摘要
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E-+#p 高
数值孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
incUa; {(^%2dk83C ?yAjxoE~? <*DP G\6Ma 建模任务
6g'+1%O G":u::hR O+o_{t\R 概述
C8
"FTH' VY "i>Ae •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
pAc "Wo(Q •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
RU,!F99'1 tCr?!Y~ ;r3|EA35 2-gI@8NPI 光线追迹仿真
IoWK 8x PA>su)N$ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
J.n-4J#@ •单击go!
r r(UE •获得了3D光线追迹结果。
]o*-|[^? w&LL-~KI+ M}`G}* _u8d`7$*% 光线追迹仿真
w-?Cg8bq< <k-hRs2d •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
ri1:q.:I] •单击go!
6#1:2ZHKG •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
gR8vF fnudu0k nWv6I& zNJ-JIo% 场追迹仿真
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2f.4P]s`T •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
F[==vte| •单击go!
'A9U[| is}Y+^j. v6+<F;G3y> f`8mES'gc8 场追迹仿真(相机探测器)
VtJyE} v(z2,?/4 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
1U~yu& •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
"3:TrM$|A
S#^-VZ~U4x SDICN0X* P};GcV- 场追迹仿真(电磁场探测器)
%%f(R7n •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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Com`4>0>I 场追迹仿真(电磁场探测器)
2Jc9}|, {]dH+J7 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination 7H5t!yk|9 ?br 4 wl (来源:讯技光电)