[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 '9'l=Sh  
3FFaEl  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 34z_+  
Y!Drb-U?;  

图片:1-191125164532947.png

>L^xlm%7o  
gdl| ^*tc  
建模任务 S"zk!2@C  
xZX`%f-  

图片:1-1911251A00R22.png

uM<|@`&b  
概述 yk<VlS  
t\zbEN  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 GMz8B-vk  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 a.?v*U@z@#  
?{eY\I  

图片:1-1911251A211D3.png

:V-k'hm &  
Rv,82iEKs  
光线追迹仿真 kQLT$8io  
$0#6"urG  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7Re-5vz R  
•单击go！ TtPr)F|  
•获得了3D光线追迹结果。 I FsE!oDs4  
bw9 nB{C<  

图片:1-1911251A23G14.png

fYB*6Xb,w  
,
HZYG4,  
光线追迹仿真 W .U+.hR  
?KB@Zm+#~  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 vG~+r<:  
•单击go！ MGQ,\55"  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 }#6xFTH  
n?:2.S.8  

图片:1-1911251A311b4.png

qBYg[K>  
zT7"VbP  
场追迹仿真 26.)Ur<F  
.*Vkua  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 2 z7}+lH  
•单击go！ PO o%^'(  
V&*D~Jq  

图片:1-1911251A335531.png

vd (?$  
rslvsS:  
场追迹仿真（相机探测器） Y5Z!og  
JoJukoy}F  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "|t!7hC  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 NYB "jKMk  
aGK@)&h$  

图片:1-1911251A41O04.png

gn)R^  
RlRs}yF  
场追迹仿真（电磁场探测器） "3}<8c  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =6\LIbO  
%>zjGF<
 

图片:1-1911251A519A0.png

vHcqEV|P/n  
Td hTQ  
场追迹仿真（电磁场探测器） n]yEdL/1  
66\jV6eH7L  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 u =J&~  
5iM[sg[y9  

图片:1-1911251A5594c.png

#;Tz[0  
y
1pu R7  
文件信息 Vn|1v4U!  
(9C<K<  

图片:1-1911251A6203V.png

R_N:#K.M  
Kq)MTlP0g  
更多阅读
C6 "  
7%;_kFRV  
-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer BRv x[u  
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination N#ioJ^}n:  
$`J_:H%  

收藏一下