[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 rS
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *b}HNX|  
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建模任务 X6X $Pve  
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|Q6.299  
概述 $E~`\o%Ev  

&*,#5.  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )3}9K ^jS  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 I\{ 1u  
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光线追迹仿真 5E;qM|Ns  
c /HHy,  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 xb~yM%*c  
•单击go！ G
L#up  
•获得了3D光线追迹结果。 ,X-bJA@(  
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2B[X,rL.pX  
光线追迹仿真 ?m}
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xd?f2=dd~h  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 _Xc8Yg }`  
•单击go！ p!7FpxZY  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 2g-j.TM  
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场追迹仿真 rdP[<Y9  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 9@(PWz=`?  
•单击go！ +T1pJ 89P  
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ZF9z~9  
场追迹仿真（相机探测器） XkE`U5.  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *SDs;kg  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 *xxx:*6rk;  
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{9&;Q|D z  
场追迹仿真（电磁场探测器） x_N'TjS^{  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )9{0]u;9  
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场追迹仿真（电磁场探测器） |^"1{7)  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;>EM[u  
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文件信息 s^G.]%iU  
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