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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 60>.ul2  
    sW@krBxMv  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 h*i9m o  
    aM3gRp51cj  
    \wvg,j=  
    3L5r*fa  
    建模任务 e^1uVN  
    <n"C,  
    ` uCIXb  
    概述 4,p;Km&  
    Fr2N[\>s  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J @IS\9O  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 zbkMFD.{y  
    TI|/u$SJ<Z  
    Ah69 _>N`S  
    SGL|Ck  
    光线追迹仿真 #KlCZ~s  
    ;]2s,za)qs  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Ol_q{^  
    •单击go! "/{RhY<  
    •获得了3D光线追迹结果。  XRN+`J  
    2BXy<BM @  
    4'1m4Ugg  
    )FN;+"IJ  
    光线追迹仿真 5&Ts7& .  
    s"KJiQKGM  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 nAJdr*`a,5  
    •单击go! 7r# ymQ  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 !A3-0zN!  
    K>:]Bx#F7  
    5K%SL1N  
    6?tlU>A2s  
    场追迹仿真 d~J-|yyT  
    bBcp9C)iY  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Elj_,z  
    •单击go! x\e;+ubt}  
    uP $ Cj  
    g^Yl TB  
    qFX~[h8i+  
    场追迹仿真(相机探测器) K kW;-{c  
    9LnN$e  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 rf:XRJ <4  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 m0w;8uF2UV  
    )m3Uar  
    8LkP)]4^sO  
    wBj-m  
    场追迹仿真(电磁场探测器) .jw}JJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6DIZ@oi  
    f>o,N{|  
    #hfuH=&oh  
    ^[E' 1$D  
    场追迹仿真(电磁场探测器) o Pci66  
    d$ACDX2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0-Y:v(|.  
    fc=Patg  
    f"u *D,/sS  
    s'aip5P  
    文件信息 #t8{R~y"gv  
    #eZ6)i<  
    9h90huyKF  
    ]M>9ULQ  
    更多阅读 w.\w1:d  
    ^efb 5  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer /I5X"x  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination {#P `^g  
    r[(xj n  
    (来源:讯技光电
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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