[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 *b7 ^s,?  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 uJAB)ti2I  
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建模任务 f@V{}&ZWp  
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概述 Ml_:Q]kl^  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 0aq-drl5\  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 mm9S#Ya  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 0z2R`=)  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 w `9GygS  
•单击go！ *~aI>7H  
•获得了3D光线追迹结果。 zYl+BM-j,6  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 <k8rSxn{  

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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 fJN9+l  
•单击go！ 7Bb@9M?i  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。  x+j/v5  
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场追迹仿真 |r*1.V(  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4xC6#:8  
•单击go！ Fu
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图片:1-1911251A335531.png

^K@GK  
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场追迹仿真（相机探测器） FH@e:-*=  
kys-~&@+  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 oFA$X Y  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 :<|fZa4!"  
J'oz P^N  

图片:1-1911251A41O04.png

y"n~ET}e7  
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场追迹仿真（电磁场探测器） p{_O*bo  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H "/e%  
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图片:1-1911251A519A0.png

pc(9(. |  
A}+r;Y8[h  
场追迹仿真（电磁场探测器） ]5MRp7  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z-=7QK.\{  
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文件信息 zL=I-fVq  
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图片:1-1911251A6203V.png

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