摘要
ezlp~z"_k {#q<0l 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
Q"VFcp: xN2M|E] Opmb +d\"n 建模任务
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.EH^1.|v i[d-n/) 光栅特性与参数的严格分析
sx8mba( (Tn*;Xjq 不同光栅周期下的衍射效率
yt C{,g> 9R>A,x( 4'+/R%jk" B/E1nBobC 关于光栅周期选择的考虑
*~ 4uF abD55YJY _w+sx5
*|$s0ga C 偏振相关的衍射特性
2b1LC!'U ;^}cZ o'myo.k{ {FQ
dDIj# n5S$Dl \R&`bAd k g_>)Q peGXU/5.I 通过参数优化进行光栅设计
HJBUN1n 8XX,(k_b 固定周期的2D参数优化
Podm 3b R9S7p)B 9]|[z{v'>l 2D参数优化–设计1
+aP%H
jc;&g)Rv l:Ci'= PhKJ#DRbr 2D参数优化–设计2
JEY%(UR8 sdS<-!
%u4 ),bdj+wr78 yuFuYo&[?v 制造
公差分析–设计2
? ]kIztH U <4<8' K+T`'J4 'y-IE#!5 变化光栅周期的3D参数优化
xZ`t~4qR 'r1&zw( Vl^jTX5N 8Mws?]\/q 制造公差分析
%PlPXoG= .RJvu$U2j n0Ze9W+< sS5#Q 走进VirtualLab Fusion
J5J3%6I W'gCFX 'O\K Wj{
Q:_pW<^ VirtualLab Fusion中的工作流程
2U~oWg2P IeN!nK- Bu!Gy8\ n)`*{uv$ •构造光栅
结构 WHE*NWz>q −
通过使用界面来配置光栅结构 webT [用例]
L>@0Nne7 •分析光栅衍射效率
dUjdQ −
光栅级次分析器[用例]
wQ.ild •使用参数运行搜索初始解决方案
J=4S\0Z* −
参数运行文档的使用[用例]
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3KCIL9 •通过参数优化找到最终设计
"]MF =-v wy) Frg VirtualLab Fusion技术
%K ]u" _Seiwk& 3kYUO-qw X*S|aNaLWW 文件信息
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