[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 I52nQCXi  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 YC%xW*  
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建模任务 
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概述 SPb`Q"  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 M)K!!Jqh  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Vr1r2G2  
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光线追迹仿真 AUF[hzA  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 'g<{l&u  
•单击go！ vh2/d.MO  
•获得了3D光线追迹结果。 uu]C;wl  
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光线追迹仿真 .mrv"k\<  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @)Vb?|3  
•单击go！ hH>a{7V  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 >N! Xey  
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场追迹仿真 F',1R"/}  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 P)y2'JKL  
•单击go！ M3KK^YRN  
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场追迹仿真（相机探测器） )qX.!&|I  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;gHcDnH)  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 dcemF  

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场追迹仿真（电磁场探测器） kN<;*jHV  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nRq[il0 `i  
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场追迹仿真（电磁场探测器） RigS1A\2l  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v8uUv%Hkd  
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