[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 s"#N;  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 `},:dDHI  
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建模任务 )/DN>rU  
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概述 : 8>zo  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 \^,J
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 y "+'4:_  
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光线追迹仿真 ~l:Cj*6x8  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 1lIs jBo g  
•单击go！ yNfj-wM  
•获得了3D光线追迹结果。 !VI
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光线追迹仿真 p/_W*0/i  
H+I,c1sF  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Eh;Ia6}  
•单击go！ A4(L47^  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Ht+roY  
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场追迹仿真 j%3$ytf|p  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 |0Fo{  
•单击go！ <H]PP6_g:  
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场追迹仿真（相机探测器） {(-923|,  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 gmu.8  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 b/\O;o}]  
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场追迹仿真（电磁场探测器） zx"EAF{  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *{5}m(5F  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 1c"s+k]9  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J%ws-A?6rN  
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