摘要
YfB)TK\W9/ WEe7\bWF 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
oC49c~`8 [bP^RY: V0_tk" @WS77d~S 建模任务
6Q [ ]q{_i 1J/'R37lP 光栅特性与参数的严格分析
e
}?.3,? t~j6w sx; 不同光栅周期下的衍射效率
UAhWJ$(C 6{]F#ig= @}g3\xLiK fxPg"R!1i 关于光栅周期选择的考虑
3MNM<Ih 4xmJQ>/ 8I/3T ,P`NtTN- 偏振相关的衍射特性
5X)M)"rq;V Dk^AnMx%_ 5kTs7zJ^ G/Sp/I<d XyE$0i~t 4/`;(*]Fv O8$~dzf,2 m
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r 通过参数优化进行光栅设计
G]f|? Ld}?da Pj 固定周期的2D参数优化
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d S
\]O8#OX "4\ 2D参数优化–设计1
EwN{| 34C &=kv69v F6[F~^9D <z,)4z++ 2D参数优化–设计2
oc( '!c dz([GP'-* vnvpb!
@Q $YEm(:v$ 制造
公差分析–设计2
]<\YEz&A %}9tU>?F# ErK1j :,JaOn' 变化光栅周期的3D参数优化
bKCE;Wu:G CZ3oX#b T\}U{9ELL T[|#DMg$F 制造公差分析
tjx8UgSi WDIin6u- k9rws kPs? 走进VirtualLab Fusion
=Z:]% AuXUD9- uH9Vj<E$K *XhlIQ VirtualLab Fusion中的工作流程
<@.e.H R}0gIp= f $Agcy jDY
B*Y^F •构造光栅
结构 3s!6rT_=)d −
通过使用界面来配置光栅结构 1PwtzH.w [用例]
b}R_@_<u •分析光栅衍射效率
>6o <Q −
光栅级次分析器[用例]
+QFKaS<sn •使用参数运行搜索初始解决方案
FQ<x(&/NF −
参数运行文档的使用[用例]
C{J5:ak •通过参数优化找到最终设计
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AfTm#-R VirtualLab Fusion技术
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