摘要
QcG-/_,'} zTvGku[3 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
iF'qaqHWY4 3zuYN-; z)U/bjf U%E364;F 建模任务
4-veO3&.h MY"8! <WRrB
`nO 光栅特性与参数的严格分析
S[5e,Ew /D&7 \3} 不同光栅周期下的衍射效率
=& =#G3f wwD?i.3 X4Y!Z/b nH7i)!cI~ 关于光栅周期选择的考虑
hqVxvS" 9L9+zs3k T+U,?2nF: @fO[{V 偏振相关的衍射特性
EQ>] ~
U>=&
2Z2? F>/"If# +_ZXzzcO< y=spD^tM8 )=@SA`J ]'!$T72 ( !=^ (Nd 通过参数优化进行光栅设计
n/jZi54gO KR sY `[Y 固定周期的2D参数优化
P{gy/'PH, |;k@Zlvc HH3Ln+AWg_ 2D参数优化–设计1
w_lN[u-L }{(J*T <Gkmk?x`A mKN#dmw6 2D参数优化–设计2
T5b*Ia !au%D?w X4{O/G ;'~GuZ#I 制造
公差分析–设计2
)CM3vL { nht?58 (Ceq@eAlT t0-)\kXcA 变化光栅周期的3D参数优化
QdtGFY4f, dAkJ5\=* 1}Mdo&:t " }oH3L 制造公差分析
eB,eu4+- FhVoN} .qGfLvx% |QcE5UC 走进VirtualLab Fusion
"ukiuCfVuW nkii0YB! ?f'iS#XL !aQQq[ VirtualLab Fusion中的工作流程
rIJv(&l R-lpsvDDL2 Wd<|DmSy Vnvfu!>( •构造光栅
结构 V4>qR{5 −
通过使用界面来配置光栅结构 %=EN 3>, [用例]
1Q>D^yPI[ •分析光栅衍射效率
|';oIYs|$ −
光栅级次分析器[用例]
)E>nr
Z •使用参数运行搜索初始解决方案
MR`lF-|a| −
参数运行文档的使用[用例]
`<x((@# •通过参数优化找到最终设计
[ 30ta<- U1 ;<NUg VirtualLab Fusion技术
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