[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 xn anca  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 3[
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 cC9haxW  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 E
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ,%U\@*6=  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 _7 ^:1i~:.  
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图片:1-1911251A211D3.png

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IGo+O*dMw  
光线追迹仿真 wI?AZd;`'  
B^C5?  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 S7b7zJ8A  
•单击go！ sU/vXweky"  
•获得了3D光线追迹结果。 goc; .~?  
b1yS1i D  

图片:1-1911251A23G14.png

l0eh}d  
[Xww`OUsh  
光线追迹仿真 zEDN^K '  
t:n$9WB)  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 f{h2>nEj\  
•单击go！ M6y|;lh''c  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 @>+`1C  
d3NER}f4V  

图片:1-1911251A311b4.png

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37*2/N2  
场追迹仿真 =]o2{d  
tv5N wM  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #JR$RH  
•单击go！ %DKC/%  
jWso'K  

图片:1-1911251A335531.png

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n(_wt##wE~  
场追迹仿真（相机探测器） le6eorK8  
M-(,*6Q  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 qNUd "%S  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (^m~UN2@~m  
3gv?rJV  

图片:1-1911251A41O04.png

6n H'NNS:J  
3&R1C>JS ]  
场追迹仿真（电磁场探测器） Nx!7sE*b$1  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。  ~;uU{TT  
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图片:1-1911251A519A0.png

_p<wATv?7t  
zUWeOR'X  
场追迹仿真（电磁场探测器） )"%J~:`h}  
$|VdGRZ1  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gp+@+i>b+[  
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