[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 "w9`cz9a~J  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 f\ 'T_  
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建模任务 !3@{U@*Z]  
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概述 $T?]+2,6;  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "oe!M'aj`1  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 O:._
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光线追迹仿真 _$5@uL{n"^  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 FfG%C>E6~  
•单击go！
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•获得了3D光线追迹结果。 $it@>L8
  
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光线追迹仿真 lH6fvz  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (0R2T"/  
•单击go！ +(&|uq^  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 l|q%%W0  
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场追迹仿真 ?A&%Cwj  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 8#l+{`$z  
•单击go！ #1gO?N(<=  
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场追迹仿真（相机探测器） /NU103F yt  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。  n}OU Y  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 >vAN(3Idu  
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场追迹仿真（电磁场探测器） H%z/v|e6  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &a6,ln:P  
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场追迹仿真（电磁场探测器） OaaH$B  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 MUwxgAG`G  
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文件信息 eGvOA\y:  
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