[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 `laaT5G\y  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 [)}F4Jsz%  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 f>)k<-<yj  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 `}1IQ.3  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 $_-f}E  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #>-_z  
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图片:1-1911251A211D3.png

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<|~8Ezd  
光线追迹仿真 4h
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bk E4{P"  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 g{@q  
•单击go！ hKw4[wB]  
•获得了3D光线追迹结果。 4P@Ak7iL(V  
4,m aA  

图片:1-1911251A23G14.png

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Z(p kj  
光线追迹仿真 ^[}^+  
$m`?x5rL8  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 o5gt`H"  
•单击go！ Z 6^AO=3  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 D 8^wR{-;J  
z'K&LH  

图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 <6`_Xr7)  

^PIUA'  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ahNpHTPa  
•单击go！ (tV/.x*G  
~:r:?PwWG  

图片:1-1911251A335531.png

w,dDA2,  
Jg=[!j0(  
场追迹仿真（相机探测器） v*'dA^Q  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 59:Xu%Hp  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )J4XM(  
<zE,T@c  

图片:1-1911251A41O04.png

LutP&Ebt8  
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场追迹仿真（电磁场探测器） !Mp.jE  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _,:gSDW|  
;^nN!KDjR  

图片:1-1911251A519A0.png

x5vvY  
A{mv[x-XN  
场追迹仿真（电磁场探测器） ohqi4Y!j/~  
-@{5 u d  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 
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文件信息 pIBL85Xe  
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图片:1-1911251A6203V.png

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