摘要
~jcdnm] %l{0z< 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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)LOV)z|} xZbiEDU 建模任务
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9BW"^$ 光栅特性与参数的严格分析
O7D aVlln >JOEp0J 不同光栅周期下的衍射效率
z)AZ:^!O {v3?.a$u
r xlKoa Q`= ,&;T> 关于光栅周期选择的考虑
Lt'FA [%?ViKW
lqaOLZH AN)exU ? 偏振相关的衍射特性
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^&[Z@*A8# N$&)gI:
8&q[jxI@8 PCqE9B)l 通过参数优化进行光栅设计
RX])#=Cs 7&O0 固定周期的2D参数优化
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kg/<<RO 2D参数优化–设计1
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1@}s: [N=v=J9 2D参数优化–设计2
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] Hiw+5n q0t} 制造
公差分析–设计2
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P >>VBh? ;N(9nX}%) 变化光栅周期的3D参数优化
]=Tle&yM+T XbaUmCuh
*4HogC ;0"p)O@s04 制造公差分析
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E9[U[ 走进VirtualLab Fusion
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\2#j1/d4 YQ$Wif:@(n VirtualLab Fusion中的工作流程
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A7enC,Ey #E;a;$p •构造光栅
结构 N~!
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通过使用界面来配置光栅结构 XF Cwa [用例]
{b,#l]v •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
>c30kpGg •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
GOU>j"5}2 •通过参数优化找到最终设计
Lk`,mjhk \Y$@$) VirtualLab Fusion技术
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