半导体术语解释 (七)
发布:探针台
2020-01-09 11:42
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201) Short Channel Effect 短通道效应 O1o>eDE5A 当MOS组件愈小,信道的长度将随之缩短,电晶体的操作速度将加快,但是,MOS电晶体 YNV,
dKB 的通道长度并不能无限制缩减,当长度缩短到一定的程度之后,各种因通道长度变小所衍生的问题便会发生,这个现象称为“短通道效应”。 MUl7o@{' 202) Selectivity选择性 P.Bwfa 两种材抖,分别以相同的酸液或电浆作蚀刻其两蚀刻率的比值,谓之: ,TWlg 例如,复晶电浆蚀: 5T.U=_ag 对复晶的蚀刻率为2OO0Å /min (分) ^*f D 对氧化层的蚀刻率为20OÅ /min (分) .:&`PaMt 则复晶对氧化层的选择性:S tUH?N/qn 20OO Å/min \9`E17i S= =10 _(g0$vRP~ 2OO Å/min 8:c=h/fa
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