[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 S*h52li  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 w_9^YO!!  
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建模任务 wj)LOA0  
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概述 pu-HEv}]a|  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 W^(zP/  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 E C?}iP  
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光线追迹仿真 `MtzA^Xr  
B}e/MlX3M  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 VUb>{&F[  
•单击go！ }LHYcNw^z  
•获得了3D光线追迹结果。 3Cf9'C  
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光线追迹仿真 wi(Y=?=  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 r$7.  
•单击go！ ClG%zE&i  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 PmR].Ohzi  
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场追迹仿真 |z
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *a9cBl'_  
•单击go！ CM6% g f3  
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场追迹仿真（相机探测器） 3I)~;>meo  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {u'szO}k  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [xS7ae  
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场追迹仿真（电磁场探测器） lriezI  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 byHc0ktI\  
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场追迹仿真（电磁场探测器） o9kJ90{D=  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -@v^. @[Z&  
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文件信息 .N(R~_  
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