[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 bFn(w:1Q  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 U9F6d!:L7A  
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建模任务 z`@z  
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概述 #W^_]Q=5R'  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "s;ci~$  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 PHl4 vh#E!  
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光线追迹仿真 xZg7Jg  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 pLJeajv)z  
•单击go！ EGEMZCdk2  
•获得了3D光线追迹结果。 &&*wmnWCS{  
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光线追迹仿真 y0y+%H-  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 CL )%p"[x  
•单击go！ $WJy?_c
 
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 W7T"d4  
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场追迹仿真 >["Kd.ye  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4(;20(q]  
•单击go！ x;*VCs
 
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场追迹仿真（相机探测器） 1k`|[l^  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 |B,dEx/uU  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 83X/"2-K  
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场追迹仿真（电磁场探测器） sAf9rZt*'  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2pw>B%1WP)  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 1ME|G"$;  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @i\7k(9:A  
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