摘要
(,OF<<OH w~wg[d 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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6^g Q]hl+C$d"/ GiS:Nq`$( 建模任务
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YaY 光栅特性与参数的严格分析
r2G38/K B<\HK:%{ 不同光栅周期下的衍射效率
k<}3_ !yo@i_1D rBUWzpE" }BI|M_q.1~ 关于光栅周期选择的考虑
*"Uf| l?)!^}Qc OAo;vC:^ L25%KGg'o 偏振相关的衍射特性
uZe"M(3r$ V_/.]zQA J>8kJCh9g %WlTx&jSgE ;b_l/T( nZ %%{#T7 gfJHB3@ ,{X}C 通过参数优化进行光栅设计
SZ1yy[" m^gxEPJK 固定周期的2D参数优化
SFR<T " 6ScVa5) TyY%<NCIb 2D参数优化–设计1
)fQ1U *-(8Z>9 X^Fc^U8 $:RR1.Tv 2D参数优化–设计2
(7Ln~J* PUmgcMt n?*r, )' @Yn+ir0>O 制造
公差分析–设计2
9DdR"r'7 }#h`1 uV jss.j~8 Mj`g84 变化光栅周期的3D参数优化
\,ne7G21j b/?)_pg 54].p7 P^AI*tH"m 制造公差分析
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?j&ZzK'#^ RsYMw3)G +;-ZU (hEg&@ VirtualLab Fusion中的工作流程
\FIM'EKzu! td7Of(k' yLPP6_59$ C\4d.~C:w3 •构造光栅
结构 d$"?8r4:K −
通过使用界面来配置光栅结构 @C%6Wo4l3 [用例]
UA|\D]xe •分析光栅衍射效率
O?ODfO+> −
光栅级次分析器[用例]
~ #7@;C<nt •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
1'N<ITb •通过参数优化找到最终设计
<HtGp6q e+V8I&% VirtualLab Fusion技术
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