摘要
}"s;\?a 1NLg _UBOK 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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a[!%Ld YK#fa2ng 建模任务
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mEAXM1J| 光栅特性与参数的严格分析
L:&k(YOBA 3lxc4@Zmd 不同光栅周期下的衍射效率
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ef"?|sn Gu0 ,)jy\ 关于光栅周期选择的考虑
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Li{~=S@N* 19e8 偏振相关的衍射特性
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hVpCB, S=|@L<O
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'fd1Pj9~$ J5M+FwZq 通过参数优化进行光栅设计
tOl e>] a:STQk V 固定周期的2D参数优化
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pG3 2D参数优化–设计1
,El!fgL Q9F)
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vq 2D参数优化–设计2
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je,}_:7 %q3$|> 制造
公差分析–设计2
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;A iP@6hG`: 变化光栅周期的3D参数优化
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$D1w5o- }GwVKAjP 制造公差分析
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5N$E()m$ 1%[_`J;>Z 走进VirtualLab Fusion
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l667N VirtualLab Fusion中的工作流程
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dfR!&J •构造光栅
结构 z`Wt%tL( −
通过使用界面来配置光栅结构 &7mW9] [用例]
ff?t[GS •分析光栅衍射效率
TA18 gq −
光栅级次分析器[用例]
'fV%Z •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
!v|ISyK •通过参数优化找到最终设计
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K7 VirtualLab Fusion技术
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