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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 hp V /F  
    T JS1,3<  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 k+GnF00N^8  
    BV?N_/DXp  
    ?9@Af{b t2  
    {eN{Zh5"  
    建模任务 M`pTT5r  
    -01 1U!  
    SliQwm5  
    概述 0lr4d Y  
    R${4Q1  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 JO{- P  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 K |} ]<  
    Z)T@`B6  
    >@"3Q`  
    qS}RFM5|  
    光线追迹仿真 rRrW   
    ZfCr"aL  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 tSc>@Q_|  
    •单击go! ^I~T$YjC '  
    •获得了3D光线追迹结果。 )k] !u  
    q=% C (  
    =)1YYJTe9  
    ^ O Xr: P  
    光线追迹仿真 ^npS==Y]!.  
    Iki+5  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Sb9=$0%\  
    •单击go! m<,G:?RM  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 /0&:Yp=>  
    5QFXj)hR+4  
    A.C278^O8  
    \g:qQ*.  
    场追迹仿真 w$[Ds  
    `NWgETf^#  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 +6M+hO]  
    •单击go! [(hvK {)  
    &c?hJ8"  
    o- QG& ]  
    kPX2e h  
    场追迹仿真(相机探测器) NRuG?^/}d  
    V_A,d8=lt  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 6|>\&Y!Q  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 CBnouKc:  
    :n>ccZeMv  
    rE{Xo:Cf  
    cYWy\+  
    场追迹仿真(电磁场探测器) P2Qyz}!wo  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ril21o! j  
    V3A>Ag+^~  
    &c<}++'h  
    zhX`~){N6  
    场追迹仿真(电磁场探测器) o=RqegL  
    H,XLb.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @U /3iDB\  
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    文件信息 K)Xs L  
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    更多阅读 A{8K#@!  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 0n<(*bfW  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination `l gjw=  
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    (来源:讯技光电
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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