[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 /#j)GlNp:  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 58R.`5B  
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建模任务 k"E|E";B  
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概述 ,+X:#$  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 uX6p^KNm5  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }?MbU6"  
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光线追迹仿真 :w)9
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 zjSHa'9*  
•单击go！ *?A!`JpJn  
•获得了3D光线追迹结果。 =CO'LyG  
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光线追迹仿真 ?Ss~!38  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 i~)EUF  
•单击go！ 1$^r@rP  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 uo(LZUjPbN  
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场追迹仿真 @LSX@V   
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 AUES;2WL  
•单击go！ GL,[32~C  
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场追迹仿真（相机探测器） BkY#wJ'  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 EVE"F'Ww,_  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 C0/G1\  
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场追迹仿真（电磁场探测器） JIqg[Mao  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `?f<hIJoz  
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O}j@+p%M  
Bwu?DK  
场追迹仿真（电磁场探测器） JY,oXA6O  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 P+C5 
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文件信息 F&B E+b/#  
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