[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 99EX8  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &<@%{h@=  
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建模任务 ,uO?;!t  
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概述 l)H9J]  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 a 1NCVZ  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #]igB9Cf)w  
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光线追迹仿真 '/dTqg*W  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Y6+k9$h  
•单击go！ _En]@xK3&  
•获得了3D光线追迹结果。 Ae.]F)w_\  
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光线追迹仿真 Xa>}4j.  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {;\%!I  
•单击go！ -GK'V  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 B JU*`Tx  
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场追迹仿真 g:;Ya?5N  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1O|RIv7F[/  
•单击go！ |HNQ|r_5S  
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场追迹仿真（相机探测器） ocq2  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1`nc8qC  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 g<0w/n!jmC  
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场追迹仿真（电磁场探测器） B#;s(O  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 VyRW'  
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场追迹仿真（电磁场探测器） u!m,ilAnd  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 zsHG=Ee*  
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文件信息 yp( ?1  
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