摘要
kznmA`#jn {
+MqXeq 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
=l?5!f9 } D{y
u+) <LH(> +Z#lf 建模任务
L-",.U*; $D<LND=o= %Gh!h4Pv 光栅特性与参数的严格分析
(khjP, c2-NXSjsW 不同光栅周期下的衍射效率
){ArZjG> pd/{yX M QzCu$ [ mO(m%3 关于光栅周期选择的考虑
[r<lAS{ . BbnY9" 2:Zb'Mj d>VerZZU 偏振相关的衍射特性
*C}vy`X R 6ca; cEhwv0f!qS Yx>=(B VMe~aUd &Vd,{JU i9 8T+{4 2<y!3OeN 通过参数优化进行光栅设计
ZEiW\ V @Q
8E)k@ 固定周期的2D参数优化
[f!sBJ! ]SA]{id+ ckHHD| 2D参数优化–设计1
^/h,C^/; tH`!? 9|jk=`4UK Lp`q[Z* 2D参数优化–设计2
lb{<}1YR0o -U`]/ /{gCf wz}BH 制造
公差分析–设计2
}'U"HHv %3M1zZY <DxUqCE UC"<5z
lcu 变化光栅周期的3D参数优化
ZaIlo5 c!{v/zOz ?ey!wcv~ &-mPj82R 制造公差分析
iaPrkMhd qv>?xKSm |gxT-ZM @)owj^sA 走进VirtualLab Fusion
K; ,2ag uQIa"u7 (,z0V+! y9kydu# q VirtualLab Fusion中的工作流程
Yx>y(Whu. ZJlmHlAX @F%H 1 tXDO@YH3S •构造光栅
结构 zGjf7VV2a −
通过使用界面来配置光栅结构 ,<!_MNw[ [用例]
J{<,V\t) •分析光栅衍射效率
mltG4R
? −
光栅级次分析器[用例]
,Wtod|vx\U •使用参数运行搜索初始解决方案
lv\C(^mGq −
参数运行文档的使用[用例]
vs]#?3+ •通过参数优化找到最终设计
?nN3K A2.[P== VirtualLab Fusion技术
x =7hOI5u -b'93_ZTu: A14} j5QS/3 文件信息
6P@3UQ)}s Ry2rQM` t_%6,?S6 QbA+\ 更多阅览
;[9WB<t -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers eJD!dGa -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block ?ra6Lo -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings U,q
] Twi:BI`. (来源:讯技光电)