摘要
uYl ?Q YT_kMy> 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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}bHpFe d/^^8XUK 建模任务
i et|\4A "P|G^*"~2
Fg~,1[8w< 光栅特性与参数的严格分析
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a> (G 不同光栅周期下的衍射效率
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QdRMp
n}q Re2kD/S3 关于光栅周期选择的考虑
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Ax\Fg
5 rS
jC/O&b 偏振相关的衍射特性
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ZibODs=f; X6;aF;"5
6y0C 6nDx;x&Q
,lUo@+ 'ZJ6p0 通过参数优化进行光栅设计
N >z8\y NubD2 固定周期的2D参数优化
MqpoS HP8pEo0Y
kju:/kY A 2D参数优化–设计1
2H /a&uo@n uZ^i8;i
k.0C*3' |N g[^ 2D参数优化–设计2
D^u{zZy@e zb4g\H
0
tEeMl =u DXiD>1(q 制造
公差分析–设计2
8}0
D? &a:aW;^A7
gV7o
eZ5 RS1oPY
变化光栅周期的3D参数优化
Yv;aQF"a O~S}u
f]lDJ?+
M u>E+HxUJ 制造公差分析
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F&P)mbz1 ?( '%QfT 走进VirtualLab Fusion
Y}6)jzBV M{H&5 9v
8%"e-chd :b=0_<G VirtualLab Fusion中的工作流程
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Bb o*
5(W9J j] vfm-K;,# •构造光栅
结构 7%'<}u −
通过使用界面来配置光栅结构 V OX>Sl [用例]
IF}r%%'Y$ •分析光栅衍射效率
o i?ak −
光栅级次分析器[用例]
joG>=o •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
BpC Sf.zZ •通过参数优化找到最终设计
"&%Hb's g :EU\ VirtualLab Fusion技术
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