摘要
fbjT"jSzw @ uF$m/g 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
)[Bl3+' uQ_s$@brI 1B5]1&M HTa]T' 建模任务
hb,G'IU e*Y>+*2y G|LJOq7QB 光栅特性与参数的严格分析
T+q3]& (c'kZ9& 不同光栅周期下的衍射效率
j@98UZ{g\ oA;> z aOOkC&% m0a <~ 关于光栅周期选择的考虑
b14WIgjsl KJLC2, rDEdMT [3~mil3rO 偏振相关的衍射特性
;LhNz ()b WS7a]~3' (pud`@D;[ zg[.Pws:E ]rY3bG'& g(b:^_Nep w%NT
0J p?#%G`dm 通过参数优化进行光栅设计
P*kKeMl _l$1@ 固定周期的2D参数优化
-IP 3I /BaXWrd+ x392uS$# 2D参数优化–设计1
7XDze(O5 Y;B#_}yF fN-y8 l(fStpP 2D参数优化–设计2
l`'
lqnhv h]w5N2$}? H"n@=DMLm C>0='@LB@r 制造
公差分析–设计2
.o"FT~}z 1^HUu"Kt Qk_Mx" J_tI]?jrU 变化光栅周期的3D参数优化
Rc.8j,] QN'v]z M?FbBJ`sF Q*c |!<
&e 制造公差分析
1}#RUqFrvS z!0}Kj ;A3aUN;"I Q=!f, 走进VirtualLab Fusion
Ze:Y"49S+> @?gN
&Z)I ;xl_9Ht/ M)T {6w VirtualLab Fusion中的工作流程
OQC.p,SO P?Fm<s: aN}l&4d FE[{*8 •构造光栅
结构 KDW=x4*p −
通过使用界面来配置光栅结构 Ou'<9m!9 [用例]
HXg4
T •分析光栅衍射效率
,VTX7vaH −
光栅级次分析器[用例]
ROfr •使用参数运行搜索初始解决方案
#]_S)_Z- −
参数运行文档的使用[用例]
aDreN*n •通过参数优化找到最终设计
pSml+A: Ac@zTK6> VirtualLab Fusion技术
rcyq+wY # =>Md>VM iI.d8}A zV<vwIUrr 文件信息
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