切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2030阅读
    • 1回复

    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线xunjigd
     
    发帖
    952
    光币
    9
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 w4P?2-kB  
    S\b[Bq  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 8+5# FC7  
    luRtuXn[8  
    N]udZhkn  
    ^0p y  
    建模任务 uOUgU$%zqH  
    d*$$E  
    m1H_kJ  
    概述 L|pMq!@J  
    #N9^C@  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 W{:^P0l  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #{KYsDtvx  
    jL o(Uf  
    FFX-kS  
    `,a6su (?  
    光线追迹仿真 KtTv0[66  
    7.mY@  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 pW$ZcnU  
    •单击go! l\g>@b  
    •获得了3D光线追迹结果。 1c8Nr&Jl  
    Yw @)0%G  
    z#9Tg"8]  
    .UX`@Q:Gp  
    光线追迹仿真 zGgPW  
    S"hA@j  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 eA q/[(  
    •单击go! Rr#Zcs!G  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 c IK  
    j'r"_*%  
    E$l4v>iA  
    t 7GK\B8:  
    场追迹仿真 Xb#!1hA  
    h;" 9.  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "y~tAg  
    •单击go! 0C!f/EZK  
    IE*eDj  
    ]90BIJ]*c  
    V'b$P2 ?^  
    场追迹仿真(相机探测器) F(h jP  
    m8[XA!,  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 PU8>.9x  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 .cks ){\  
    rfo7\'yk  
    suKr//_  
    %lsRj)n  
    场追迹仿真(电磁场探测器) /3Y\s&y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lV%oIf[OB  
    :/A7Z<u,  
    F/%M`?m"ie  
    p"@[2hK  
    场追迹仿真(电磁场探测器) Cb}I-GtO  
    m3T=x =  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3uXRS,C  
    w'uB&z4'  
    LNNwy:_ !  
    !d.bCE~  
    文件信息 jouA ]E  
    7l(GBr  
    j+"w2  
    |hl:!j.t  
    更多阅读 E .N@qMn~  
    L;GkG! g  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer UaCfXTG  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination B6kc9XG  
    6 2:FlW>  
    (来源:讯技光电
     
    分享到
    离线l3x13999
    发帖
    69
    光币
    4
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
    收藏一下