摘要
8'_ 0g[s /%!~x[BeJ> 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
:$?Q D gw^'{b 2:Q(Gl`<l 3+ =I;nj 建模任务
GX
}q9 gyev5txn b0rX QMu 光栅特性与参数的严格分析
zPR8f-U vw FbAW_Am( 不同光栅周期下的衍射效率
v8m`jxII64 e`iEy=W u`_*g^5q" }$&xTW_ 关于光栅周期选择的考虑
RP!
X8~8 GKZN}bOm\ m2xBS!fm +6l]] *H 偏振相关的衍射特性
?'eq",c#4N 2/B)O)#ls gzf-)J Qqc]aVRF d]SYP ZSB?Y1wG ?qmp_2:WU +Rwx%= 通过参数优化进行光栅设计
E"qFXA> X:EEPGE 固定周期的2D参数优化
};b1aha G _w!a`w*3 bMm3F%FFq& 2D参数优化–设计1
gmP9j)V6 ~Y7dH
Dn })Yv9],6 rjk ( X|R* 2D参数优化–设计2
[=uIb._Wv *jITOR!uF` uwmQ?LS]V X%}nFgqQ 制造
公差分析–设计2
O=}g4c jVWK0Zba "35A/V iPj~I 变化光栅周期的3D参数优化
RLVATM5 pHC/(6? I:l01W; DHw<%Z-J 制造公差分析
Q@S-f:! KpHw-6" $_Nf-:D* xZ .!d.rn 走进VirtualLab Fusion
wTc)S6%7 ' cIEc1y $B (kZ F<|t\KOW VirtualLab Fusion中的工作流程
5,)vJ,fs "_1)CDqP k N7Bd} %*}Y6tl '| •构造光栅
结构 h6:#!Rg −
通过使用界面来配置光栅结构 *ZrSiIPP [用例]
uLR<FpM •分析光栅衍射效率
B?bW1 −
光栅级次分析器[用例]
aZS7sV28 •使用参数运行搜索初始解决方案
g>JLDQdc −
参数运行文档的使用[用例]
78 f$6J q •通过参数优化找到最终设计
-NJ!g/ >mM (s<s@` VirtualLab Fusion技术
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