切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2087阅读
    • 1回复

    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线xunjigd
     
    发帖
    952
    光币
    9
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 Jd#g"a>zZ  
    :+Ti^FF`w  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 %Y!31oC#  
    ~Y;_vU  
    bDK%vx!_  
    S 2vjjS  
    建模任务 bz$)@gLc  
    Y6<"_  
    l@C39VP  
    概述 (b!`klQ  
    vhsHyb  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 cvSr><(  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 KlOL5"3  
    j !m42  
    +2X q+P  
    HYqDaRn  
    光线追迹仿真 Ek#?B6s  
    {jVEstP  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?mM6[\DFoT  
    •单击go!  3"B$M  
    •获得了3D光线追迹结果。 XQW9/AzNf  
    xi3  
    >2kjd  
    _pZ2^OO@  
    光线追迹仿真 U`*L`PM  
    bSbUf%LKt  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7l+>WB_]  
    •单击go! Fh[Gq  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ZV,1IaO  
    4<c #3]  
    'UW]~  
    y*6-?@  
    场追迹仿真 Pgdv)i3  
    -`d9dJ dB  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Fqr}zR)  
    •单击go! ItLP&S=  
    y&F0IJ|`@M  
    B`I9  
    v J `'x  
    场追迹仿真(相机探测器) A]x'!qa@=  
    !/]vt?v#^  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 RCCI}ovU  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 3d_PY,=1  
    HW,2x}[  
    uW@o,S0:  
    <Oyxzs  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 9bE/7v  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8r|5l~`8  
    Z{#;my*X|  
    P. V #  
    +WGL`RP  
    场追迹仿真(电磁场探测器) sPKyg  
    C{"uz_Gh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @-g'BvS  
    %b)~K|NEFf  
    VlLc[eVV  
    0nX.%2p#Je  
    文件信息 c"<bq}L7S  
    "?[7oI}c&  
    $ 2/T]  
    P#8 ]m(  
    更多阅读 `;'fCO!  
    A&dNCB  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer q1d'L *   
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination \K,piCVViN  
    bM%c*_$F7  
    (来源:讯技光电
     
    分享到
    离线l3x13999
    发帖
    69
    光币
    4
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
    收藏一下