[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 %Ijj=wW  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &EnuE0BD  
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建模任务 N~xLu8,  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 ~Onoe $A[<  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 D N*t~Z3[  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "l*`>5Nn9  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 E\4 +_L_j  
6}oXP_0U  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (#E.`e1#6  
•单击go！ go<W(
,O  
•获得了3D光线追迹结果。 fwRZ5`v<  
q+vx_4  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 [ra_ 2R  
w:<W.7y?0  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 k'5?M  
•单击go！ $+I;oHWI  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 _n` a`2C|m  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 k4[|'Dk?  
]h5Yg/sms  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }-sdov<<  
•单击go！ C-H@8p?T  
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场追迹仿真（相机探测器） #: [<iSk  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 oT>(V]*5  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 L');!/:  
k<\$Oo
OZ  

图片:1-1911251A41O04.png

wGP;V
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b8LLr;oQw  
场追迹仿真（电磁场探测器） vTx2E6  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 EG=Sl~~o  
)(384@'"u  

图片:1-1911251A519A0.png

+lMX{es\O  
A"rf
Z`  
场追迹仿真（电磁场探测器） yLQ*"sw\  
?pB>0b~3-  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F 70R1OYU  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 ~"k
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