[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 A5!jrSyv  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 2"~!Pu^.j  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 0AY23/  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 ::g"dRS<v  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 v!E0/ gD  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 X1]&j2WR  
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图片:1-1911251A211D3.png

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/u<lh. hPW  
光线追迹仿真 VQZ3&]o  
N6c']!aM@  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =   
•单击go！ g.kpUs  
•获得了3D光线追迹结果。 ! W$u~z  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 n!|K#  
>Gk<[0U  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #E2`KGCzW  
•单击go！ c,Zs. kC  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 vz)A~"E  
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图片:1-1911251A311b4.png

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q =b.!AZy  
场追迹仿真 G&0&*mp  
 V-}d-Y  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7,!Mmu  
•单击go！ '/\@Mc4T  
%/oOM\}++  

图片:1-1911251A335531.png

D2[wv+#)  
H:`W\CP7_  
场追迹仿真（相机探测器） HyiuU`  
Xf:CGR8_  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 fNFdZ[qOd  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Sr)/ Mf  
C0jmjZ%w@  

图片:1-1911251A41O04.png

X@b$C~+  
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场追迹仿真（电磁场探测器） uw LT$  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 YUF!Y9!  
4adCMfP7.  

图片:1-1911251A519A0.png

W2wDSP-   
Umm_FEU#]  
场追迹仿真（电磁场探测器） Q0gO1T  
[NFg9y;{h  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5dMIv<#T`  
"@gJ[BL#  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 -]Z!_[MlDF  
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图片:1-1911251A6203V.png

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