摘要
^IH1@ B>ZPn6?y 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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clw91yrQn f zO8by 建模任务
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`1@[uWl 光栅特性与参数的严格分析
[u80-x< Ak Tw?v' 不同光栅周期下的衍射效率
.}N^AO= ;l ()3;
#:|?t&On l`&6W?C 关于光栅周期选择的考虑
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?8@*q6~8 h\d($Ki 偏振相关的衍射特性
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5R `6zhf >-lL-%N_ 通过参数优化进行光栅设计
v6?\65w,| OeGuq.>w 固定周期的2D参数优化
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;X 2D参数优化–设计1
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;fBe 2D参数优化–设计2
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0^EltiU 制造
公差分析–设计2
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l=~99mE ({kGK0 变化光栅周期的3D参数优化
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zMzf=~ `Mn{bd 制造公差分析
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Bj($_2M%+ LY!3u0PnlT 走进VirtualLab Fusion
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k;AiG8jb eKpxskbhZ VirtualLab Fusion中的工作流程
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z+}7 •构造光栅
结构 T{{AZV"pB −
通过使用界面来配置光栅结构 $_7d! S" [用例]
$4*E\G8 •分析光栅衍射效率
j X!ftm2 −
光栅级次分析器[用例]
%3#I:>si •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
2td|8vDA •通过参数优化找到最终设计
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}Oh'YX#[ 9 c5G6n0 文件信息
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