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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 7+"X ^$  
    Dp8(L ]6  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 <,{v>vlw  
    /Q-!><riD  
    <9"i_d%  
    2k_Bo~.  
    建模任务 c1i7Rc{q  
     f$3  
    15COwc*k  
    概述 l-&f81W  
    ^:BRbp37i  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 %}/)_RzQ  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 L@wnzt  
    JsV#:  
    ;1KhUf;&F  
    (w*$~p  
    光线追迹仿真 ="`y<J P  
    ]zO]*d=m  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ep5aBrN]"  
    •单击go! 5Ai Yx}  
    •获得了3D光线追迹结果。 _R]h]<TQ  
    x K/`XY  
    vI-KH:r"{  
    W6pS.}  
    光线追迹仿真 aD4ln]sFxG  
    SNQ+ XtoO  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?@~FT1"6G  
    •单击go! q9OIw1xQr*  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 |^ qW   
    G 6][@q  
    X_h+\ 7N>  
    L@/+u+j0  
    场追迹仿真 /<mc~S7  
    &c]x;#-y  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 nJ,56}  
    •单击go! J(Bn  n  
    $z<CkMP!U7  
    P5N"7/PfW  
    4ngiad6bR  
    场追迹仿真(相机探测器) L8V'mUyD  
    t*COzE  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 RKe19l_V  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ?}W:DGudZ  
    w(vf>L6(  
    )T>a|.  
    |Oo WGVc  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 4o%hH  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4EOu)#  
    PgVM>_nHk  
    !l'Zar  
    C. Sb4i*  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 8} U/fQ~  
    Cnn,$R=/s  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7|{QAv  
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    文件信息 UPbG_ #"wZ  
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    77)C`]0(  
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    更多阅读 b7\nCRY  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 9{+B l NZ  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination +jHL==W&  
    u!t'J+:  
    (来源:讯技光电
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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