摘要
CLZj=J2 hj"JmF$m 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
z-K};l9y 2 {WZ?H93a
!wE% <Fh ORKJy)*" 建模任务
q]f7D\ M Ep;?%o ,G
jtfC3E,U 光栅特性与参数的严格分析
~t2"L|i b(mZ/2,B 不同光栅周期下的衍射效率
gktlwiCZ L-U4
8 i
q("l?' dHOH]x 关于光栅周期选择的考虑
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fA?Wf[`x "i&n;8?Y 偏振相关的衍射特性
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m,hqq%qz GCQOjqiR
,0HID:& }Gb^%1%M
,1|=_M31 hiVDN"$$ 通过参数优化进行光栅设计
v@2?X4n (/&ht-~EL 固定周期的2D参数优化
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#,lbM%a 2D参数优化–设计1
y#Nrq9r: K; hP0J
K4Nz I9@ *S<I!7Q 2D参数优化–设计2
2y$DTMu b)XGr?
xPT$d,~" nx`W!|g$` 制造
公差分析–设计2
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GQ.akA_( `.VkR5/ 变化光栅周期的3D参数优化
%^I 7= ss|n7
|M<R{Tt}nf 1Ogtzf 制造公差分析
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T8T,G4Q '@hnqcqXq 走进VirtualLab Fusion
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75Bn p9 fB; o3!y VirtualLab Fusion中的工作流程
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n8N 9w •构造光栅
结构 hA~5,K0b −
通过使用界面来配置光栅结构 C}XB%:5H5 [用例]
ac4dIW{$3 •分析光栅衍射效率
[.G~5%974 −
光栅级次分析器[用例]
,qgR+]?({ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
q=BAYZ\` •通过参数优化找到最终设计
!G~\9 Me,AE^pgL' VirtualLab Fusion技术
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