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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 /#j)GlNp:  
    t ?05  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 58R.`5B  
    zb s7G  
    (yoF  
    ?rziKT5OOC  
    建模任务 k"E|E";B  
    2InM(p7j~K  
    fKO@Qx]  
    概述 ,+X:#$  
    -s\R2_(  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 uX6p^KNm5  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }?MbU6"  
    /#SH`ZK  
    ?5F;4 oR2g  
    i-. AD4  
    光线追迹仿真 :w)9 (5  
    ED);2*qP}  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 zjSHa'9*  
    •单击go! *?A!`JpJn  
    •获得了3D光线追迹结果。 =CO'LyG  
    nRT ]oAi  
    M!X^2  
    OGO\u#  
    光线追迹仿真 ?Ss~!38  
    :ciD!Ly  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 i~)EU F  
    •单击go! 1$^r@rP  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 uo(LZUjPbN  
    24wr=5p]Q  
    \7IT[<Se  
    . g-  HB'  
    场追迹仿真 @LSX@V   
    [.6bxK  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 AUES;2WL  
    •单击go! GL,[32~C  
    jv6>7@<G  
    (Ffa{Tt!  
    8~T=p:z'  
    场追迹仿真(相机探测器) BkY#wJ'  
    =(~ZmB\  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 EVE"F'Ww,_  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 C0 /G1\  
    J*m7 d4^  
    SLp nVD:'1  
    s3'kzwX  
    场追迹仿真(电磁场探测器) JIqg[Mao  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `?f<hIJoz  
    {,?Gj@$  
    O}j@+p%M  
    Bwu?DK  
    场追迹仿真(电磁场探测器) JY,oXA6O  
    0k4XVd+Nv  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 P + C5 s  
    ly6 dl  
    B\qy:nr j  
    nc1?c1s,f  
    文件信息 F&B E+b/#  
    3+q-yP#X  
    }*O8]lG  
    UMT}2d%  
    更多阅读 Ndyo)11z  
    L3 KJ~LI  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer {xOzxLB;  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination K@/dQV%Z  
    4W<[& )7  
    (来源:讯技光电
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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