[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Y !?'[t  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 j,.\QwpU  
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建模任务 T#))
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概述 Nc;O)K!FH  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ,%
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 K:wI'N"N  
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光线追迹仿真 cCe~OlXQ  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "8xAe0-4  
•单击go！ i[o 2(d,  
•获得了3D光线追迹结果。 1~5DIU^  
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光线追迹仿真 S#7YJ7 K"N  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 aD^$v  
•单击go！ eTiTS*`u  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 -8Jw_  
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场追迹仿真 M+)a6ge  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 '5e,@t%y  
•单击go！ tt"<1 z@  
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场追迹仿真（相机探测器） ,_2-Op
  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 YX\vk/[|  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &Y]'
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场追迹仿真（电磁场探测器） L:z0cvn"  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xa>| k>I  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 4&/CES  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Gt w>R  
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