摘要
R75np^ ?<$DQ%bf 高
数值孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
D(S^g+rd b_0Xi
PAXdIh[] T%:W6fH7 建模任务
bxg9T(Bj |N>TPK&Xt
A[oxG;9xi 概述
5AT[1@H(_ O7RW*V:G@ •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
$'VFb=?XrK •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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? ]^^mJt.Iv
VSt)~ )b AcU 光线追迹仿真
co%ttH\ n {^
^)bf|1' •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
D@>^_cTO24 •单击go!
dAcy;-[[P •获得了3D光线追迹结果。
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*<_8]C0> ebS>_jD 光线追迹仿真
cA4xx^~ (a i&v •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
M1T)e9k=x •单击go!
Hh8)d/D •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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< x-/ `c 场追迹仿真
R"=pAO.4l dw!cDfT+ •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
=X11x)]F9 •单击go!
XaV h. 7x^P 74
V4PD]5ZW O?9&6x 场追迹仿真(相机探测器)
:)\< k/yoRv% •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
y-93 >Y •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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qYIt 场追迹仿真(电磁场探测器)
nDSmr •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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~ b;%J: h$FpH\- 场追迹仿真(电磁场探测器)
S&% GB DUxj^,mf, •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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