双束FIB---Scios 2 DualBeam

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使用 Sidewinder HT离子镜筒快速、简便地制备高质量、定位TEM 和原子探针样品 R/ l1$}  
Thermo Scientific NICol™ 电子镜筒可进行超高分辨率成像， 满足最广泛类型样品（包括磁性和不导电材料）的最佳成像需求 ecA0z c~  
各类集成化镜筒内及极靴下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供最完整的样品信息 VH#]67  
可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取优质、多模态 内部和三维信息 .[= 0(NO  
高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav-Cam™相机实现精确样品导航 }(op;7  
专用的DCFI、漂移抑制技术和Thermo Scientific SmartScan™等模式实现无伪影成像和图形加工 `U2Z(9le  
灵活的 DualBeam 配置，优化解决方案满足特定应用需求 !rTh+F*  
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通用型高性能双束系统 L)8;96  
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Scios 2 DualBeam 提供最佳的样品制备、内部及三维表征性能，可满足最广泛类型样品的应用需求。 :#d$[:r#  
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Thermo Scientifc™ Scios™ 2 DualBeam™ 系统是一款超高分辨率分析系统，可为最广泛类型的样品（包括磁性和不导电材料） 提供出色的样品制备和三维表征性能。 Scios 2 DualBeam 系统创新性的功能设计，优化了其样品处理能力、分析精度和易用性，  是满足科学家和工程师在学术、政府和工业研究环境中进行高级研究和分析的理想解决方案。该系统于2013年推出市场，MTBF>1500hr，深受广大半导体用户爱戴。 A3$ rPb8  
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高质量 TEM 制样 :V}8a!3h  
科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对具有更小特征的日益复杂的样品进行高度局部化表征。Scios 2 DualBeam 系统的最新技术创新，结合最易于使用、最全面的 Thermo Scientific sw{EV0&>m  
AutoTEM™4软件（可选）和专业的应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。 为了获得高质量的结果， 需要使用低能离子进行精抛，以最大限度地减少样品的表面损伤。Thermo Scientific Sidewinder™HT聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下提供高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的TEM薄片。 qO&:J\d  
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高质量内部和三维信息 ;oob TW{  
内部或三维表征有助于更好地理解样品的结构和性质， Scios 2 VIAj]Ul  
DualBeam 系统配备 Thermo Scientific Auto Slice＆View™4 cg1<  
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　　（AS&V4）软件，可以高质量、全自动地采集多种三维信息，其中，三维 BSE 图像提供最佳材料衬度，三维 EDS 提供成分信息， 而三维 EBSD 提供显微结构和晶体学信息。结合Thermo Scientific Avizo™软件，Scios 2 DualBeam 系统可为纳米尺度的高分辨、先进三维表征和分析提供独特的工作流程解决方案。 Xw9,O8}C7  
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超高分辨成像并获取最全面的样品信息 p7zHP  
创新的NICol电子镜筒为Scios 2 DualBeam 系统的高分辨率成像和检测功能奠定了基础。无论是在STEM模式下以30 keV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息，  系统可在最广泛的工作条件下提供出色的纳米级细节。系统独特的镜头内Thermo Scientific Trinity™检测技术可同时采集角度和能量选择性SE和BSE图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或者是观察样品截面，都可快速获取最详细的纳米级信  息。可选配的透镜下探测器和电子束减速模式可确保快速、轻松  地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的最小特征。依托独特的NICol镜筒设计和全自动合轴功能，用户可获得快速、准确且可重复的结果。 kj@#oLd%  
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帮助所有用户提高生产力 I4qzdD  
Scios 2 DualBeam系统可帮助所有经验水平用户更快、更轻松 #mx;t3ja7  
地获得高质量、可重复的结果。系统提供用户向导，使新手用户可以轻松、快速地提高工作效率。此外，诸如“撤消”和“重做”之类的功能鼓励用户开展更多类型的实验。 <| Xf4.  
真实环境条件的样品原位实验 ,0lRs   
Scios 2 DualBeam系统专为材料科学中最具挑战性的材料微观 "o;l8$)VL  
表征需求而设计，配备了全集成化、极快速MEMS 热台μHeater， t!D=oBCro  
可在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。110毫米样品  台可倾斜至90˚，优中心工作距离更大，确保了系统极佳的灵活性。系统可选配低真空模式，可轻松兼容各种样品类型和数据采 集。同时，系统结合了扩展的沉积和蚀刻功能、优化的样品灵活 性和控制能力，成为最通用的高性能FIB / SEM 系统，所有这些都由赛默飞的专业应用和服务支持。 mQVduG  
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电子光学 .Zf#L'Rf  
NICol 非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: *=^
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· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 9DKmX
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· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 6tzZ j:yq  
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 () b0Sh=  
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 MT
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· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 AWD &K!  
· 两级扫描偏转 }! zjj\g^  
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 1hi^  
· 快速电子束闸* 0 I;>du  
· 用户向导和镜筒预设 -7m;rD4J  
· 电子源寿命至少24个月 I?bL4u$\  
电子束分辨率 clG3t eC  
最佳工作距离下 >[ lj8n  
· 30keV 下 STEM  0.7nm ,_\h)R_  
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm I`Rxijz  
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* 4zJ9bF4  
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电子束参数 *J1pxZ^  
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA  400nA IK~ur\3  
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) ^4 es  
· 放大倍数范围：40x-1200x RDzL@xCcn  
· 最大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm HAGWA2wQ  
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 X903;&Cim  
离子光学 PcDPRX!@  
卓越的大束流Sidewinder离子镜筒 z)QyQ  
· 加速电压范围：500 V - 30 kV 1;ZEuO  
· 离子束流范围：0.6pA  65nA（数值显示） {oBVb{<  
· 15 孔光阑 [r^f5;Z  
· 标配不导电样品漂移抑制模式 aW w`v[v  
· 离子源寿命至少1,300小时 t MA
  
· 离子束分辨率：30 kV下 3.0 nm（采用选边统计平均值法） #'$CC<*vy  
探测器 
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· Trinity 探测系统（透镜内和镜筒内） RR`?o\  
- T1 分割式透镜内低位探测器 nU`vj`K   
- T2 透镜内高位探测器 ks(PH6:]<  
- T3可伸缩镜筒内探测器* tH>%`:  
- 可同步检测多达四种信号 #cjB <APY  
· ETD Everhart-Thornley 二次电子探测器 r~t&;yRv  
· ICE探测器 - 高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二次离子* =YLt?5|e  
· DBS  可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器* {oz04KGsH  
· STEM 3+ 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF) * mN@0lfk;  
· 样品室红外 CCD 相机，用于样品台高度观察 Lc<Gny^  
· Nav-Cam™： 样品室内彩色光学相机，用于样品导航* wx<5*8zP  
· 电子束流测量* ='soSnT
 
样品台和样品 pC#Z]_k  
灵活五轴电动样品台： Z [68ji]  
· XY范围：110mm 60X B  
· Z范围：65mm [0)iY%^  
· 旋转：360 °（连续） #H
7(dT  
· 倾斜范围：-15°到 +90° nM R_ ?g  
· XY重复精度：3μm Y;-"Z  
· 最大样品高度：与优中心点间隔85mm RsTpjY*Xb  
· 最大样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托） ap;*qiNFQ  
· 最大样品尺寸：可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm（若样  品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限） |$bZO`^  
· 同心旋转和倾斜 w :^b3@gd  
真空系统 QI`Z[caF  
· 完全无油的真空系统 6 D!,vu  
· 样品仓真空（高真空）：< 5.9 x 10 -6 mbar（24小时抽气后） #n~/~*:i92  
· 抽气时间：208秒 9H.E15B  
· 可选空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却SEM镜筒及其它部件 y6:=2(]w<p  
CgEeO,N]j  
样品仓 BMFpkK9|  
· 电子束和离子束夹角：52°，集成等离子清洗功能 ps<JKHC/c  
· 端口：21个 "8{u_+_B*  
· 内径宽度：379mm 3y 0`G8P'h  
样品托 OaU$ [Z'8  
· 标准多功能样品托，以独特方式直接安装到样品台上，可容纳18个标准样品托架（φ12mm）、3个预倾斜样品托、 %v}:#_va]  
2个垂直和2个预倾斜侧排托架*（38°和90°），样品安装 无需工具 nSd?P'PFg  
· 每个可选的侧排托架可容纳6个S/TEM铜网 &Hh%pY"  
· 各种晶片和定制化样品托可按要求提供* Zu~ #d)l3N  
系统控制 /xf%Rp4}  
· 64位GUI（s 7）、键盘、光学鼠标 2!&:V]  
· 可同时激活多达4个视图，分别显示不同束图像和/或信号， 真彩信号混合 (sr_&7A  
· 本地语言支持：请与当地Thermo Fisher销售代表联系确认可用语言包 Q v{q:=k  
· 24英寸宽屏显示器 1920 x 1200（第二台显示器可选配） Ev$?c9*>  
· Joystick 操纵杆* IybMO5Mwn  
· 多功能控制板* n:k~\-&WJ  
· 远程控制和成像* PX]A1Kt?  
图像处理器 [@>Kd`!'  
· 驻留时间范围：25纳秒 25 毫秒/像素 L & PhABZ  
· 最高 6144 × 4096 像素 wPqIy}-  
· 文件类型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、BMP或JPEG 标配 |q5\1}@:
  
· SmartSCAN™ (256 帧平均或积分、线积分和平均法、跨行扫描) #C!8a  
· DCFI (漂移补偿帧积分) <M+ZlF-`  
支持软件 -Frx{3  
· “Beam per view”图形用户界面，可同步激活多达4个视图 tLV9b %i(  
· Thermo Scientific SPI™ （同步FIB加工和SEM成像）、iSPI™ （间歇式SEM成像和FIB加工）、 iRTM™（集成化实施监测）和 FIB 浸入模式，用于高级、实时SEM和FIB 过程监测和端点测量 x#Hq74H,  
· 支持的图形：矩形、直线、圆形、清洁截面、常规截面、 多边形、位图、流文件、排除区、阵列 J0|/g2%0  
· 直接导入BMP文件或流文件进行三维刻蚀和沉积 S'TF7u  
· 材料文件支持“最短循环时间”、束调谐和独立重叠 ]9A9q<lZ  
· 图像配准支持导入图像进行样品导航 5F <zW-;  
· 光学图像上的样品导航 eJJvEvZ,  
· 撤销（Undo）/重做（Redo）功能 a*%>H(x  
· DualBeam系统基本操作及应用用户指南 Oo=}j  
· 智能扫描功能Smart Scan /=Q7RJ@P  
· 漂移补偿帧积分功能DCFI npbNUKdz  
· 蒙太奇导航功能 qIO)Z   
· 具备束流测量装置 OZk(VMuI  
· 实时观察离子束加工的监控功能 `wk#5[Y_  
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Thermoscitific原装配件* Y Xn)?  
· GIS气体注入: 最多四台设备，每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染，以提高蚀刻或沉积效果 (其他配件可能会限制可用的GIS数量) ，可选气体化学选项超过10种: PiAA,  
- 铂沉积 {\lu; b!  
- 钨沉积 M;3uG/E\  
- 碳沉积 X}Fc0Oo  
- 绝缘体沉积II ds7I .Q'  
- 金沉积 v*]|1q%/  
- 增强刻蚀（碘、专利） O]lWaiR`  
- 绝缘体增强刻蚀(XeF2) qZA?M=NT?  
- Delineation EtchTM（专利） 8 +uOYNXsA  
- 二氧化硅增强刻蚀 hQl3F6-ud  
- 空坩埚，用于经批准的用户提供的材料 E!3W_:Bs  
- 更多束化学选项可按要求提供 Mb?6c y[  
· Thermo Scientific EasyLiftTM 系统用于精确原位样品操纵 Eiz\Nb  
· 用于制备好透射电镜样品后提出，与主机集成一体化控制 (x?A#o>%  
· 漂移：49 nm/min $IB@|n  
· 步长精度：49nm yfuvU2nVH  
· FIB荷电中和器 nm\n\j~  
· μHeater：高真空兼容，超快加热台，温度高达1200 ℃ {-<h5_h@  
· 分析：EDS、EBSD、WDS、CL &\c$s  
· Thermo Scientific QuickLoaderTM ：快速真空进样器 wm@1jLjrQ  
· DualBeam 系统冷冻解决方案： hDVD@b
 
- 独有的CryoMAT 用于材料科学冷冻应用 w*Kw#m'U  
- 第三方供应商提供的解决方案 9[$g;}w  
· 隔音罩 }$m_):t@@  
· Thermo Scientific CyroCleanerTM 系 统 "L{;=-e  
· 集成等离子清洗 9{ciD "!&V  
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软件选项 CBi
V':;  
· AutoTEM 4 软件：用于最快速、最简单的高度自动化 %2/WyD$U  
STEM 样品制备 0g`WRe  
· AS&V4 软件：自动化连续刻蚀和观察，采集连续切片图 #4d0/28b  
像、EDS或EBSD 图像进行三维重建 !BK^5,4?--  
· Avizo 三维重建及分析软件 7jEAhi!Cq(  
· Thermo Scientific MAPS™ 软件：用于大区域的自动图像 I uhyBo  
采集、拼接和关联 HykJ}ezX4  
· Thermo Scientific NanoBuilder™ 软件：先进的基于 3tOnALv  
CAD（GDSII）的专有解决方案，用于复杂结构FIB 和束沉积优化的纳米原型制备 c#Ux{^ZE  
· iFast软件：适用于DualBeam系统的高级自动化套件 .}a@OLJd  
· 基于Web的数据库软件 0]i#1Si~@  
· 高级图像分析软件 C5;"mo-  
保修和培训 #4~Ivj  
· 1年保修 _Se>X=  
· 可选维修保养合同 EeL~`$f  
· 可选操作/应用培训合同 e2/[`k=7-  
文档和支持 gsT%_2>CL  
· 在线用户向导 )[%#HT  
· 操作手册 64>Z
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· RAPID™ 支持文件（远程诊断支持）