摘要
I52nQCXi ?&:N|cltD 高
数值孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
YC%xW* U>!TM##1QD xS@jV6E~ ~_;.ZZ-H] 建模任务
:K~@JlJd *sp")h#Z ~H \P0G5GA 概述
SPb`Q" U*K4qJ6U •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
M)K!!Jqh •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
Vr1r2G2 0c"9C_7^g ][Tw^r& _s#J\!F 光线追迹仿真
AUF[hzA %6lGRq{/? •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
'g<{l&u •单击go!
vh2/d.MO •获得了3D光线追迹结果。
uu]C;wl nl2Lqu1 !Usmm8!K Q3+%8zZI 光线追迹仿真
.mrv"k\< $ H@
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
@)Vb?|3 •单击go!
hH>a{7V •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
>N!
Xey qYe`</ 0K"+u9D^ [%LGiCU] 场追迹仿真
F',1R"/} cyd_xB5K •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
P)y2'JKL •单击go!
M3KK^YRN /C`AA/@ -|#/KKF O
'#FVZ.g 场追迹仿真(相机探测器)
)qX.!&|I uHf1b?W •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
;gHcDnH) •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
dcemF d/T Fx ?:GrM!kq76 3:sc%IDP 场追迹仿真(电磁场探测器)
kN<;*jHV •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
nRq[il0 `i HIj:?y B[&l<*O-y `mZ1!I-T 场追迹仿真(电磁场探测器)
RigS1A\2l "7(@I^'t6 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
v8uUv%Hkd `K$;K8! 1 w5-^Py gi:M= 文件信息
):+^893) /HqD4GDoug fk2Uxg=[ pR*3Q@Ng 更多阅读
9*"K+t: ~h +B&F+5 -
Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer ept:<!4 -
Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination |j8#n`' \ X6y".|- (来源:讯技光电)