摘要
R75np^ ?< $DQ%bf 高
数值孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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PAXdIh[] T%:W6 fH7 建模任务
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A[oxG;9xi 概述
5AT[1@H(_ O7RW*V:G@ •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
$'VFb=?XrK •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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VSt)~ )b AcU 光线追迹仿真
co%ttH\ n {^
^)bf|1' •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
D@>^_cTO24 •单击go！
dAcy;-[[P •获得了3D光线追迹结果。
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* <_8]C0> ebS>_jD 光线追迹仿真
cA4xx^~ (a i &v •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
M1T)e9k=x •单击go！
Hh8)d/D •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
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< x-/ `c 场追迹仿真
R"= pAO.4l dw!cDfT+ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
=X1 1x)]F9 •单击go！
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V4 PD]5ZW O?9&6x 场追迹仿真（相机探测器）
: )\< k/yoRv% •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
y-93 >Y •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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q YIt 场追迹仿真（电磁场探测器）
nDS mr •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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S& % G B DUxj^,mf, •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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