[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 JXBTd=r_oM  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 B?G!~lQ)o  
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建模任务 SX4"HadV>  
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概述 *61+Fzr  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Y8Bc &q}  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 JFvVRGWB  
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光线追迹仿真 &s|a\!>l  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6^oQ8unmS  
•单击go！ g@<E0 q&`$  
•获得了3D光线追迹结果。 =deqj^&@  
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光线追迹仿真 ^zMME*G  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *f?z$46  
•单击go！ a*pwVn  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Kc>C$}/}$  
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场追迹仿真 TH`zp]0  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 m5G9 B-\?  
•单击go！ nY#V~^|  
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场追迹仿真（相机探测器） '%u7XuU-]  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 3N'fHy  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }SdI _sLe  
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场追迹仿真（电磁场探测器） \8~P3M":c  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5,>Of~YN  
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场追迹仿真（电磁场探测器） N(%%bHi#V  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $Vi[195]2  
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文件信息 oBA]qI  
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-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination RGeM.  
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