[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 {cC9 }w  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 C$Ldz=d  

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建模任务 @yqy$I
  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 }hEBX:-  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Lab{?!E>U  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 iiKFV>;t/  
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图片:1-1911251A211D3.png

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{WT"\Xj>B?  
光线追迹仿真 8K7zh.E  
qFt%{~a S  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hP,SvN#!2  
•单击go！ % ;09J  
•获得了3D光线追迹结果。 2r<UYB  
GAEz :n  

图片:1-1911251A23G14.png

H>a3\M  
+u:8#!X$RD  
光线追迹仿真 >J|I  
rN8 ZQiJC  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !G Z2|~f9  
•单击go！ kfM}j
  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 :/K 'P`JaL  
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图片:1-1911251A311b4.png

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p;U[cGHC  
场追迹仿真 ,bKA]#(2  
C<eeAWP3v  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0q>f x  
•单击go！ k-Le)8+b  
s=u0M;A0Q  

图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） [p_R?2uT  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 HkGzy
Dt  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 hnmFhJ !g  
G]=U=9ZI  

图片:1-1911251A41O04.png

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KSc&6UVz^  
场追迹仿真（电磁场探测器） {M$mrmG  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >/ECLP  
yAi#Y3!::  

图片:1-1911251A519A0.png

AW!|xA6'`:  
+g@@|&B  
场追迹仿真（电磁场探测器） VABrw t
 
2u~0B +)K/  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N"2P&Ho]  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 {uDL"~^\  
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