[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 y0#2m6u  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 29KiuP  
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建模任务 CrLrw T  
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概述 ;I}fBZ3  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 dH!*!r>  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 C]6O!Pb0  
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图片:1-1911251A211D3.png

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w:0E(z  
光线追迹仿真 @dKTx#gZ  
'DR!9De  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
c)J%`i$  
•单击go！ P0@,fd<  
•获得了3D光线追迹结果。 DQ3<$0  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 ?< +WG/(d  
!0+JbZ<%r|  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [JiH\+XLPs  
•单击go！ qGo.WZ$  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4Z*/WsCv  
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场追迹仿真 _>+Ld6.T6  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 C+$#y2"z#n  
•单击go！ MtdG
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） +7Gwg  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 K-v#.e4  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 q V=!ORuj  
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场追迹仿真（电磁场探测器） VA%J\T|G2\  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dO'(2J8  
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图片:1-1911251A519A0.png

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Dt@SqX:~Ee  
场追迹仿真（电磁场探测器） IGl9g_18  
}jXfb@`K  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2y4bwi  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 MgZ/(X E  
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