[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Z7hgA-t  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ,y 2$cO_>  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 JGsx_V1t  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 \eT5flC  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 d%RC  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *n 6s.$p)%  
CF&6J$ZBgJ  

图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 [z`31F  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 El[)?+;D  
•单击go！ VEqS;~[  
•获得了3D光线追迹结果。 m'6&9Jak  
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图片:1-1911251A23G14.png

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k.vBj~xU  
光线追迹仿真 }Qip&IN  
&,c``z  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 oX S1QT`B  
•单击go！ l_P-j96WD  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 G7qG$wd8h  
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图片:1-1911251A311b4.png

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-@yh>8v  
场追迹仿真 Pe3@d|-,MU  
6r"eN%m  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 B$ajK`x&I  
•单击go！ >/kcdWl  
Ljxz.2LGr  

图片:1-1911251A335531.png

~]pE'\D7Ad  
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场追迹仿真（相机探测器） Rot@x r7Hc  
~$:|VHl  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 TUV&vz{  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 66/3|83Z  
=(NB%}  

图片:1-1911251A41O04.png

NdtB1b  
!sDh4jQ`  
场追迹仿真（电磁场探测器） {QHVo#  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Vr6@>@SC  
I/d&G#:~  

图片:1-1911251A519A0.png

P `}zlml  
!46RGU:I  
场追迹仿真（电磁场探测器） 1crnmJ!C  
cik!GA  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -=)+dCyB^  
K`iv c N"  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 ORyE`h
 
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