摘要
hx]?&zT@ [3|P 7?W/ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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z '&%( [K0(RDV)%
cHt#us wD'SPk5S? 建模任务
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]-/VHh 光栅特性与参数的严格分析
ckE-",G Dwfu.ZJa 不同光栅周期下的衍射效率
b!5~7Ub.No xYpd: Sm J{fH['tzO 9m~p0 ILh 关于光栅周期选择的考虑
o]I\6,T/| ]|PiF+ q'Tf,a q9r[$%G 偏振相关的衍射特性
Cd}<a?m, |H+UOEiv,p (V67`Z ) sN01rtB(UT H%Q7D- t=W}SH D7Q$R:6| -fW*vE: 通过参数优化进行光栅设计
hy"\RW 9Y_HyOZ*GX 固定周期的2D参数优化
K/yxE|w< :(*V?WI )cMh0SGcM1 2D参数优化–设计1
&powy7rR )W
_v:?A9 Tqn@P Ig0VW)@ 2D参数优化–设计2
z/2//mM -ifFbT+x kzUIZ/+ZL, EDl!w: 制造
公差分析–设计2
V#gK$uv ^KT Y? !9VY|&fHe rlSeu5X6 变化光栅周期的3D参数优化
c2 C8g1n m'=Crei nV/G8SeI !@*7e:l 制造公差分析
h_,i&d@( wc^tgE ShP^A"Do TpwkD_fg 走进VirtualLab Fusion
+.b,AqJ/ 9`X\6s ?_9 2E)-M9ds VirtualLab Fusion中的工作流程
ZI}F om< 0#Y5_i|p :vQrOn18p }?_?V&K| •构造光栅
结构 sfugY(m −
通过使用界面来配置光栅结构 \\H}`0m: [用例]
k:#!zK} •分析光栅衍射效率
6@F9G4<Z −
光栅级次分析器[用例]
;)z:fToh •使用参数运行搜索初始解决方案
;rGwc$?| −
参数运行文档的使用[用例]
`w7v*h|P •通过参数优化找到最终设计
S3*`jF>q tOd&!HYL VirtualLab Fusion技术
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PQSP& n&qg;TT }"P|`"WW 文件信息
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