[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 zMI0W&P M  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ^68BxYUoD\  
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建模任务 /^>yDGT,0  
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概述 \p&a
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 1n86Mp1.e  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 D;l)&"|r?  
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光线追迹仿真 b[I;6HW  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 h c9?z}  
•单击go！ P!JRIw  
•获得了3D光线追迹结果。 b@&ydgmaQ  
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光线追迹仿真 N>A*N,+  
qt#a_F*rV  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &2!F:L  
•单击go！ cP~?Iz8nD  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Cl+TjmOV\`  
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场追迹仿真 wPl!}HNf  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 U/JeEI%L  
•单击go！ uW,L<;HnQ  
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场追迹仿真（相机探测器） "lp),  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 g8{?;  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 "DFj4XKXY9  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 9K8f ##3  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .bm#|X)RO  
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场追迹仿真（电磁场探测器） G~{xTpL  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %^l77:O  
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文件信息 N.q4Ar[x#p  
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-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer V 'Gi2gNaP  
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination *HmL8c  
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