[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 S=_u3OH0  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?6CLUu|7n  
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建模任务 e,JBz~CK*w  
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概述 ,)1C"'  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zR<{z  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .dU91> ~Ov  
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光线追迹仿真 4 neZw'm  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 q`1tUd4G  
•单击go！ K=N&kda  
•获得了3D光线追迹结果。 @D;K&:~|N  
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光线追迹仿真 v#?DWeaFS_  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 sE?%;uBb  
•单击go！ 1Vy8eI`4  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 KR( apO  
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场追迹仿真 tx5bmF;b)  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~rV$.:%va  
•单击go！ `,V&@}&"n  
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场追迹仿真（相机探测器） %$&eC  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 C1;uAw?\  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 u.2X"  
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场追迹仿真（电磁场探测器） dEDhdF#f  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Qr R+3kxM  
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场追迹仿真（电磁场探测器） rPB Ju0D"  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?*~ ~O
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文件信息 Xn"#Zy_  
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