[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 wfjc/u9W6R  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 )*5G">))p  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 1'4J[S\cM  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 NA.1QQ;e  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 PjIeZ&p  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Ce'pis  
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图片:1-1911251A211D3.png

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]p~IYNl2%j  
光线追迹仿真 i\H+X   
S }>n1F_
 
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hGf-q?7  
•单击go！ E&B{5/rv  
•获得了3D光线追迹结果。 |7^^*UzSK:  
dS`Bk6Y  

图片:1-1911251A23G14.png

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7rHS^8'H&  
光线追迹仿真 V5D`eX9  
5=KF!?  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Y1dVM]l  
•单击go！ 7);:ZpDv%L  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 #'hLb  
c {I"R8  

图片:1-1911251A311b4.png

y)F!c29  
)uLr?$qe  
场追迹仿真 &&L"&Rc  
:ZxLJK9x1  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 eu'1H@vX(  
•单击go！ ]Fb0Az  
)h^NR3N  

图片:1-1911251A335531.png

G*\h\
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XV'fW~j\  
场追迹仿真（相机探测器） =ex'22  
FXo2Y]K3`L  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 JLb6C52  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Ih1|LR/c  
0W>9'Rw  

图片:1-1911251A41O04.png

+ySY>`1k~  
Napf"Av  
场追迹仿真（电磁场探测器） Ak~4|w-  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2:$ k  
s%;<O:x8o  

图片:1-1911251A519A0.png

I"xWw/Ec  
Y(GN4@`S  
场追迹仿真（电磁场探测器） %d: A`7x  
CsSp=(  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i=v]:TOu  
AV@\ +0  

图片:1-1911251A5594c.png

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uC~g#[I QM  
文件信息 v9}[$HWx  
#B\=Aa`*  

图片:1-1911251A6203V.png

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