[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 (UNtRz'=;  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 XC15K@K  
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图片:1-191125164532947.png


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建模任务 ZA#y)z8!E  
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图片:1-1911251A00R22.png

TPO1 GF  
概述 ydWtvFuS  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]6tkEyuq  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 p@
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+V v+K(lh$  

图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 SP 2 8  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +-068k(  
•单击go！ 4lc)&  
•获得了3D光线追迹结果。 gvli%9n  
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图片:1-1911251A23G14.png

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AZFWuPJo  
光线追迹仿真 ^>~dlS  
`!\ivIi^  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 d+z[\i  
•单击go！ ](r ^.
k,R  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 c|wCKn}`  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 J;~|ph  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~ }KzJiL  
•单击go！ PNF4>)  
EHf)^]Z  

图片:1-1911251A335531.png

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A ^  
场追迹仿真（相机探测器） ;:#U6?=t  
hd^x}iK"  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 'ND36jHcRD  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }6~)bLzI}  
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图片:1-1911251A41O04.png

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O4+F^+qN  
场追迹仿真（电磁场探测器） =mrY/:V  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9EgP9up{6!  
gn5% F5W  

图片:1-1911251A519A0.png

(:?&G9k "  
hjY0w  
场追迹仿真（电磁场探测器） EnscDtf(  
'XfgBJF=  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 kJ8vKcc  
KVijs1q  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 #4y,a_)  
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