摘要
va95/( HC?yodp^ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
HJ !)D~M{ *<Fz1~%* {{tH$j?Q !5?#^q 建模任务
)[~ #j6 .gG<08Z d[kb]lC 光栅特性与参数的严格分析
Kbg`ZO* (+>+@G~o 不同光栅周期下的衍射效率
~Rs|W; 4)]g=-3 -EF(J L<1"u.3Z`} 关于光栅周期选择的考虑
/h0-qW k#c BBrY 4CW/ h<Yn0(. 偏振相关的衍射特性
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Cj/tG8 PxfeU2^{0 fh b &_T }2:bYpYQ 0`h[|FYV d?v#gW Bag2sk
+h9UV 通过参数优化进行光栅设计
uZ]B ?Z%y# bL)g+<:F 固定周期的2D参数优化
x/[i &Gkv ::j'+_9 [YHvyfk~_ 2D参数优化–设计1
^W_}Gd<-#Y %,K |v (e=ksah3> V*=cNj 2D参数优化–设计2
"<v_fF<Y HAf.LdnzS !V+5$TsS KjZ^\lq' 制造
公差分析–设计2
pvI(hjMYPk $-=aqUU 6lT1X) Ook3B 变化光栅周期的3D参数优化
JV36@DVQ >:W)9o }sPY+ZjV :54|Z5h| 制造公差分析
?9H7Twi+T thipfS 66p_d'U yZ0; \Tr*J 走进VirtualLab Fusion
<j:3<''o J:?t.c~$o sx*1D9s_ I;P?P5H VirtualLab Fusion中的工作流程
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e/ Ef%8+_ p\+#`] Q7} •构造光栅
结构 @h>#cwhU −
通过使用界面来配置光栅结构 u%XFFt5 [用例]
S~(4q#Dt- •分析光栅衍射效率
hf:n!+,C −
光栅级次分析器[用例]
g?`D8 •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
i$"FUC~' •通过参数优化找到最终设计
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