[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 S+bpWA  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {F ',e~}s  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 6PT"9vR`)  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 \p#_D|s/Ep  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Z '~Ie~  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 p&2oe\j$,  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 j8W<iy  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Hm'aD2k  
•单击go！ W>(w&k]%B  
•获得了3D光线追迹结果。 :6J&%n  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 3z% W5[E)  
U+,RP$r@  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (qzBy \\p  
•单击go！ -tA_"q'^  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 NqM=Nu\  
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图片:1-1911251A311b4.png

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_R}yZ=di  
场追迹仿真 0UhJ I  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $r)NL  
•单击go！ %+oqAYm+s  
x(A8FtG  

图片:1-1911251A335531.png

t==\D?Rt  
5zz">-Q !  
场追迹仿真（相机探测器） 1Gy [^  
U|Uc|6  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 aSMoee@!  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &WZ&Tt/)/  
CU:HTz=  

图片:1-1911251A41O04.png

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#gVWLm<  
场追迹仿真（电磁场探测器） 7^C&2k5G  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :eIQF7-  
gv){&=9/  

图片:1-1911251A519A0.png

$LVzhQlD  
Y h53Z"a  
场追迹仿真（电磁场探测器） n`V?n  
K>TEt5  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ueEf>0  
Lngf,Of.e  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 nl~Z,Y$  
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图片:1-1911251A6203V.png

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