[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 5N>L|J2  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 P+p:Ed8
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建模任务 R*"zLJ
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概述 K?wo AuY  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :as2fO$?  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 jW|M)[KJN  
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光线追迹仿真 i;<H^\%  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 k8sjW!2  
•单击go！ 4H%Ai(F}_  
•获得了3D光线追迹结果。 /vPc
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光线追迹仿真 vB/G#\Zqz  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 w
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•单击go！ dBp)6ok#c  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 z`@|v~i0`  
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场追迹仿真 3hzKd_  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 TqXB2`
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•单击go！ Oc?]L&ap  
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场追迹仿真（相机探测器） |lf,3/*jDB  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 64-;| k4F  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 +dSO?Y]  
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场追迹仿真（电磁场探测器） _0e;&2')  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r5aOQ  
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场追迹仿真（电磁场探测器） >FM2T<.;  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p{4nWeH?B  
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文件信息 %oE3q>S$en  
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