[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 CAc]SxLh  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 6Jgl"Jw8  
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建模任务 1XN%&VR>^D  
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概述 <~|n}&  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 [ &Wy $  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Xf;!w:u  
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光线追迹仿真 %>K(IRpMW  
` ,T.  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "0!#De  
•单击go！ jpi,BVTI-X  
•获得了3D光线追迹结果。
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 9ZOQNN<ex  
Rs<S}oeLn  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 dZ|bw0~_!  
•单击go！ _Nh])p-  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 23LG)or.JC  
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场追迹仿真 ="T}mc  
h(2{+Y+  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 p!DdX  
•单击go！ 5@.8O
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[GyPwb-  
>o"s1* {  
场追迹仿真（相机探测器） UHY)+6qt]  
>a@1y8B  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 G} [$M"}  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 lxTqGwx  
>CCy2W^W  

图片:1-1911251A41O04.png

mC]Krnx  
_u-tRHh|A  
场追迹仿真（电磁场探测器） v'L"sgW6I  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 SFWS<H(IN  
AJ 0Bb7  

图片:1-1911251A519A0.png

\U]<HEc^  
7OZ0;fK  
场追迹仿真（电磁场探测器） 7TX$  
#\~m}O,  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;|rFP  
-b%' K}.C  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 cL%eP.  
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