[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 adi^*7Q] )  
I.C,y\  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 H1!u1k1nl  
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建模任务 S,Y\ox-  
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概述 #Cj$;q{!  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J5i$D
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #YABbwH  
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光线追迹仿真 **RW 9F
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 P~6QRm  
•单击go！ -XbO[_Wf  
•获得了3D光线追迹结果。 #b^x!lR  
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光线追迹仿真 Qp]-:b  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 r~<I5MZY  
•单击go！ _^Ds[VAgA  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Or({|S9d2  
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场追迹仿真 -Hx._I$l  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $qvk9 B0E  
•单击go！ Xp_3EQl  
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场追迹仿真（相机探测器） &,4 3&pFU  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ke5fe#  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 /:<.Cn>-  
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场追迹仿真（电磁场探测器） W-72&\7  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }3}{}w0Y  
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场追迹仿真（电磁场探测器） {j0c)SETN  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !awsQ!e|  
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文件信息 |=xK-;qs  
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