[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 m=7Z8@sX},  
q%Fc?d9  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 EDkxRfY2/  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 AHA4{Zu[  
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图片:1-1911251A00R22.png

<P"4Mk7`s  
概述 P4~=_Hh  
p>c`GDU  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 0D*uZ,oBEw  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Qn*a#]p  
 t=;84lA  

图片:1-1911251A211D3.png

az=(6PX  
k;?Oi?]  
光线追迹仿真 dT9ekNQB  
0B;cQSH!q  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 H"g$qSx  
•单击go！ q:9#Vcw  
•获得了3D光线追迹结果。 (^Q:zU  
{#c**' 4  

图片:1-1911251A23G14.png

H%*<t}  
DrTo")T  
光线追迹仿真 Q6|~ks+Y  
(Wm4JmX%  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 DG&[.dR+  
•单击go！ Jf,)Y>EI  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 P=j89-e  
j+_pF<$f:  

图片:1-1911251A311b4.png

J}035  
f~3_Rv!  
场追迹仿真 1YklPMx6  
mu1Lgs$;  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 l-N4RCt h  
•单击go！ tv+H4/  
4ZZ/R?AiK  

图片:1-1911251A335531.png

onuhNn_=>  
 MR/8  
场追迹仿真（相机探测器） {Y%X  
aFj)s?$4]K  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 06&:X^  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 2A+I8/zRG  
\(C_t1  

图片:1-1911251A41O04.png

+P&;cCV`S3  
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场追迹仿真（电磁场探测器） j|u6TG  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r#K;@wu2  
5Y4i|R  

图片:1-1911251A519A0.png

"o*zZ;>^  
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*Hw t\  
场追迹仿真（电磁场探测器） "SuBtoK  
<V3N!H_d  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H n
Rd  
;(kU:b|j  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 \gh`PS-B  
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图片:1-1911251A6203V.png

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