[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 24E}<N,g  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 FoNSM$x  
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建模任务 V,mw[Hw  
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概述 6eT5ktf  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 gG]Eeu+z   
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 OHeT,@(mh  
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光线追迹仿真 X#*JWQO=  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 pnjXf.g"O  
•单击go！ eZSNNgD<:  
•获得了3D光线追迹结果。 q?4p)@#   
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光线追迹仿真 ,{BaePMp  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ht2\y&si  
•单击go！ P
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•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?)kGA$m#  
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场追迹仿真 fDT%!  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 AyNI$Q6Z  
•单击go！ Ove<mFI\  
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场追迹仿真（相机探测器） F({HP)9b  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 qAn!RkA  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 #~7ip\Uf[  
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场追迹仿真（电磁场探测器） Nd$W0YN:  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hp#W9@NR  
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场追迹仿真（电磁场探测器） d8[J@M53|T  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 M%ICdIc'  
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