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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 4nkE IZ  
    iOqk*EL_r\  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 .Q&rfH3  
    LJQ J\bT?  
    Ip?]K*sq  
    !gP0ndRJ=  
    建模任务 Zb''mf\  
    NY.k.  
    c ~F dx  
    概述 h`5)2n+P  
    I*\^,ow  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 M>l^%`  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [!"XcFY:a  
    J]pa4C`  
    o6}n8U}bk  
    uDuF#3 +"  
    光线追迹仿真 V"RpH,  
    A^Cj1:,  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +MUwP(U=w  
    •单击go! >V;,#5F_  
    •获得了3D光线追迹结果。 Q M 1F?F  
    4]&<?"LSK  
    GsV4ZZ  
    <@, $hso7:  
    光线追迹仿真 Hs0pW5oZ  
    E9 Y\X  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1n%8j*bJq  
    •单击go! y,m2(V  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 9dKul,c  
    ,&]MOe4@>  
    j9y3hQ+q  
    $L}aQlA1JM  
    场追迹仿真 JlZ0n;  
    < {ru|-9  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 F^kwdS  
    •单击go! svhrf;3:  
    (f1M'w/OD  
    fA^Em)cs2  
    ~&VN_;j_  
    场追迹仿真(相机探测器) ``QHG&$ /  
    uV]ULm#,i  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (ku5WWJ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ,x_Z JL  
    eD;6okdP  
    M##';x0  
    ~+n,1]W_  
    场追迹仿真(电磁场探测器) RtV.d \  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %:u[MBe,  
    m( 47s  
    xJ(:m<z  
    yTAvF\s$(  
    场追迹仿真(电磁场探测器) $H2GbZ-I  
    |. C1|J'Z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w:ULi3  
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    更多阅读 a/:XXy |  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer kU*{4G|6  
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    (来源:讯技光电
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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