[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 3zu6#3^  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?
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建模任务 @0]WMI9B"B  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 nO!&;E&  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9x|`XAB  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 UoKVl-  
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图片:1-1911251A211D3.png

8>Cf}TvErx  
+:4>4=  
光线追迹仿真 &$ "J\vm  
_U-`/r o  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 vSC1n8 /  
•单击go！ y_w  <3  
•获得了3D光线追迹结果。 GqR|hg  
B+mxM/U[c  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 "lLh#W1d  
Bv!{V)$  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 oBo*<6  
•单击go！ y_}vVHT,  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [P =P8-5  
A[ncwJ  

图片:1-1911251A311b4.png

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"YY<T&n  
场追迹仿真  Pd\4hy  
@j_o CDS  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 XsQ81j.  
•单击go！ ]%HxzJ  
I;%1xdPt  

图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） PA ?2K4  
6?~9{0  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 0NGth(2  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 U4fv$gV  
dk nM|  

图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） |1(x2x%}D^  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'ia-h7QWS  
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图片:1-1911251A519A0.png

t;6<k7h  
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场追迹仿真（电磁场探测器） #e-K It  
O- QT+]  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 L6PgWc;m  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 oo\^}jb  
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