[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 ~& @UH  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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建模任务 f1_b``M  
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概述 " A}S92  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 qij<XNZU"&  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 th?w&;L  
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ev}ugRxt|k  
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光线追迹仿真 AJ0 ;wx  
OdrnPo{  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 PS=N]e7k'  
•单击go！ TOe=6
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•获得了3D光线追迹结果。 [7btoo|P]  
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光线追迹仿真 k+D"LA%J  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7l~d_<h  
•单击go！ BsJ d*-:X  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 @3Lh/&  
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场追迹仿真 ,_N+t:*#0  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 m 3Y@p$i5  
•单击go！ w I7iE4\vz  
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场追迹仿真（相机探测器） t{ R\\j  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 /qd5{%:  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 bl8EzO  
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场追迹仿真（电磁场探测器） U $2"ZyFii  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 s.#%hPX{  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 3tjF4C>h|  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 wigs1  
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