[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 .IgRY\?Q  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 xzm@ v(  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 _'!kuE,*1  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 8md*wEjk  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 +&5'uAe  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 booRrTS  
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图片:1-1911251A211D3.png

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Vn, ><g  
光线追迹仿真 P`(Mk6gE  
X(Qu{HhI  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 eKG2*CV  
•单击go！ 7 ^$;  
•获得了3D光线追迹结果。 TTZe$>f  
QR0(,e$Dl  

图片:1-1911251A23G14.png

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8 lT{1ro  
光线追迹仿真 o6a0'vU><  
"& 25D  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 lG:kAtx4  
•单击go！ .c+9P<VmC}  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Ak@Dyi?p  
Kz?#C  

图片:1-1911251A311b4.png

Am"(+>W21  
S,jZ3^  
场追迹仿真 n V&cC  
t;NV $!!  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ny*i+4Mb  
•单击go！ vScjq5"p  
-c*\o3)  

图片:1-1911251A335531.png

5,)vJ,fs  
"_1)CDqP  
场追迹仿真（相机探测器） C! 9}  
i=S~(gp  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 W7sn+g\  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 uLR<FpM  
B?bW1  

图片:1-1911251A41O04.png

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m Y,|J\w@  
场追迹仿真（电磁场探测器） %aRT>_6"  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !l@zT}i??  
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图片:1-1911251A519A0.png

x;s0j"`Jb  
% Zjdl  
场追迹仿真（电磁场探测器） ?)D^~/ A  
O`[aU%4b  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 EgjR^A1W2  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 h^UKT`9vt  
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图片:1-1911251A6203V.png

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