[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 +qmV|$rmM  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 incUa;  
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建模任务 6g'+1%O  
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概述 C8 "FTH'  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 pAc "Wo(Q  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 RU,!F99'1  
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光线追迹仿真
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 J.n-4J#@  
•单击go！ r
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•获得了3D光线追迹结果。 ]o*-|[^?  
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光线追迹仿真 w-?Cg8bq<  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ri1:q.:I]  
•单击go！ 6#1:2ZHKG  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 gR8vF  
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场追迹仿真 =idZvD  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 F[==vte|  
•单击go！ 'A9U[|  
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场追迹仿真（相机探测器） VtJyE}  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1U~yu&  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 "3:TrM$|A  
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场追迹仿真（电磁场探测器） %%f(R7n  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,5thD  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 2Jc9}|,  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9>HCt*|_8  
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文件信息 APT/z0X>  
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