[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 h;4y=UU  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !R] CmK  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 QXIbFv  
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9.  

图片:1-1911251A00R22.png

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概述 @Le ^-v4  
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9  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 -Z/6;2
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Y7b,td1  
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图片:1-1911251A211D3.png

Gct&}]3pm  
\U<F\i  
光线追迹仿真 j"D0nG,  
\ eyQo>(  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :) Fp B"  
•单击go！ ~q#[5l(r8  
•获得了3D光线追迹结果。 6>LQGO  
6/V{>MTZg  

图片:1-1911251A23G14.png

lo>-}xd  
]'1N_m]?  
光线追迹仿真 [6RV'7`Abj  
+lDGr/  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !7,K9/"  
•单击go！ 8Jib|#!  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 )z*$`?)k  
X"qbB4(I  

图片:1-1911251A311b4.png

{%+3D,$)  
1=o(sIeA  
场追迹仿真 2U
+z~  
v @I^:I  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 F|n$0vQ*  
•单击go！ *~t$k56  
0-&sJ  

图片:1-1911251A335531.png

b3 %&   
P7BJ?x  
场追迹仿真（相机探测器） U7f&N  
r/s&ee  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &:cTo(C'  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 vCU&yXGl  
}v(H E%~}  

图片:1-1911251A41O04.png

m|?" k38  
CgTQGJ}-  
场追迹仿真（电磁场探测器） |qudJucV  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 aD2CDu  
%.atWX`b  

图片:1-1911251A519A0.png

ETH#IM8J  
B"E(Y M  
场追迹仿真（电磁场探测器） Jk6/i;4|  
>`,#%MH#  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 HNHhMi`w  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 ][$$ =  
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