摘要
w4P?2-kB S\b[Bq 高
数值孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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N]udZhkn ^0py 建模任务
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m1H_kJ 概述
L|pMq!@J #N9^C@ •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
W{:^P0l •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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FFX-kS `,a6su (? 光线追迹仿真
KtTv0[66 7.mY@ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
pW$ZcnU •单击go!
l\g>@b •获得了3D光线追迹结果。
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z#9Tg"8] .UX`@Q:Gp 光线追迹仿真
zGgPW S"hA@j •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
eA q/[( •单击go!
Rr#Zcs!G •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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E$l 4v>iA t7GK\B8: 场追迹仿真
Xb#!1hA h; " 9. •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
"y~tAg •单击go!
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]90BIJ]*c V'b$P2 ?^ 场追迹仿真(相机探测器)
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jP m8[XA!, •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
PU8>.9x •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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suKr//_ %lsRj)n 场追迹仿真(电磁场探测器)
/3Y\s&y •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination B6kc9XG 6 2:FlW> (来源:讯技光电)