[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 P$z_A8}  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 :HO5 T  
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建模任务 }<0N)dpT  
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概述 D:_W;b)  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 VX$WL"A  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 '*b]$5*p  
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光线追迹仿真 4D0jt$==  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 IA@>'O  
•单击go！ tR|dnC4U  
•获得了3D光线追迹结果。 Ku75YFO,5  
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光线追迹仿真 @x}"aJgl  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9D3{[  
•单击go！ T+<.KvO-  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 `5IrV&a  
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场追迹仿真 N,Eap KG  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 K*>%,mP$i  
•单击go！ I,{YxY[$7  
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场追迹仿真（相机探测器） & o5x  

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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 >rCD5#DG  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 _=GjJ~2n  
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场追迹仿真（电磁场探测器） dHc\M|HCC  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v'W{+>.  
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场追迹仿真（电磁场探测器） y{%0[x*N<m  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 NKu[6J?)  
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