[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 lihIPMU  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 fB80&G9  
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建模任务 e2e!"kEF  
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概述 :8K}e]!c1  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 t"zi'9$t  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {dXTj7  
AsD$M*It  
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光线追迹仿真 6Df*wi!jI  
k".kbwcaF  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <UF0Xc&X'  
•单击go！ Xp] jF^5  
•获得了3D光线追迹结果。 nY7gST  
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Esu{c9,  
ta6>St7.  
光线追迹仿真 jST4O"DjM  
eTFep^[  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 O6
/:J#X%  
•单击go！ s
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•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [UXN= 76N  
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场追迹仿真 C{,^4Eh3r  
m}u)C&2>  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 k3H0$1  
•单击go！ Jz=|-F(Sy  
F^$;hMh%  
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场追迹仿真（相机探测器） _Dd>e=v  
U(0FL6sPC  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $|xSM2  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 7Q]c=i cg  
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场追迹仿真（电磁场探测器） e'>q( B  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 JOpH Z?  
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场追迹仿真（电磁场探测器） -uWV( ,|  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a_+?#m  
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文件信息 0Dna+V/jI  
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