[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 }
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 O2@" w23  
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建模任务 x?>!UqgkY  
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概述 ?k w/S4  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 X o_] v  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 zK /f$}  
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光线追迹仿真 P[1m0!,B  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 G/%Ubi6%  
•单击go！ IPkA7VhFF  
•获得了3D光线追迹结果。 S^)WYF5  
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光线追迹仿真 E.U0q
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 uJm#{[  
•单击go！ "?`JA7~g  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 lxCX-a`@p  
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场追迹仿真 wFn@\3%l
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Qlf 9]ug)  
•单击go！  =05iW  
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场追迹仿真（相机探测器） %h
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 s&Z35IM8|  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 P7cge  
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场追迹仿真（电磁场探测器） [U%.Gi  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .Kg|f~InO  
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场追迹仿真（电磁场探测器） $hyqYp"/;  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r94j+$7  
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文件信息 xI-=tib  
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