[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 eTemRNz  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 '8K5=|!J  
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建模任务 e3,TY.,Ay  
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概述 Md(AqaA  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ggtGecKm  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 v=e`e68U~  
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光线追迹仿真 v7&oHOk!  
".A+'pJ
  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 L)W1bW}  
•单击go！ 'QW/TJ=7r  
•获得了3D光线追迹结果。 IV*@}~BJ  
(T:OZmEO.  

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光线追迹仿真 @zo}#.g  
s\i:;`l:=5  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |^9+c2  
•单击go！ l?Vm/YXb  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ,PC'xrEo  
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场追迹仿真 h!.#r*vV  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 hbl%<ItI49  
•单击go！ zY_xJ"/9  
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!-%fCg(B  
ETU.v*HT]  
场追迹仿真（相机探测器） x?s5vxAKf  
k\->uSU9  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4Ufx,]  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 =P'33) \ )  
|^!#x Tj  

图片:1-1911251A41O04.png

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[O~'\Q  
场追迹仿真（电磁场探测器） :sO^b*e /  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $7M/rF;N5X  
Ip c2Qsa  

图片:1-1911251A519A0.png

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OS|uZ<"Rq3  
场追迹仿真（电磁场探测器） 'lmZ{a6  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S}fU2Wi  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 2K >tI9);  
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