[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 wV(AT$  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *LANGQ"2(i  
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建模任务 *5_V*v6  
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概述 R}8XRe  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ^/HW$8wEi  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0RUi\X4HI  
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光线追迹仿真 VYZU eh  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 'OwyyPBF  
•单击go！ 0Vkl`DmeM.  
•获得了3D光线追迹结果。 j[I`\"  
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光线追迹仿真 Q_]d5pl  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *O,H5lwU  
•单击go！ 41G5!=i  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 O.,3
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场追迹仿真 LCs__.  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^Dg<Ki  
•单击go！ ]5}=^  
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场追迹仿真（相机探测器） ZE?f!ifp  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 k'T^dY&c  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 :u6JjW[a)  
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场追迹仿真（电磁场探测器）  7I=C+  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,HB2hHD  
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场追迹仿真（电磁场探测器） E<E3&;qD  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #>[a{<
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