[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 _? gCOr  
L.HeBeO  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 nq M7Is  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 1F@j?)(  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 [8iY0m_Qe  
)E}v~GW.+  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 +=3=%%?C  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]q]xU,  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 T}#iXgyx  
'FErk~}/4s  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Q\$3l'W  
•单击go！ }Pcm'o_wT  
•获得了3D光线追迹结果。 rW{!8FhI  
.IeO+RDQ  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 2*:q$c  
n#(pT3&  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (\AN0_  
•单击go！ N,(!
 
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 p`"k=tZ{  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 GcBqe=/B!  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 l=~!'1@L}  
•单击go！ Su#0F0  
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图片:1-1911251A335531.png

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a1Fx|#! mq  
场追迹仿真（相机探测器） &hOz(825r  
p* >z:=  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :`bC3Mr  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 aO'#!k*R  
}p)K6!J0  

图片:1-1911251A41O04.png

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x?h/e;  
场追迹仿真（电磁场探测器） ')m!48  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t<H"J__&  
Pe,>ny^J1  

图片:1-1911251A519A0.png

TKDG+`TyZ  
*6Wiq5M>.  
场追迹仿真（电磁场探测器） {EgSjxfmw  
i^s Vy  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &uq.k{<p\  
(@?mm  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息  384n1?  
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图片:1-1911251A6203V.png

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