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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 |~Op|gs  
    ^q$m>|KI  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ;Wws;.~  
    3S97hn{|=  
    hA0g'X2eC  
    i3s,C;7[2  
    建模任务 Gd]!D~[1  
    Y9K$6lz  
    Z|h&Zd1z  
    概述 \en}8r9cy  
    :*`5|'G}  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 h ?Ni5  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 wy1xZQ<5  
    :k"VR,riF  
    O6[,K1,  
    f.~-31  
    光线追迹仿真 ?<l,a!V'6  
    !}TZmwf'  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Ca?:x tt  
    •单击go! ^Iz(V2  
    •获得了3D光线追迹结果。 E`DsRR <  
    ZMI!Sl  
    S5W*,?  
    heAbxs  
    光线追迹仿真 <H,q( :pM  
    <DM /"^*  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "|\G[xLOaW  
    •单击go! c5($*tTT  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Rqk;!N  
    wTL&m+xr  
    %p R: .u|  
    +a{P,fRl@  
    场追迹仿真 POl[]ni=>  
    FBR]) h'Z  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 p7\}X.L  
    •单击go! 3miEF0x[  
    CflGj0oy8  
    BaLvlB  
    \R6D'Yt  
    场追迹仿真(相机探测器) _aR_ [  
    ex- 0@  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ncGg@$E  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ?(up!3S'x  
    >A+0"5+_p  
    ^Ia:e ?)W  
    c']3N  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 123 6W+  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 sn4wd:b7%  
    u+&t"B  
    g.& n X/  
    {GTOHJ2  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 4490l"  
    (sXR@Ce$  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (4hCT*  
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    文件信息 Ic%c%U=i  
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    C6$F.v  
    更多阅读 * [\H)Lz  
    vS!%!-F  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 3rF=u:r7c  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination aSKLSl't`  
    : J3_g<@  
    (来源:讯技光电
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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