双束FIB---Scios 2 DualBeam

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使用 Sidewinder HT离子镜筒快速、简便地制备高质量、定位TEM 和原子探针样品 ag:#82C  
Thermo Scientific NICol™ 电子镜筒可进行超高分辨率成像， 满足最广泛类型样品（包括磁性和不导电材料）的最佳成像需求 ["Z]K'?P  
各类集成化镜筒内及极靴下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供最完整的样品信息 v$+G_@  
可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取优质、多模态 内部和三维信息   
高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav-Cam™相机实现精确样品导航 l1
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专用的DCFI、漂移抑制技术和Thermo Scientific SmartScan™等模式实现无伪影成像和图形加工 H1s{JJAM>i  
灵活的 DualBeam 配置，优化解决方案满足特定应用需求 6X7r=w  
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通用型高性能双束系统 4{}u PbS  
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Scios 2 DualBeam 提供最佳的样品制备、内部及三维表征性能，可满足最广泛类型样品的应用需求。 C/<fR:`c  
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Thermo Scientifc™ Scios™ 2 DualBeam™ 系统是一款超高分辨率分析系统，可为最广泛类型的样品（包括磁性和不导电材料） 提供出色的样品制备和三维表征性能。 Scios 2 DualBeam 系统创新性的功能设计，优化了其样品处理能力、分析精度和易用性，  是满足科学家和工程师在学术、政府和工业研究环境中进行高级研究和分析的理想解决方案。该系统于2013年推出市场，MTBF>1500hr，深受广大半导体用户爱戴。 <!5N=-  
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高质量 TEM 制样 8ENAif  
科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对具有更小特征的日益复杂的样品进行高度局部化表征。Scios 2 DualBeam 系统的最新技术创新，结合最易于使用、最全面的 Thermo Scientific q>]v~  
AutoTEM™4软件（可选）和专业的应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。 为了获得高质量的结果， 需要使用低能离子进行精抛，以最大限度地减少样品的表面损伤。Thermo Scientific Sidewinder™HT聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下提供高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的TEM薄片。 31w?bx !Pp  
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高质量内部和三维信息 *>$'aQ  
内部或三维表征有助于更好地理解样品的结构和性质， Scios 2 g#Zb}^  
DualBeam 系统配备 Thermo Scientific Auto Slice＆View™4 i*.Z~$  
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　　（AS&V4）软件，可以高质量、全自动地采集多种三维信息，其中，三维 BSE 图像提供最佳材料衬度，三维 EDS 提供成分信息， 而三维 EBSD 提供显微结构和晶体学信息。结合Thermo Scientific Avizo™软件，Scios 2 DualBeam 系统可为纳米尺度的高分辨、先进三维表征和分析提供独特的工作流程解决方案。 ]9R?2{"K  
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超高分辨成像并获取最全面的样品信息 $`{}4,5M  
创新的NICol电子镜筒为Scios 2 DualBeam 系统的高分辨率成像和检测功能奠定了基础。无论是在STEM模式下以30 keV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息，  系统可在最广泛的工作条件下提供出色的纳米级细节。系统独特的镜头内Thermo Scientific Trinity™检测技术可同时采集角度和能量选择性SE和BSE图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或者是观察样品截面，都可快速获取最详细的纳米级信  息。可选配的透镜下探测器和电子束减速模式可确保快速、轻松  地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的最小特征。依托独特的NICol镜筒设计和全自动合轴功能，用户可获得快速、准确且可重复的结果。 ;9,Ll%Lk<  
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帮助所有用户提高生产力 qW;nWfkYC
 
Scios 2 DualBeam系统可帮助所有经验水平用户更快、更轻松 a9
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地获得高质量、可重复的结果。系统提供用户向导，使新手用户可以轻松、快速地提高工作效率。此外，诸如“撤消”和“重做”之类的功能鼓励用户开展更多类型的实验。 0EPF; Xx  
真实环境条件的样品原位实验 0:v7X)St  
Scios 2 DualBeam系统专为材料科学中最具挑战性的材料微观 je_77G(F  
表征需求而设计，配备了全集成化、极快速MEMS 热台μHeater， *Ty>-aS1  
可在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。110毫米样品  台可倾斜至90˚，优中心工作距离更大，确保了系统极佳的灵活性。系统可选配低真空模式，可轻松兼容各种样品类型和数据采 集。同时，系统结合了扩展的沉积和蚀刻功能、优化的样品灵活 性和控制能力，成为最通用的高性能FIB / SEM 系统，所有这些都由赛默飞的专业应用和服务支持。 n." j0kc7=  
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电子光学 {7Dc(gNS  
NICol 非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: /e4hB  
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 ~qFi0<-M  
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 ?#J~X\5  
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 /5U?4l(6[f  
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 8eWb{nuJ>  
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 {3_M&$jN  
· 两级扫描偏转 sJ3HH0e  
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 ;,Lq*x2s  
· 快速电子束闸* luat1#~J  
· 用户向导和镜筒预设 JOenVepQ,  
· 电子源寿命至少24个月 B quyPG"  
电子束分辨率 Ev*HH+:b>  
最佳工作距离下 Z|'tw^0e5  
· 30keV 下 STEM  0.7nm W5J"#^kdF8  
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm Z~T- *1V  
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* _$i9Tk
 
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电子束参数 /vsQ <t;~  
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA  400nA &EA4`p  
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) .'__ [|-{;  
· 放大倍数范围：40x-1200x Yw?%>L  
· 最大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm m"H9C-Y  
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 dXrv  
离子光学 WXO@oZ!  
卓越的大束流Sidewinder离子镜筒 zLf^O%zN  
· 加速电压范围：500 V - 30 kV gmJJ(}HVz  
· 离子束流范围：0.6pA  65nA（数值显示） |Vd)7/LN  
· 15 孔光阑 @105 @9F  
· 标配不导电样品漂移抑制模式 MJ}VNv|S  
· 离子源寿命至少1,300小时 %ze Sx  
· 离子束分辨率：30 kV下 3.0 nm（采用选边统计平均值法） K'1rS[^>R  
探测器 z~z.J]  
· Trinity 探测系统（透镜内和镜筒内） ;<ed1%Le,  
- T1 分割式透镜内低位探测器 -2% []  
- T2 透镜内高位探测器 B0Xn9Tvk  
- T3可伸缩镜筒内探测器* Xps MgJ/w  
- 可同步检测多达四种信号
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· ETD Everhart-Thornley 二次电子探测器 z'fGHiX7.0  
· ICE探测器 - 高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二次离子* W9a H]9b  
· DBS  可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器* (doFYF~w  
· STEM 3+ 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF) * A g
/z\kX  
· 样品室红外 CCD 相机，用于样品台高度观察 EG<K[t  
· Nav-Cam™： 样品室内彩色光学相机，用于样品导航* OEq8gpqY  
· 电子束流测量* T][\wyLx1  
样品台和样品 'T+3tGCy+  
灵活五轴电动样品台： hj0uv6t.c  
· XY范围：110mm x<9|t(  
· Z范围：65mm urXM}^  
· 旋转：360 °（连续） o6B!ikz 8  
· 倾斜范围：-15°到 +90° G^r^" j  
· XY重复精度：3μm }tc,3>/  
· 最大样品高度：与优中心点间隔85mm o*5|W9  
· 最大样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托） Fv#ToT:QXe  
· 最大样品尺寸：可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm（若样  品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限） /c3DltOdr  
· 同心旋转和倾斜 *$(9,y\  
真空系统 mP3:Fc_G  
· 完全无油的真空系统 o7]h;Zg5r  
· 样品仓真空（高真空）：< 5.9 x 10 -6 mbar（24小时抽气后） {[)J~kC+  
· 抽气时间：208秒 64b9.5Bn  
· 可选空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却SEM镜筒及其它部件 u8-)LOf(  
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样品仓 }IEYH&4!  
· 电子束和离子束夹角：52°，集成等离子清洗功能 hvZW~ =75  
· 端口：21个 i"sVk8+o!  
· 内径宽度：379mm n#Z6d`  
样品托 fwXk{P/  
· 标准多功能样品托，以独特方式直接安装到样品台上，可容纳18个标准样品托架（φ12mm）、3个预倾斜样品托、 $\m=-5 0-  
2个垂直和2个预倾斜侧排托架*（38°和90°），样品安装 无需工具 >$HMZbsE  
· 每个可选的侧排托架可容纳6个S/TEM铜网 NTgk0cq  
· 各种晶片和定制化样品托可按要求提供* 36&7J{MU  
系统控制 7m@pdq5Ub  
· 64位GUI（s 7）、键盘、光学鼠标 ZNG.W0{p  
· 可同时激活多达4个视图，分别显示不同束图像和/或信号， 真彩信号混合 !=k\Rr@qx  
· 本地语言支持：请与当地Thermo Fisher销售代表联系确认可用语言包 t2tH%%Rs  
· 24英寸宽屏显示器 1920 x 1200（第二台显示器可选配） &$vDC M4  
· Joystick 操纵杆* ?G
.9D`95  
· 多功能控制板* >.J68x  
· 远程控制和成像* fN8A'p[  
图像处理器 `I_%`15>  
· 驻留时间范围：25纳秒 25 毫秒/像素 H-7*)D  
· 最高 6144 × 4096 像素 J"FKd3~:E  
· 文件类型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、BMP或JPEG 标配 IExQ}I  
· SmartSCAN™ (256 帧平均或积分、线积分和平均法、跨行扫描) _RY<-B   
· DCFI (漂移补偿帧积分) %o+bO}/9  
支持软件 X3X~`~bAD  
· “Beam per view”图形用户界面，可同步激活多达4个视图 9r\8  !R  
· Thermo Scientific SPI™ （同步FIB加工和SEM成像）、iSPI™ （间歇式SEM成像和FIB加工）、 iRTM™（集成化实施监测）和 FIB 浸入模式，用于高级、实时SEM和FIB 过程监测和端点测量 Q.M3rRh  
· 支持的图形：矩形、直线、圆形、清洁截面、常规截面、 多边形、位图、流文件、排除区、阵列 jVk|(  
· 直接导入BMP文件或流文件进行三维刻蚀和沉积 +z("'Cv  
· 材料文件支持“最短循环时间”、束调谐和独立重叠 AvP*p{w
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· 图像配准支持导入图像进行样品导航 U{eC^yjt"o  
· 光学图像上的样品导航 ?ix0n,m  
· 撤销（Undo）/重做（Redo）功能 nV"[WngN  
· DualBeam系统基本操作及应用用户指南 hMhD(X  
· 智能扫描功能Smart Scan Kq6m5A]z  
· 漂移补偿帧积分功能DCFI *.voN[$~  
· 蒙太奇导航功能 _lyP7$[: c  
· 具备束流测量装置 sOU_j4M{  
· 实时观察离子束加工的监控功能 98o;_tU'  
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Thermoscitific原装配件* &v3r#$Hj[  
· GIS气体注入: 最多四台设备，每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染，以提高蚀刻或沉积效果 (其他配件可能会限制可用的GIS数量) ，可选气体化学选项超过10种: kD MS7y<s  
- 铂沉积 A 7DdUNR  
- 钨沉积 P{QRmEE  
- 碳沉积 7fnKe2MM  
- 绝缘体沉积II ;@v7AF6Hq  
- 金沉积 dA\>z[n=  
- 增强刻蚀（碘、专利） :M|bw{P*  
- 绝缘体增强刻蚀(XeF2) |mY<TWoX  
- Delineation EtchTM（专利） ?uQ|?rk  
- 二氧化硅增强刻蚀 A(;J  
- 空坩埚，用于经批准的用户提供的材料 7b@EvW6X}  
- 更多束化学选项可按要求提供 |(XV '-~  
· Thermo Scientific EasyLiftTM 系统用于精确原位样品操纵 $_)YrqSo~  
· 用于制备好透射电镜样品后提出，与主机集成一体化控制 !!Mp;h'}-  
· 漂移：49 nm/min jCKRoao  
· 步长精度：49nm ;hd> v&u#  
· FIB荷电中和器 Zb);08X  
· μHeater：高真空兼容，超快加热台，温度高达1200 ℃ G.B^C)guu  
· 分析：EDS、EBSD、WDS、CL ]~kqPw<R  
· Thermo Scientific QuickLoaderTM ：快速真空进样器 Mt@K01MI%  
· DualBeam 系统冷冻解决方案： fp12-Hk ~  
- 独有的CryoMAT 用于材料科学冷冻应用  s.GTY@t  
- 第三方供应商提供的解决方案 w[4SuD  
· 隔音罩 VFA1p)n  
· Thermo Scientific CyroCleanerTM 系 统 ']+H P9i$  
· 集成等离子清洗 ?:n{GK  
K=`*cSU>  
软件选项 >KGQ#hnH  
· AutoTEM 4 软件：用于最快速、最简单的高度自动化 "NC(^\l/  
STEM 样品制备 UPN2p&gM  
· AS&V4 软件：自动化连续刻蚀和观察，采集连续切片图 HT1bsY 0t  
像、EDS或EBSD 图像进行三维重建 yFJ(b%7  
· Avizo 三维重建及分析软件 s8eiq`6\H}  
· Thermo Scientific MAPS™ 软件：用于大区域的自动图像 H,3$TNXy  
采集、拼接和关联 :peBQ{
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· Thermo Scientific NanoBuilder™ 软件：先进的基于  tEP^w  
CAD（GDSII）的专有解决方案，用于复杂结构FIB 和束沉积优化的纳米原型制备 ]V.9jlXF  
· iFast软件：适用于DualBeam系统的高级自动化套件 )#*c|.  
· 基于Web的数据库软件 #docBsHX&s  
· 高级图像分析软件 z^B!-FcIz>  
保修和培训 z:<(b   
· 1年保修 3P-#NL  
· 可选维修保养合同 2px5>4<  
· 可选操作/应用培训合同 :nZ*x=aq  
文档和支持 $8_*LR$  
· 在线用户向导 \I'A:~b)L  
· 操作手册 5l(;+#3y/  
· RAPID™ 支持文件（远程诊断支持）