摘要
f5yd2wKy6 r[?rwc^ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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4$|G$h 9Qkww&VEk 建模任务
0<s)xaN>Y =W4cWG?+
!?+3jzG 光栅特性与参数的严格分析
sF|$oyDE -9Can4 不同光栅周期下的衍射效率
:]//{HF gF%ad=xm
qM9GW`CKA A2vOI8 关于光栅周期选择的考虑
j&&^PH9ZY .*zQ\P
:7`,dyIqT PD$'xY|1= 偏振相关的衍射特性
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&R8zuD`# 'kC $R;#\7
JZ c5U}i #A))#sT'R
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I L8$7^muad 通过参数优化进行光栅设计
JZ<O-G+ $Z(zO;k. 固定周期的2D参数优化
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F(w>lWs; 2D参数优化–设计1
*".7O*jjV
Dho~6K}"
97BL%_^k I#,,h4C 2D参数优化–设计2
uUJ2d84tV -p)HH@6a
%|u"0/ Xr~r`bR= 制造
公差分析–设计2
OC[a?#R1 gr7W&2x7\
95+}NJ;r svQDSif 变化光栅周期的3D参数优化
F^w0TD8 T0SD|'
?Cu$qE!h)[ :Ert57@l 制造公差分析
ce;9UBkOg2 "~Eo=R0O
zJV4) $b8>SSz 走进VirtualLab Fusion
J7$=f~$ MKH7d/x
dxU[>m; bVVa5? HP VirtualLab Fusion中的工作流程
*$s)p > :2?'mKa7
)GR^V=o7,Y p]>bN •构造光栅
结构 T"0a&.TLj −
通过使用界面来配置光栅结构 Kc(_?` [用例]
l/1uP •分析光栅衍射效率
;;U2I5 M7 −
光栅级次分析器[用例]
YnNei 7R •使用参数运行搜索初始解决方案
g$:2c7uL −
参数运行文档的使用[用例]
c8yD-U/- •通过参数优化找到最终设计
(0k0gq; -x RsYYw VirtualLab Fusion技术
zL_X?UmV `t8e2?GH
8CYJR/ q=EQDHmh 文件信息
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings R
`'@$" {b+IDq`)= (来源:讯技光电)