摘要
D_x+:1( _%GGl$kH 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
G>q(iF' {6}eN|4~# ?yj6CL(, P><o,s"v 建模任务
e/^=U7:io kS!viJwtT VH[hsj 光栅特性与参数的严格分析
v.]Q$q^ 4)("v-p 不同光栅周期下的衍射效率
*f?4
k70|'* Kh zSFDUZ]A3 |<GDUwC_; 关于光栅周期选择的考虑
qs QNjt CXC`sPY rs~wv(' ' Tc]KXD6 偏振相关的衍射特性
&0`)
Q [B|MlrZ
EbdfV-E *Q,0W:~- 7R\oj8[ .<Zy|1
4 -*XCxU' Cm\6tD 通过参数优化进行光栅设计
beu\cV3 qu-/"w<3$ 固定周期的2D参数优化
;]pJj6J&v >2Kh0rIH Et/&^&=\- 2D参数优化–设计1
#/Eb*2C`b dS<C@( uNHF'?X 8A+SjJ4$ 2D参数优化–设计2
T16{_ 4Z/Q=Mq2 `YIf_a{ ruazOmnn~ 制造
公差分析–设计2
EMfdBY5 Yx>"bv t>[KVVg
W %!PM&zV 变化光栅周期的3D参数优化
a$Cdhx! mD/MJt5 >J>b>SU=- =-}[^u1 制造公差分析
th&[Nt7 :M6+p'`j n8DxB@DI /)>s##p* 走进VirtualLab Fusion
Y14W?|KOB _`pD`7:aI^ w18y}mS"H ,qYJioWX VirtualLab Fusion中的工作流程
LK@lpkX %Pqf{*d8 4M^G`WA}t9 U8G%YGMG.4 •构造光栅
结构 (1NA −
通过使用界面来配置光栅结构 44F`$.v96 [用例]
b&5lY p"d •分析光栅衍射效率
hjQ~uqbg −
光栅级次分析器[用例]
;j)FnY=: - •使用参数运行搜索初始解决方案
^*fxR]Y −
参数运行文档的使用[用例]
V.{H9n]IO •通过参数优化找到最终设计
rrCNo^W1 37RLE1Yf VirtualLab Fusion技术
($~RoQ=0S H8'Z#"h eVM/uDD ZPD[5)~ 文件信息
g{P%s'%* _Y[jyD1> +r<0zh,n. bk\yCt06y; 更多阅览
5e fpeu -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers I'@Ydt2 -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block V,[d66H=N -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings `3Uj{w/Q:L uZ=NSbYsA (来源:讯技光电)