[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要
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+c;/hM<IX.  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 eD5:0;X2  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务  .>?h  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 >Y,
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #=@H-ZuD7  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]gHxvT\E  
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图片:1-1911251A211D3.png

>d#oJ?goX  
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光线追迹仿真 6G2s^P1Dl@  
&%J+d"n(  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 CUJP"u>8M  
•单击go！ 0zH^yx:ma  
•获得了3D光线追迹结果。 j{}-zQ]n  
x~1.;dBF  

图片:1-1911251A23G14.png

UrAg*v!Qy  
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光线追迹仿真 ~yacJU=  
yLv jfP1  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2K >tI9);  
•单击go！ @L?X}'0xI4  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 (EZ34,k'S  
W5'07N^  

图片:1-1911251A311b4.png

6 0C;J!D  
p1}Y|m!  
场追迹仿真 <eWGvIEP[  
%Xm3m0nsv{  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 oh%kuO T[  
•单击go！ ~vf&JH'!  
f1eY2UtWQ  

图片:1-1911251A335531.png

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CR*9-Y93  
场追迹仿真（相机探测器） #$\cRLPg  
?gZJ v  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 5<0d2bK$  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 P<+y%g(({  
In
1VW|4h  

图片:1-1911251A41O04.png

*7L*:g  
44s K2  
场追迹仿真（电磁场探测器） ,p(4OZz5,  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w8~J5XS  
$`nKq4Y   

图片:1-1911251A519A0.png

sOyWsXd+R'  
B@ab[dm280  
场追迹仿真（电磁场探测器） ,!`94{Ggv  
x.>E7 +  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 fVR:m`'Iq_  
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文件信息 ^iaeY jI  

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