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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 K xh)'aal  
    ,Sghi&Ky  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 vTU"c>]  
    -V_e=Y<J/  
    r(%#@?&  
    e>sr)M  
    建模任务 zVkHDT[  
    |) T HuE(  
    (J$JIPF  
    概述 }yS"C fM  
    ^=.|\ YM  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 kZPj{^c:  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lt5~rH2  
    k&yy_r   
    9bqfZ"6nXY  
    >d#B149  
    光线追迹仿真 |~#!e}L(  
    *N< 22w  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /DZKz"N  
    •单击go! V@e0VV3yx%  
    •获得了3D光线追迹结果。 )Ky 0q-W  
    >SSF:hI"J  
    SYa!IL-B  
    /ExnW >wT  
    光线追迹仿真 dKZffDTZ  
    O:p~L`o>>  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 YC*S;q  
    •单击go! 'X@j  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 TX*s T  
    T~`m'4"+c  
    AP/tBC eM  
    6i=m1Yk  
    场追迹仿真 gLd3,$ Ei  
    X(g<rz1J]  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 R"=G?d)  
    •单击go! v<3i~a  
    ?Za1  b  
    aHwrFkn  
    Il*wVNrZI  
    场追迹仿真(相机探测器) wR>\5z )^  
    Gq+!%'][P  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 UAUo)VVi"  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 (fY(-  
    zF\k*B  
    GJ{]}fl  
    7NoB   
    场追迹仿真(电磁场探测器) 4`!(M]u=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WElB,a-RCp  
    83)2c a  
    jNrGsIY$  
    eX;"kO  
    场追迹仿真(电磁场探测器) z`f1|Ok  
    m:X;dcq'3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6M259*ME  
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    文件信息 ^om(6JL2  
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    更多阅读 O8 k$Uc  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer Yl>@(tu)|  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination b_cD >A  
    3ef]3  
    (来源:讯技光电
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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