[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 FI$XSG  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 h48YDWwy  
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建模任务 V#L'7">VP  
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概述 |NJ}F@t/5  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 |4fF T `  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~>g+2]Bn>$  
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光线追迹仿真 xzr<k S
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LTXz$Z]  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 w#9_eq|3  
•单击go！ ^s-25 6iI  
•获得了3D光线追迹结果。 'mE^5K  
:y1Bt+Fp  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 ~x#vZ=]8  
OhFW*v  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 y3JMbl[S0  
•单击go！ 64umul  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 A[)C:q,  
4x=(Zw_X  

图片:1-1911251A311b4.png

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.T8K-<R  
场追迹仿真 ykmv'a$-4  
:G=FiC  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #K|9^4jt  
•单击go！ .Y\EE;8%  
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图片:1-1911251A335531.png

Ur3m[07H  
9:8|)a(1  
场追迹仿真（相机探测器） "r$/  
q.W>4 k  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 q7_+}"i  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (>7>3  
%\6Q .V#s  

图片:1-1911251A41O04.png

"HK/u(z)  
PVYyE3`UB  
场追迹仿真（电磁场探测器） 5k$vlC#[H  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r,;\/^u*  
o35fifM`  

图片:1-1911251A519A0.png

r4Q|5kT*i  
L'E^c,-x~  
场追迹仿真（电磁场探测器） f<=Fe:1.  
U>Gg0`>  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 rQr!R$t/[  
<[i}n55  

图片:1-1911251A5594c.png

Gu;OVLR|  
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文件信息 8ObeiVXf)  
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-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination <]d
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