摘要
[w+h-q B0b[p*gIl 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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u{OS6Ky sFQ4O- SM 建模任务
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`j&0VIU>> 光栅特性与参数的严格分析
M('s|>\l ,]PyDq6 不同光栅周期下的衍射效率
eKZ@FEZ yqC Q24
b)on A| Snc;p 关于光栅周期选择的考虑
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zb>f;[ heE}_,$| 偏振相关的衍射特性
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Awu$g. !c3```* 通过参数优化进行光栅设计
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M ~L-0~ 固定周期的2D参数优化
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403[oOj 2D参数优化–设计1
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^W 3lo;^KX ! 2D参数优化–设计2
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eshkE 制造
公差分析–设计2
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rRB~=J" ~9Zh,p; 变化光栅周期的3D参数优化
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o^3FL||P#r \)ip>{WG 制造公差分析
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B[r<m J ,V,f2W 4 VirtualLab Fusion中的工作流程
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I%oRvg|q o]Gguw5W{ •构造光栅
结构 5iVQc -m& −
通过使用界面来配置光栅结构 l^\(ss0~ [用例]
v:E;^$6Vn •分析光栅衍射效率
<3 A0={En −
光栅级次分析器[用例]
Y9F)`17 •使用参数运行搜索初始解决方案
Hkdf $$\ −
参数运行文档的使用[用例]
H@GE)I>^@ •通过参数优化找到最终设计
@Mm/C?#*O i}v9ut]B VirtualLab Fusion技术
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