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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 dkjL;1  
    \Z8!iruN  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 dImm},  
    v|6fqG+Q\  
    _EP}el  
    zw?6E8$h  
    建模任务 i&Ea@b  
    I,D=ixK  
    !SnpesTn  
    概述 Ax ^9J)C  
    ~&kV  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 R-ci?7dt3  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 o&=m]hKpQl  
    *h Ur E  
    HM/ q B^  
    T~la,>p|}  
    光线追迹仿真 pS0T>r  
    i> ;G4  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 sMZ \6  
    •单击go! c c:xT0Y  
    •获得了3D光线追迹结果。 j2+&B9 (  
    uJQeZEe  
    q6q= ,<T%S  
    J#\/znT  
    光线追迹仿真 }U9e#>e x  
    ;RXv%ML  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \a<E3 <  
    •单击go! pxgv(:Tw  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 N'4*L=Ut  
    q+<TD#xoL  
    &f[[@EF7  
    ^-DK<jZ^  
    场追迹仿真 6(.&y;  
    bkb}M)C  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 rS=6d6@  
    •单击go! dpy,;nqzeN  
    s:%>H|-  
    _v-sb(* J  
    *{uu_O  
    场追迹仿真(相机探测器) l! GPOmf9`  
    s;bqUY?LD  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 d%WFgf}  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 mWZV O,t$  
    K~uoZ~_gA  
    bp }~{]:b  
    fSj^/>  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 3 Tt8#B  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9vXrC_W9  
    d6u L;eR  
    -50|r;a  
    EM"YjC)F  
    场追迹仿真(电磁场探测器) fNQecDuS  
    'i}Q R~pe  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'INdZ8j_  
    HR4^+x  
    =T[kGg8`  
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    文件信息 IyMKV$"  
    905 /4z'  
    X"yLo8y8$  
    <MoWS9s!yb  
    更多阅读 xand%XNv  
    zH.7!jeE  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer a4c~ThbI  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination C/)Xd^#  
    U`xjau+  
    (来源:讯技光电
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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