摘要
"0!eb3n F]dd># 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
5,=B1 /!&b'7y R"\ub"] U#~nN+SIt 建模任务
`|ck5DZT5L QB.*R? A e{rHO,#A> 光栅特性与参数的严格分析
cQ8$,fo q!9v}R3( 不同光栅周期下的衍射效率
4LKs'$:A= F~d7;x=g 4
L~;>]7 DbNi;m 关于光栅周期选择的考虑
J:TI>*tn w7*b}D@65\ Z%HEn$t ^&Rxui 偏振相关的衍射特性
)2^/?jK Oa_o"p<Lr LPm# 3U }:c,SO! 61Iy{-/ZV ym,Ot1 UV
*tO15i ZjI/zqBm 通过参数优化进行光栅设计
_.J[w6 Ow .)h(y/ 固定周期的2D参数优化
>I66R; [Yahxw} g ]PLW3 2D参数优化–设计1
$M3A+6["H w]5f3CIm 39a]B`y T~ q'y~9o 2D参数优化–设计2
glKs8^W O^="T^J y\f 8Ird )hZ}$P1 制造
公差分析–设计2
DRg~HT }AH|~3|D Gp3t?7S{T e#eO`bT 变化光栅周期的3D参数优化
5SWX v+ 3=L1H ZH g]#zWTw( *~oDP@[S 制造公差分析
H1b%:KRVK MzW$Sl&: ;KZ2L~
THG eiSO7cGy 走进VirtualLab Fusion
\#oV<MR fdEj#Ux<H qx<zX\qI6n I:>d@e/; VirtualLab Fusion中的工作流程
6;c{~$s~[ c$SxDYG uKAHJ$% xg1r 3 •构造光栅
结构 r- "`Abev −
通过使用界面来配置光栅结构 m4.V$U,H] [用例]
xXh]z| •分析光栅衍射效率
Z
7ZMu −
光栅级次分析器[用例]
{Ll8@'5 •使用参数运行搜索初始解决方案
`3s-%> −
参数运行文档的使用[用例]
Nn4Kt,KY •通过参数优化找到最终设计
:7;Iy u $MEbePxe VirtualLab Fusion技术
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