[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 >-CNHb  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 )OQih+#?W  
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建模任务 :YmFQ>e?  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 ^JB5-EtL(  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 a ,
<u  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lhFv2.qR  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 sYyya:ykxT  
<%LN3T  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 -[5yp 2F-{  
•单击go！ &8Oy*'  
•获得了3D光线追迹结果。 >xm:?WR  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 ?Ns aZ  
DI:"+KMq{  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 /m*+N9)  
•单击go！ .RWKZB  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 IdL~0;W7  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 7@9R^,M4:  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 DzK%$#{<  
•单击go！ >^+c s^jCM  
ZS?4<lXF  

图片:1-1911251A335531.png

Bpl(s+  
4.i< `'  
场追迹仿真（相机探测器） /m+\oZ ]d  
ch:0qgJ  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 tCP;IU$  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 dIRSgJ`  
oi/bp#(fa  

图片:1-1911251A41O04.png

pksF|VS  
W*NK-F[  
场追迹仿真（电磁场探测器） 5R"(4a P  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gye'_AR?k  
|H@1g=q  

图片:1-1911251A519A0.png

%DF-;M"8  
a2`|6M;  
场追迹仿真（电磁场探测器） N'e3<  
%:7fAB,PA  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q.g0Oz@z  
}6^d/nE*T  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 ~OQ/ |ws  
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