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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线xunjigd
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 e`b#,=  
    wH!$TAZ:Yw  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 "G%</G8M  
    izcaWt3 a  
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    Lfi6b%/z  
    建模任务 B VeMV4  
    UA*VqK)Y  
    ws9IO ?|&G  
    概述 o/7u7BQl2  
    kd!?N  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 q 0F6MAXj  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ' m~=sC_uL  
    hZHM5J~  
    u$^tRz9  
    u#EcR}=]  
    光线追迹仿真 1N(1h D  
    YX-~?Pl  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7Q&-ObW  
    •单击go! TyIjDG6tM  
    •获得了3D光线追迹结果。 }~+,x#  
    l90"1I A  
    tgG*k$8z  
    ^K"BQ~-w  
    光线追迹仿真 DNq(\@x[!  
    2%fIe   
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 O%kUj&h^  
    •单击go! ]Ac}+?  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ~x8nC%qPvq  
    AcuF0KWw/  
    f/O6~I&g  
    :6lvX$  
    场追迹仿真 k2v:F  
    ?v M9 !  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 J?3/L&seA  
    •单击go! wxvi)|)  
    9r]|P}yuS  
    8-x-?7  
    \wA:58 -j  
    场追迹仿真(相机探测器) ErNYiYLi]  
    _|GbU1Hz  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Oh$:qu7o0&  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ?'P}ZC8P  
    -sQ[f18  
    &$/ #"lW,V  
    ,J|,wNDU!K  
    场追迹仿真(电磁场探测器) q5R| ^uf  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 HCN/|z1Xq  
    o0C&ol_  
    KCTX2eNN&h  
    yV8J-YdsG  
    场追迹仿真(电磁场探测器) RN(I}]]a  
    _aPAn|.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;`#R9\C=h  
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    文件信息 3>1^$0iq  
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    更多阅读 f zo'9  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer &Pr\n&9A  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination _h!.gZB3  
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    (来源:讯技光电
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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