摘要
*|=&MU*+ "3^6 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
-d[x09 a"EQldm|d uY;/3?k& C8t+-p 建模任务
{UUVN/$ #qn)Nq( *e8V4P 光栅特性与参数的严格分析
=Q|}7g8o _ssHRbE 不同光栅周期下的衍射效率
92VAQU6 ? {l2 cX=` Tl 3]
@<. 关于光栅周期选择的考虑
4p-$5Fk8} I|LS_m .xk<7^ZD 7"[lWC!As5 偏振相关的衍射特性
UwM}!K7)G 9iOlR=-* ag+ML1#) 1a)_Lko +<q^[<pS S m1bDa\!= xH
f9N? pUwX
cy<n 通过参数优化进行光栅设计
f,-|"_5; #k"[TCQ> 固定周期的2D参数优化
Zk/NO^1b 1uH\Bn]p? KW;xlJz(j 2D参数优化–设计1
Lhc@*_2 HaC3y[ LJ0 L.Lt9W2fi D-~Jj&7 2D参数优化–设计2
yk5P/H) 9D|
FqU | JZY=2q& -j$l@2g 制造
公差分析–设计2
g 764wl lt$797 h1kPsgzR $XI<s$P%(% 变化光栅周期的3D参数优化
lxmS.C *c%@f<R~ kg61Dgu V*m)h 制造公差分析
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走进VirtualLab Fusion
`MwQ6%lf ZB2'm3'bh NY;UI(<] Gu}x+hG VirtualLab Fusion中的工作流程
[.I,B tY+ MUe'xK Q)@1:(V/ B5cyX*! ? •构造光栅
结构 |)4$\<d −
通过使用界面来配置光栅结构 Y) h%<J [用例]
#-Rz`Y<& •分析光栅衍射效率
PVU"oz&T −
光栅级次分析器[用例]
)f!dG(\ •使用参数运行搜索初始解决方案
_%2Umy| −
参数运行文档的使用[用例]
pjCWg4ya •通过参数优化找到最终设计
CU;nrd " )[)]@e VirtualLab Fusion技术
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3.0c/v5Go
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