[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 i]it5  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Y)$52m5rM  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 `5~7IPl3  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 g[/^cJHQ  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 >&bv\R/  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 l`SK*Bm~<  
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图片:1-1911251A211D3.png

E@:Q 'g%  
JW=uK$sO  
光线追迹仿真 i-`,/e~XT  
nz^nptw  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 h~ $&  
•单击go！ 
AlO,o[0  
•获得了3D光线追迹结果。 #C4|@7w%  
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图片:1-1911251A23G14.png

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Q/p(#/y#b  
光线追迹仿真 yL.^ =  
l$F_"o?&S@  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 My. dD'C  
•单击go！ DB#$~(o  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Y+FP  
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图片:1-1911251A311b4.png

Qh^R Ax  
zt?h^zf}  
场追迹仿真 s}wO7Df=+  
!Q!&CG5l  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?FN9rhAC  
•单击go！ iAK/d)bq  
/J;;|X#P  

图片:1-1911251A335531.png

' PELf P8  
a2o.a2  
场追迹仿真（相机探测器） 3!aEClRtq  
+$PFHXB  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 z=qWJQ  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Vb2\/e:k  
0 sZwdO  

图片:1-1911251A41O04.png

Rb#/qkk/  
\7yJ\I  
场追迹仿真（电磁场探测器） q3+I<qsAz  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 V{0%xz #  
G.Tpl-m  

图片:1-1911251A519A0.png

B%fU'  
?;^5ghY$  
场追迹仿真（电磁场探测器） |CwG3&8  
ijFV<P  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .3
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 S;8.y
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图片:1-1911251A6203V.png

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