摘要
'e>'JZR e2xKo1?I 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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?!tO'}? Y3V2} t[({KbIy 建模任务
=%77~q-HL E)'T;% ieO w& 光栅特性与参数的严格分析
(-o}'l'mo 8M4GforP 不同光栅周期下的衍射效率
H_iQR9Ak7 j;_E0j# =m;cy0)) 7&dF=/:X@ 关于光栅周期选择的考虑
>)`*:_{ DI : #E/|WT "NV~lJS% 偏振相关的衍射特性
uY&t9L8 *Xu?(Jd ) C#>@W OQ3IkE`G 3|Y.+W _:XX+3W7 C9%A?'` e=i9l 通过参数优化进行光栅设计
Z(ToemF)hi 7MX5hZF" 固定周期的2D参数优化
,u5iiR _10I0Z0 RbEtNwG@c 2D参数优化–设计1
JPe<qf- \`?4PQ ?2S<D5MSb ou\~^ 2D参数优化–设计2
LII4sf] h(FFG%H( Ix.Y_} ^Zq3K 制造
公差分析–设计2
BK foeN)% A{wSO./3 9t{Iv({6p ej]>*n 变化光栅周期的3D参数优化
8sU}[HH*1 xU;Q~( A~wVY Vdb X4^V 制造公差分析
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Wo/LrCg }N#hg>;
B NfXEW- 走进VirtualLab Fusion
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pB T@on
ue7 X[$FjKZh=F LVNJlRK VirtualLab Fusion中的工作流程
Q|nGY:98 ),U>AiF] j%Z%_{6Ds* fqD1Ej •构造光栅
结构 R}0!F2 −
通过使用界面来配置光栅结构 oz/Nx{bg [用例]
eGlPi| •分析光栅衍射效率
rL<a^/b/= −
光栅级次分析器[用例]
@SH$QUM( •使用参数运行搜索初始解决方案
7G
&I]> −
参数运行文档的使用[用例]
$g]'$PB •通过参数优化找到最终设计
|Fp+9U lb<D,&+ VirtualLab Fusion技术
K_CE.8G&{ "'*w_H0 5!iBKOl#D cP`[/5R 文件信息
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