[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 #DI$
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 kA#vByf`v  
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建模任务 O`W%Tr  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 0SV\{]2  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ,M6ZZ* ,e  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ($!KzxF3  
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图片:1-1911251A211D3.png

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sbsu(Sz+  
光线追迹仿真 .BZVX=x  
?nFO:N<  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 t#~?{i@m  
•单击go！ #hxyOq,  
•获得了3D光线追迹结果。 H{`{)mS  
KL3<Iz]  

图片:1-1911251A23G14.png

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Q~,YbZ-7  
光线追迹仿真  <!'M} s  
VWf %v  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Dy9\O77>  
•单击go！ Ewo~9 4{  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 cCdX0@hY  
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图片:1-1911251A311b4.png

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eti`O  
场追迹仿真 kU*{4G|6  
<Gb %uny  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Omyt2`q  
•单击go！
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） vzR=>0#  
Nw<P bklz  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 gA^q^>7  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 f} K`Jm_}?  
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图片:1-1911251A41O04.png

#Ob]]!y  
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场追迹仿真（电磁场探测器） h'5Cp(G  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 XB\zkf_}Xc  
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图片:1-1911251A519A0.png

<[Oo*:A!7  
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0d[mC  
场追迹仿真（电磁场探测器） *y7 $x
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X[hM8G  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !~ rt:Z  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 S%6
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