[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Z8tQ#Pu{  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 =@;uDu:Q  
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建模任务 Ej>5PXp'2  
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概述 AB40WCu]*  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "P`V|g  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 'S\YNLqQ  
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光线追迹仿真 }Wjb0V  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 jd
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•单击go！ E#X1P #$pW  
•获得了3D光线追迹结果。 Q-fi(UP  
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光线追迹仿真 8xzEbRNJ)  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &PWz4hZ  
•单击go！ Q]Q]kj2  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 I)I,{
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场追迹仿真 UO$z_ p]w  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #aUe7~  
•单击go！ .w2X24Mmb  
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场追迹仿真（相机探测器） I_N(e|s\U  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Wo&10S w  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 N
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场追迹仿真（电磁场探测器） bv,_7UOG  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]^:l?F\h  
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i3g;B?54  
场追迹仿真（电磁场探测器） kuq3QW<  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }XVz?6
  
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