[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 P
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 8 DPn5E#M1  
C9^C4   

图片:1-191125164532947.png

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建模任务 W9:(P  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 T!Nv  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 (O"-6`w
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 d-`z1'  
dU&hM<.|  

图片:1-1911251A211D3.png

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7mA:~-.u  
光线追迹仿真 Kp>fOe'KW  
`y$@zT?j  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 J~|:Q.Rt`  
•单击go！ _~bG[lX!  
•获得了3D光线追迹结果。 w5;d/r<q  
!OV+=Rwdx  

图片:1-1911251A23G14.png

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Kir  
Y3O/`-9i  
光线追迹仿真 _K3;$2d|R  
sFw;P`  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 y
q12"Rs  
•单击go！ (?1
/\r  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 5#~E[dr  
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图片:1-1911251A311b4.png

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4}NCdGD  
场追迹仿真 7V-uQ)*  
&]O^d4/  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 yOO@v6jO)  
•单击go！ "'~&D/7  
7)*q@  

图片:1-1911251A335531.png

v9"03=h  

,:8oVq>?  
场追迹仿真（相机探测器） ;]>a7o  
B^Hhrz!  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
B/I1<%Yk  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 rPK1#  
%xdyGAl:  

图片:1-1911251A41O04.png

dy4~~~^A  
lX64IvG8+o  
场追迹仿真（电磁场探测器） <OTx79m  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~z'Y(qG  
\m#{{SGm  

图片:1-1911251A519A0.png

jD?*sd  
S3^(L   
场追迹仿真（电磁场探测器） *iJ>@vew  
MB+a?u0\  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ufJHC06  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 GYtp%<<9;  
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图片:1-1911251A6203V.png

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