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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线xunjigd
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 }wkaQQh  
    nh.b/\o  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 O2@" w23  
    fB[\("+  
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    gL,"ef+nM  
    建模任务 x?>!UqgkY  
    3#<'[TF00t  
    BGA%"b  
    概述 ?k w/S4  
    )T<D6l Lt  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 X o_] v  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 zK /f$}  
    v+7*R)/  
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    y$v@wb5  
    光线追迹仿真 P[1m0!,B  
    As p8qHS  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 G/%Ubi6%  
    •单击go! IPkA7VhFF  
    •获得了3D光线追迹结果。 S^)WYF5  
    n1JC?+  
    dd19z%  
    ha ik  
    光线追迹仿真 E.U0qK],  
    zdT->%  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 uJm#{[  
    •单击go! "?`JA7~g  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 lxCX-a`@p  
    bA0uGLc  
    \/ X{n*Hw?  
    kkHTbn=!  
    场追迹仿真 wFn@\3%l`  
    o9~h%&  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Qlf 9]ug)  
    •单击go!  =05iW  
    mC% %)F'Zf  
    lJ("6aT?  
    f>?^uSpWH  
    场追迹仿真(相机探测器) %h3L  
    CF,8f$:2  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 s&Z35IM8|  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 P7cge  
    K:Mujx:  
    }ty"fI3&iY  
    - a   
    场追迹仿真(电磁场探测器) [U% .Gi  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .Kg|f~InO  
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    b1eK(F  
    场追迹仿真(电磁场探测器) $hyqYp"/;  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r94j+$7  
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    文件信息 xI-=t ib  
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    k, $I59  
    更多阅读 *4r s  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer Fl8w7LcF7  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination m OwWg  
    E`A<]dAoK  
    (来源:讯技光电
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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