[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 dkjL;1  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 dImm},  
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建模任务 i&Ea@b  
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概述 Ax ^9J)C  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 R-ci?7dt3  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 o&=m]hKpQl  
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光线追迹仿真 pS0T>r  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 s
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•单击go！ c c:xT0Y  
•获得了3D光线追迹结果。 j2+&B9(  
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光线追迹仿真 }U9e#>ex  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \a<E3 <  
•单击go！ pxgv(:Tw  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 N'4*L=Ut  
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场追迹仿真 6(.&y;  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 rS=6d6@  
•单击go！ dpy,;nqzeN  
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场追迹仿真（相机探测器） l! GPOmf9`  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 d%WF
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•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 mWZVO,t$  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 3 Tt8#B  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9vXrC_W9  
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场追迹仿真（电磁场探测器） fNQecDuS  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'INdZ8j_  
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文件信息 IyMKV$"  
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