[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 TSVlZy~Xo  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 j1=su~  
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建模任务 JF=T_SH^U  
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概述 \["I.gQ  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 uvJ&qd8M  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4BeHj~~  
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光线追迹仿真 7spZe"  
@!^Y_q  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 + WT?p]  
•单击go！ u=Xpu,q  
•获得了3D光线追迹结果。 ZrB(!L~7  
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光线追迹仿真 Wevd6)\  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #^(Yw|/K  
•单击go！ >pe!T aBN  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 W }v ,6Oe  
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场追迹仿真 |~&cTDd  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Pq@-`sw  
•单击go！ ?bg /%o  
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场追迹仿真（相机探测器） yXqC  
v*c"SI=@M=  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 7|jy:F,w%  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 oTx>oM,  
?@kz`BY  
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B I=57  
场追迹仿真（电磁场探测器） fRq+pUxU  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 s_^N=3Si   
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场追迹仿真（电磁场探测器） EBiLe;=X  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y&bZai8WlE  
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文件信息
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