[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 TfYVw~p_%  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 `{k"8#4:qA  
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建模任务 Q_-_^J  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 IJYL s  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 lGwl1,=  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 tz4 ]qOH8  
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图片:1-1911251A211D3.png

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3s\.cG?`r  
光线追迹仿真 9{k97D/  
]^':Bmq  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 *_a@z1  
•单击go！ C2LL|jp*  
•获得了3D光线追迹结果。 gb ^?l~SS  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 dm0QcW4  
j 8*ZF  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 w
(kf  
•单击go！ eSWLrryY  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 eP*lI<NQ1  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 ~\{^%~[48  
| N0Z-|  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 06$!R/K  
•单击go！ ?\C"YG69T  
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） wP[t0/dl  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Q+4Xs.#  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 j'9"cE5_  
b Q]/?cCYV  

图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） \ [a%('}  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 oc8:r  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） &u#&@J  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w@
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 
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图片:1-1911251A6203V.png

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