摘要
?T,a(m<i{ #TV #* 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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uc\G)BN c Y+n 6k5 建模任务
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J3/e;5w2Z 光栅特性与参数的严格分析
iG"1~/U W}|k!_/ 不同光栅周期下的衍射效率
b?2 \j} p9!jM\(
|x=(}g oW>e.}d! 关于光栅周期选择的考虑
l[<o t9P[ 6BZi4:PDx
dKevhm)R" P057]cAat< 偏振相关的衍射特性
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{$7vd {cjp8W8hS
0d89>UB-8q kX*.BZI}C 通过参数优化进行光栅设计
)EcfEym.> _s:5) 固定周期的2D参数优化
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D+w? 2D参数优化–设计1
@Y ?p-& kLXa1^Lq
	HV DD6K[\ 2D参数优化–设计2
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q AsTiT6r x4`|[ 制造
公差分析–设计2
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M=1~BZQ(Z XAB/S8 e 变化光栅周期的3D参数优化
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0OnqKgf n8q%>.i7 制造公差分析
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#?Ob->v #9A*B bY 走进VirtualLab Fusion
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:Z6l)R+V
{axRq'= hy3?. VirtualLab Fusion中的工作流程
yoTx3U@ GwG(?_I"
y#nyH0U Xa$tW%) •构造光栅
结构 &}0#(Fa` −
通过使用界面来配置光栅结构 D6'-c# [用例]
+('=RyoT •分析光栅衍射效率
g&/r =U −
光栅级次分析器[用例]
)-i (%;,*e •使用参数运行搜索初始解决方案
"&\]1A}Z-x −
参数运行文档的使用[用例]
o<g1; •通过参数优化找到最终设计
ei[, ug' C`aUitL} VirtualLab Fusion技术
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