[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要  0$l D  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Mzxy'UV  
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建模任务 =lG5Kc{B  
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概述 l$Y7CIH  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _,;c2  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 vf(\?Js,  
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光线追迹仿真 8<uKzb(O:  
G?d28p',.  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 B;':Eaa@  
•单击go！ R28h%KN  
•获得了3D光线追迹结果。 Rj%q)aw'  
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光线追迹仿真 C;;dCsiV5  
avk0pY(n  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 $3%EKi  
•单击go！ 6kKIDEX  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 BaTE59W  
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场追迹仿真 :\48=>   
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 KaHjL&!  
•单击go！ WrL&$dEJ?M  
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场追迹仿真（相机探测器） icHc!m?  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 q?{wRBVVB  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Qg9 N?e{z  
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场追迹仿真（电磁场探测器） X5527`?e  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 QkwBw^'_5  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 4r5?C;g  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S=ebht=  
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