[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 $C
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~3r}6,%  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 C)v*L#{%  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 jp|1S^b  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =lG/A[66  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 c2fqueK|:W  
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图片:1-1911251A211D3.png

|xX>AMZc)D  
dp~] Wx  
光线追迹仿真 [)L)R`  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Ubf@"B  
•单击go！ p|,3X*-ynx  
•获得了3D光线追迹结果。 {-Q=YDR  
9:1[4o)~  

图片:1-1911251A23G14.png

Y}UVC|Ef  
jt,dr3|/n  
光线追迹仿真 W1;u%>Uh  
NpN-''B\  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 u>-pgu  
•单击go！ 7,:$, bL  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 C<u<:4^H  
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图片:1-1911251A311b4.png

3wf&,4`EX  
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场追迹仿真 q[Ed6FM$~  
oasEG6OI8  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [8$
K i$;  
•单击go！ O\&[|sGY{  
b<1+q{0r  

图片:1-1911251A335531.png

d@aPhzLu  
"B"Yfg[  
场追迹仿真（相机探测器） 8\])p sb9  
T**v!Ls  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `Eq~W@';Q0  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?Ja&LNI9S  
^p}|""\j  

图片:1-1911251A41O04.png

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G}8Zkz@+  
场追迹仿真（电磁场探测器） LzE$z,  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 EnD}|9  
bWEti}kW  

图片:1-1911251A519A0.png

5wgeA^HE2y  
'7;b+Vbl#  
场追迹仿真（电磁场探测器） guc[du  
>uR0Xs;V  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LUN"p#
1  
4/:}K>S_  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 BfUM+RC%5  
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图片:1-1911251A6203V.png

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