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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 m=7Z8@sX},  
    q%Fc?d9  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ED kxRfY2/  
    EE<^q?[3^  
    D#?jddr-  
    8iDg2_l`G  
    建模任务 AHA4{Zu[  
    djxM/"xo  
    <P"4Mk7`s  
    概述 P4~=_Hh  
    p>c`GDU  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 0D*uZ,oBEw  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Qn*a#]p  
     t=;84lA  
    az=(6PX  
    k;?Oi?]  
    光线追迹仿真 dT9ekNQB  
    0B;cQSH!q  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 H"g$qSx  
    •单击go! q:9#Vcw  
    •获得了3D光线追迹结果。 (^Q:zU  
    {#c* *' 4  
    H%*< t}  
    DrTo")T  
    光线追迹仿真 Q6|~ks+Y  
    (Wm4JmX%  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 DG&[.dR+  
    •单击go! J f,)Y>EI  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 P=j89-e  
    j+_pF<$f:  
    J}035  
    f~3_Rv!  
    场追迹仿真 1YklPMx6  
    mu1Lgs$;  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 l-N4RCt h  
    •单击go! tv+H4/  
    4ZZ/R?AiK  
    onuhNn_=>  
     MR/8  
    场追迹仿真(相机探测器) {Y%X  
    aFj)s?$4]K  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 06&:X^  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 2A+I8/zRG  
    \(C_t1  
    +P&;cCV`S3  
    3xJ_%AD\'  
    场追迹仿真(电磁场探测器) j|u6TG  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r#K;@wu2  
    5Y4 i|R  
    "o*zZ;>^  
    U*Hw t\  
    场追迹仿真(电磁场探测器) "SuBtoK  
    <V3N!H_d  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H nRd  
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    文件信息 \gh`P S-B  
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    0nF>E@j^[  
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    更多阅读 SOyE$GoOsx  
    3zO'=gwJ  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer $?l?  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination FZM9aA  
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    (来源:讯技光电
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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