摘要
vmY 88Kx&S $GMva}@G` 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
" iz'x-wy Im<i.a
<` kT=KxS{ "u H VX|` 建模任务
19g-#H! :Sd"~\N+ 4GL-3e 光栅特性与参数的严格分析
ri]"a?Rm >l$qE 不同光栅周期下的衍射效率
U#X6KRZ~g 5, j&-{0W Yu`KHvur 8iIz!l%O 关于光栅周期选择的考虑
4e0/Q!o, g.V{CJ*V }(yX$ 3?` ;ATn& 偏振相关的衍射特性
`1hM3N.nO /Tc
I 8M_p'AR\,y l)d(N7HME ;;Y>7Kn!u z5UY0>+VdS 1Fs:&* = w]&
o]VP 通过参数优化进行光栅设计
B<
6E' xc&&UKd 固定周期的2D参数优化
_P:}]5-| j@98UZ{g\ oA;> z 2D参数优化–设计1
'A#bBn,| %"C%pA 9?6]Zag "L)=Y7Dx 2D参数优化–设计2
^=1:!'*3D u~-,kF@ B S^P&TR! /ll2lyS+ 制造
公差分析–设计2
UD+r{s/% $.g)%#h: M#5*gWfq9 `Cv@16 变化光栅周期的3D参数优化
br[n5 8euh]+ /BaXWrd+ $&@etsW0/ 制造公差分析
:8CYTEc +'!4kwT R B'U;i5u4' 7k==?,LG3 走进VirtualLab Fusion
~Bi{k'A9 qbunP! 'a6:3* "{X_[ VirtualLab Fusion中的工作流程
LL}b]B[ {-'S#04 ~|!f6= %
QKlvmI" •构造光栅
结构 Q|1X|_hs −
通过使用界面来配置光栅结构 M9J^;3Lrh [用例]
F#
a)"$j; •分析光栅衍射效率
L74Sx0nk= −
光栅级次分析器[用例]
Do\YPo_Mr •使用参数运行搜索初始解决方案
}8\"oA6 −
参数运行文档的使用[用例]
L[LgQ7esQ •通过参数优化找到最终设计
OBBEsD/bc ;xl_9Ht/ VirtualLab Fusion技术
M)T {6w OQC.p,SO
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