3:;[8
d;4LHQ0yU m=qEQy6#2u
""; Bq*Y# ~yGD("X 通过参数优化进行光栅设计
t-;zgW5mwF z(8:7 G 固定周期的2D参数优化
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T4M"s;::1 2D参数优化–设计1
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B2R^oL'} c\J?J>xz 2D参数优化–设计2
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Zcpx
nT;Rwz$3 KBe\)Vs 制造
公差分析–设计2
N<$dbqoT| M2$.Yom[
A=PJg! sa7F-XM 变化光栅周期的3D参数优化
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Fx3CY W _K4E6c_ 制造公差分析
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9tMaOm H;~Lv;,g, 走进VirtualLab Fusion
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SyB2A\A }%T8?d] VirtualLab Fusion中的工作流程
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YEkWB^ ^?~WIS •构造光栅
结构 BQ;F`!Hx? −
通过使用界面来配置光栅结构 pef)c,U$ [用例]
pkKcTY1Fx •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
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•使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
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:r} •通过参数优化找到最终设计
<Wwcd8d Qms,kX VirtualLab Fusion技术
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