[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 gl9pgY1ni  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 /G)KkB
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建模任务 T^'*_*m  
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概述 8L7Y A)u  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 0r0\b*r  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4aalhy<j  
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光线追迹仿真 rysP)e  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 C,|
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•单击go！ C`NBHRa>  
•获得了3D光线追迹结果。 W(&Go'9e"  
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光线追迹仿真 yD3bl%uZ
 
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {k_ PMl0G  
•单击go！ B_SZ?o  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 OX)#F'Sl}  
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场追迹仿真 !paN`Fz\a  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 6\,DnO   
•单击go！ ,zAK3d&h
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场追迹仿真（相机探测器） RNv{n mf  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !dfS|BA]  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 J
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场追迹仿真（电磁场探测器） t{/:(Nu  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0V<Aub[${  
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场追迹仿真（电磁场探测器） GXT]K>LA
 
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &_"ORqn&  
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文件信息 M0cd-Dn  
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