[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 6%v9o?:~l  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 R?{+&r.X  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 (`P\nnb  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 +
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 fr@F7s5}  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]R__$fl`8  
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图片:1-1911251A211D3.png

G-aR%]7$g  
$<}c[Nm  
光线追迹仿真 {Mx(|)WkL  
Gz[yD ~6a  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 T{YZ`[  
•单击go！ * QgKo$IF  
•获得了3D光线追迹结果。 Uzu6>yT  
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图片:1-1911251A23G14.png

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pfA6?tP`  
光线追迹仿真 T
CtZ2 <'  
qNp1<QO0  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9Em#Ela  
•单击go！ u;#]eUk9}  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 'D\Q$q  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 ()
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (\V i_  
•单击go！ bOS)vt*V  
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图片:1-1911251A335531.png

+6m.f,14q  
UM}u(;oo%)  
场追迹仿真（相机探测器） XYE|=Tr]  
%u -x9  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 G#M)5'Q]U  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 \l%xuT  
1H)mJVIKkB  

图片:1-1911251A41O04.png

d[ N1zQW  
wT1s;2%  
场追迹仿真（电磁场探测器） 8`Ya7c>  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。  >@ t  
U)S=JT~h  

图片:1-1911251A519A0.png

e|~MJu+1  
+n3I\7G>  
场追迹仿真（电磁场探测器） D:)Wr, 26  
Bf_$BCyGW  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 eRauyL"Q+  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 enoj4g7em^  
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