摘要
vt^7:!r QB!_z4UJ_; 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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ViMl{3 )KVr2y;RF 建模任务
M\ V$O 6m|q
@ =~k[o 光栅特性与参数的严格分析
NN1}P'6Ha J:gC1g^ 不同光栅周期下的衍射效率
_SOwiz #+V4<o
1"75+Q>D e&U$;sS` 关于光栅周期选择的考虑
s%`l>#H dE_"|,:
"~._G5i. )lJAMZ 5xp 偏振相关的衍射特性
bv'>4a {*TB }Xsr,
bhIShk[ m"'LT0nur
L6fbR-&Lt R=D}([pi
A%HIfSzQBS f\_PNZCc 通过参数优化进行光栅设计
EPH" 5$8 l9="ccM 固定周期的2D参数优化
K sE$^` v;9(FLtL
'j,
([ 2D参数优化–设计1
,=4,eCS njg0MZBqA
-6s:D/t1' 'N+;{8C-{ 2D参数优化–设计2
4K~=l%l :r hB=
\G>C{v; ]=%qm; 制造
公差分析–设计2
9N)I\lcY N{Z+
a{Y|`*7y T$%QK?B 变化光栅周期的3D参数优化
amC)t8L? U&u6356
$w{d4" ) `'<$N<! 制造公差分析
zEtsMU UE"v+GH
`4'=&c9 %A'mXatk 走进VirtualLab Fusion
[BJzZ>cY FGHCHSqLq
gjN'D!'E1D lGWz VirtualLab Fusion中的工作流程
+~iiy;i( )1M2}11uS
L@s6u+uu `vAcCahM •构造光栅
结构 -sKtT 9o −
通过使用界面来配置光栅结构 oo &|(+"O_ [用例]
d]O:VghY\ •分析光栅衍射效率
gveJ1P −
光栅级次分析器[用例]
Aipm=C8 •使用参数运行搜索初始解决方案
;5[OS8 −
参数运行文档的使用[用例]
y,|2hrj/0E •通过参数优化找到最终设计
#2ta8m), 'q$ Ym0nL VirtualLab Fusion技术
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