[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 n$B=Vt,  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 WXaLKiA*(  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 @My-O@
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 6# ,2  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 $x
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Q4}2-}|  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真
[*]&U6\j  
Nz\=M|@(#  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 o
-yZ$+V  
•单击go！ ;| )&aTdH  
•获得了3D光线追迹结果。 z3[ J>  
ENr\+{{%  

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光线追迹仿真 IBo)fE\O  
OZB(4{vnyC  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7GB>m}7  
•单击go！ U#G0  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Zu,rf9LMj  
Uf1i"VY  

图片:1-1911251A311b4.png

v#8{pr  
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场追迹仿真 9l+'V0?`  
QcU&G*   
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 PsjSL8]  
•单击go！ 4w<U%57  
{D={>0  

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5k)/SAU0  
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场追迹仿真（相机探测器） &$
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" ;8H;U`  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 |$f.Qs~?  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 >;-.rJFr
 
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图片:1-1911251A41O04.png

D C{l.a.  
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场追迹仿真（电磁场探测器） *I:^g  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]DHB'NOh,  
,9SBGxK5`  

图片:1-1911251A519A0.png

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2? 9*V19yu  
场追迹仿真（电磁场探测器） W|XW2`3p  
AqM}@2#%%  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dUegHBw_`R  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 H
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