[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Gm\)1b  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Ts
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建模任务 QDVSFGwr  
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概述 _MuzD&^qE  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 -B! a O65^  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 B&<5VjZ\  
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光线追迹仿真 i)$
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 [*I7^h%  
•单击go！ jTZi< Y:bB  
•获得了3D光线追迹结果。 #<U@SMv  
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光线追迹仿真 !0UfX{.  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =<)/lz] H  
•单击go！ \2#K {  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 G#@#j]8  
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场追迹仿真 2PUB@B
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 dM19;R@4  
•单击go！ f)gV2f0t  
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场追迹仿真（相机探测器） RBg2iG$8|  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 S4_ZG>\VT  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 *f{4_ts  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ;~WoJlEK3  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /L2n ~/  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ,I+O;B:0  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3[l\l5'm8  
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文件信息 Qy=tkCN  
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