摘要
TfYVw~p_ % aT!'}GjL 高
数值孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
`{k"8#4:qA GPz(j'jU
W]M)Q}:Y H,fZ!8(A_) 建模任务
Q_-_^J \>LnLH(
eV:9y 概述
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Q1d'~e •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
lGwl1,= •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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7w,FX.=;cv 3s\.cG?`r 光线追迹仿真
9{k97D/ ]^':Bmq •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
* _a@z1 •单击go!
C2LL|jp* •获得了3D光线追迹结果。
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_vSn` k.("3R6v: 光线追迹仿真
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8*ZF •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
w(kf •单击go!
eSWLrryY •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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;vT ~; i1H\#;`$ 场追迹仿真
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N0Z-| •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
06$!R/K •单击go!
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,0x y\u 3a.kBzus 场追迹仿真(相机探测器)
wP[t0/dl fRg`UI4w} •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
Q+4Xs.# •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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!r#?C9Sq LPMU8Er 场追迹仿真(电磁场探测器)
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[a%('} •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination ]Kr
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