[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 /L{V3}[j  
Y]VLouzl  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 3FY87R   
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 q?y-s  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 L8,/  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 +?)R
}\\  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .no<#l
 
l#IN)">1
 

图片:1-1911251A211D3.png

dk/f_m  
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光线追迹仿真 m`BE{%  
uA4xxY  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 qr4.s$VGs*  
•单击go！ (
T!#7  
•获得了3D光线追迹结果。 !LM9  
p(>D5uN_}5  

图片:1-1911251A23G14.png

?U+nR/H:6  
(<2!^v0.M  
光线追迹仿真 ~jJF&*)  
qh|fq b  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 J\Db8O-/x4  
•单击go！ K;7ea47m N  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !&},h=  
b$q~(Z}  

图片:1-1911251A311b4.png

&$bcB]C\3  
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场追迹仿真 >-,$
 
h0] bIT{  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 .B?fG)'WsF  
•单击go！ O{x-9p  
CC)Mws+2  

图片:1-1911251A335531.png

7jw5'`;)"  
@ 3rJ$6W  
场追迹仿真（相机探测器） f}EsS  
-HF1c  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 D@%!|:  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 b,x$wP+  
&r+!rL Kp  

图片:1-1911251A41O04.png

cx[[K.  
eus@;l*  
场追迹仿真（电磁场探测器） =)}Yw)
 
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 wbB\~*Z)  
8
=)9ZjfD  

图片:1-1911251A519A0.png


1HLU &  

d ATAH}r&  
场追迹仿真（电磁场探测器） =gC% =  
EMPujik-  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dVMLn4[,MA  
$9h^tP'CV  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 liBFx6\"S  
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图片:1-1911251A6203V.png

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