[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 `xMmo8u4  
U` uP^  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 `z=U-v'H)D  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 r9McCebIW  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 YNyaz
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 (99P9\[p  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 (&HAjB  
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图片:1-1911251A211D3.png

K<TVp;N  
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光线追迹仿真 yr?*{;  
62GP1qH9  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Fr_esx  
•单击go！ QW
z5iM  
•获得了3D光线追迹结果。 sLrSi  
F9@,T8I  

图片:1-1911251A23G14.png

-e0C Bp  
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光线追迹仿真 ilJeI@  
1henQiIO  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 .@KpN*`KH  
•单击go！ G8b/eWtP  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [!1z; /  
5{/CqUIl  

图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 ['~j1!/;6  
hp=TWt~  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3jR,lEJyj  
•单击go！ ~_<I}!j/B  
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图片:1-1911251A335531.png

v0hr~1  
g-lF{Z  
场追迹仿真（相机探测器） B^g+_;  
W _j`'WN/  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 dJID '2a  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 gSLwpIK
%  
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图片:1-1911251A41O04.png

O0OBkIj  
b[p<kMTir  
场追迹仿真（电磁场探测器） EXn$ [K;  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R-nC+)^  
[GKSQt{)  

图片:1-1911251A519A0.png

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bU'{U0lM  
场追迹仿真（电磁场探测器） M7z>ugk"  
+bK[3KG4F5  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'A@[a_  
]=ar&1}J  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 \%\b*OO  
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图片:1-1911251A6203V.png

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