[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 z$. 88^  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ;h
  
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建模任务 `1fY)d^ZS  
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概述 h3 }OX{k  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 4!no~ $b  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Iit;F  
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光线追迹仿真 V {ddr:]
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 K1yzD6[eW  
•单击go！ +VOK%8,p  
•获得了3D光线追迹结果。 -k e's  
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光线追迹仿真 }Oq5tC@$G  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Pw"-S?`(  
•单击go！ Z,Dl` w  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 I:1C8*/  
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场追迹仿真 [?N~s:}  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;+
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•单击go！ M gi,$H  
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场追迹仿真（相机探测器） _g"<UV*H  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 >@ .  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 p}U ~+:v  
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场追迹仿真（电磁场探测器） }y gD3:vN7  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3"~!nn0;  
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场追迹仿真（电磁场探测器） LG#t<5y~  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 bq0zxg%  
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文件信息 @_}P-h  
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NyNXP_8  
p9{mS7R9T  
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-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination FXkM#}RgNm  
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