摘要
H'$g!Pg Nf>1`eP 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
7{:| ) $L.0$-je4 ](vshgp2 @xW)&d\' 建模任务
a8-2:8Su rO/mK$ c@:r\] 光栅特性与参数的严格分析
|$":7)eH! Mu18s} 不同光栅周期下的衍射效率
F9ry?g=h Uq&ne1 uRKCvsi sX bv>;%TF 关于光栅周期选择的考虑
0i9y-32- EW1L!3K 3KfZI&g r+0"1\f3 偏振相关的衍射特性
7Rj!vj/ 0b=OK0n!% <oPo?r|oM| %L{ H_;z dZRz'd *J?QXsg |,5b[Y"Dt q,2]]K7y 通过参数优化进行光栅设计
BN@*CG >\8Bu#&s4 固定周期的2D参数优化
x$AF0xFO 0^|)[2m! ;'dw`)~jQ 2D参数优化–设计1
}
O9q$-8! ";9cYoKRY X}_}`wIn ,>2ijk# 2D参数优化–设计2
J& +s NDU,9A.P |t|+pBB )m"NO/sJ2 制造
公差分析–设计2
,Vt7Kiu RM-|?% [Zl Qwk 变化光栅周期的3D参数优化
lKI1bs]i vyERt^z i=reJ(y- 75@){ : 制造公差分析
T^aEx.`O}` "4H&wHhT! ,$mnD@) 2<yi8O\ 走进VirtualLab Fusion
Z~~{!C+G ,2[laJ >;nE.] ~kYUp5f VirtualLab Fusion中的工作流程
K-)_1 Vur$t^zE 23qTmh 2JYyvJ> •构造光栅
结构 7NMQUN7k' −
通过使用界面来配置光栅结构 1s=M3m&H [用例]
RhnSQe •分析光栅衍射效率
^P~%^?( −
光栅级次分析器[用例]
WHqp7NPl •使用参数运行搜索初始解决方案
]P(:z −
参数运行文档的使用[用例]
"dXRUg" •通过参数优化找到最终设计
yd`xmc) X +*@ VirtualLab Fusion技术
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