[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 N@g+51ye  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #p]On87>  
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建模任务 vzL>ZBe
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概述 bpkn[K"(  

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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 sb1/4u/W  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;.Kzc3yz}  
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光线追迹仿真 &+\wYa,  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^/c|s!U^  
•单击go！ , Le_PJY)  
•获得了3D光线追迹结果。 z, OMR`W  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 Z1Ms~tch  
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++yK^=  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }Eav@3h6  
•单击go！ T/H*Bo*=5  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9DIGK\  
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场追迹仿真 dWI\VS9  
+G?3j,a\  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3}"VUS0wh  
•单击go！ LcF0:h'  
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场追迹仿真（相机探测器） Va1|XQ<CL  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 hVd63_OO  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 +'[iyHBJ  
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}+SnY8A=KZ  
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场追迹仿真（电磁场探测器） j3$KYf`T}  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p}C3<
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图片:1-1911251A519A0.png

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TXB  
场追迹仿真（电磁场探测器） |`,%%p|T%  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 CA{c-kG  
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文件信息 b8>rUGA{  
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