[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #S"=)BZ8L  
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建模任务 C-Mop,w  
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概述 x
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ~Oq(JM $M  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]k hY8it  
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光线追迹仿真 -6?5|\  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 M*x_1h5n  
•单击go！ nPKj%g3h  
•获得了3D光线追迹结果。 76 y}1aa  
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光线追迹仿真 ,QK>e;:Be  
n7S[ F3  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 d+_qBp  
•单击go！ %l>^q`p  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 qwN-VCj  
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场追迹仿真 LB>!%Vx  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 q|S }5  
•单击go！ NJ|8##Z>  
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场追迹仿真（相机探测器） }%%| '8  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 /@0wbA  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 3o z]  
_Ab|<!a/R  

图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） ,9=a(j"  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |S/nq_g]  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） daaurT  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y6$5meh.T  
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文件信息 @dGj4h.  
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