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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 7n {uxE#U)  
    $:SHZe  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ( J5E]NV  
    Hcuvu[)T"  
    /z`LB  
    YS%HZFY, "  
    建模任务   "Qm  
    G,%R`Xns  
    8h}o5B  
    概述 1%t9ic  
    EC|t4u3  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 (m25ZhW  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ,{=#  
    b<NI6z8\  
    k#&d`?X  
    pvD\E  
    光线追迹仿真 d A[I  
    "I}3*s9Q-  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 i_Ab0vye  
    •单击go! >d&B:  
    •获得了3D光线追迹结果。 8 Ys DE_  
    ;i@,TU  
    ilHZx2 k  
    txw:m*(%  
    光线追迹仿真 L W 8LD|@  
    FQ2 6(.  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 -xPv]j$  
    •单击go! +"'cSAK  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 +QGZ2_vW  
    uPQ:}zL2  
    F$F,I,$ "  
    sFuB[ JJ}  
    场追迹仿真 >$j?2,Za(V  
    3o5aB1   
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 9{]U6A*K0w  
    •单击go! Q,S~+bD(z  
    ozy~`$;c  
    :q/%uca9  
    <k+dJ=f  
    场追迹仿真(相机探测器) jhOQ)QE|  
    >|'u:`A  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 f .-b.nNf  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 UJ* D  
    p"\Z@c  
    F[R Q6 PW  
    F<39eDNpz  
    场追迹仿真(电磁场探测器) b"DaLwKkz  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :c)N"EJlI2  
    XEl-5-M"  
    LVP2jTz  
    uxLT*,  
    场追迹仿真(电磁场探测器) *")Req  
    gqJSz}'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ? Dm={S6  
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    文件信息 H3CG'?{ _  
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    9K,PT.c  
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    更多阅读 BQTZt'p  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer RC?gozBFJ  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination ZEa31[@B[  
    .Nt;J,U  
    (来源:讯技光电
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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