摘要
Ey%NqOs0# np(<Ap r 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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LOzKpvGl H_]kR&F8 建模任务
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EG6fC4rfC 光栅特性与参数的严格分析
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r1- sf| 6 [E" 不同光栅周期下的衍射效率
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"Q4{6FH+mB qMOD TM~+ 关于光栅周期选择的考虑
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7 gX<C-y6o 偏振相关的衍射特性
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公差分析–设计2
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O#g31?TO 1ARIZ;H 变化光栅周期的3D参数优化
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I5{SC-7 #\qES7We6 制造公差分析
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3~ylBJJ hz!.|U@,{< VirtualLab Fusion中的工作流程
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通过使用界面来配置光栅结构 $P$OWp?b [用例]
t5S S] •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
[1Rs~T" •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
2]|+.9B •通过参数优化找到最终设计
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