[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 %*!6R:gAp  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 kvbW^pl  
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建模任务 8x)i{>#i  
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概述 Z2yO /$<  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 qD\9h`a  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 1goRO  
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光线追迹仿真 1U.X[}e  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 svDnw cl  
•单击go！ F)X`CG ;t  
•获得了3D光线追迹结果。 Kw;gQk~R!  
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光线追迹仿真 `?R{sNr.  
0M&n3s{5I  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #oa>Z.?_V  
•单击go！ P2f^]z  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 UP)<(3YA  
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场追迹仿真 tbR  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1aIGC9xQ`  
•单击go！ t7u*j
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场追迹仿真（相机探测器） ,q#SAZ/N  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @{fwM;me]P  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {D",ao   
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场追迹仿真（电磁场探测器） XI[n!)3  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ReM]I<WuY  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ;T0X7MNx  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |y0k}ed  
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文件信息 GXD<X_[  
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