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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 {cC9 }w  
    L;>tuJY1  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 C$Ldz=d  
    fXO"Mr1  
    S+_}=25  
    hE+6z%A8  
    建模任务 @yqy$I   
    rAk*~OK  
    #;>J<>  
    概述 }hEBX:-  
    7G!SlC X}W  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Lab{?!E>U  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 iiKFV>;t/  
    ;?bRRW  
    cKdy)T%;  
    {WT"\Xj>B?  
    光线追迹仿真 8K7zh.E  
    qFt%{~a S  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hP,SvN#!2  
    •单击go! % ;09J  
    •获得了3D光线追迹结果。 2r<UYB  
    GAEz :n  
    H>a3\M  
    +u:8#!X$RD  
    光线追迹仿真 >J|I  
    rN8 ZQiJC  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !G Z2|~f9  
    •单击go! kfM}j  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 :/K 'P`JaL  
    fw'$HV76  
    bvk+i?{H  
    p;U[cGHC  
    场追迹仿真 ,bKA]#(2  
    C<eeAWP3v  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0q>f x  
    •单击go! k-Le)8+b  
    s=u0M;A0Q  
    !634 8nU:  
    ?20y6c<  
    场追迹仿真(相机探测器) [p_R?2uT  
    X_ !Sm  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 HkGzyDt  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 hnmFhJ !g  
    G]=U=9ZI  
    9Or3X/:o  
    KSc&6UVz^  
    场追迹仿真(电磁场探测器) {M$mrmG  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >/ECLP  
    yAi#Y3!::  
    AW!|xA6'`:  
    +g@@|&B  
    场追迹仿真(电磁场探测器) VABrw t  
    2u~0B +)K/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N"2P&Ho]  
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    更多阅读 HEhdV5B  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer r9yUye}  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination GKZn|<Y|{c  
    I,l%6oPa  
    (来源:讯技光电
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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