摘要
>p,FAz> ?PSVVUq,Z 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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B`1"4[{ 6nP-IKL 建模任务
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#mvOhu 光栅特性与参数的严格分析
bi 8Qbo4 p:@JC sH= 不同光栅周期下的衍射效率
\]gUX- P]wCC`qi
9Vh> ty1|_ NP?hoqeKs 关于光栅周期选择的考虑
p@Ng.HE u/g4s (a
]f<H? <sNkyQ 偏振相关的衍射特性
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iu$i6 o6LZ05Z-& 通过参数优化进行光栅设计
:SD^?.W\iT e+ckn 固定周期的2D参数优化
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NL76 jF 2D参数优化–设计1
nm.~~h+8M 3duWk sERC
c2iPm9"eh 4EtP| 2D参数优化–设计2
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knU=# ]BiLLDz( 制造
公差分析–设计2
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f#3U,n8: "`''eV3 变化光栅周期的3D参数优化
q;{# ~<"+ EX.`6,:+2
}q~M$ ` e~nn 制造公差分析
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.tny"a& )n&@`>vm 走进VirtualLab Fusion
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dLq)Z*r Hve'Z,X VirtualLab Fusion中的工作流程
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xct{Tv[FO :UrS@W^B •构造光栅
结构 ?z]hYsy −
通过使用界面来配置光栅结构 k Up[b~ [用例]
rnV\O L •分析光栅衍射效率
;[ag|YU$Y −
光栅级次分析器[用例]
v|r=}`k= •使用参数运行搜索初始解决方案
wgeR%#DW −
参数运行文档的使用[用例]
nM?mdb •通过参数优化找到最终设计
}%;o#!<N(@ tAM t7p- VirtualLab Fusion技术
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