[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 U2D2?#  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 d1rIU6  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 7}2Aq  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 gx',~  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 B3V;  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -)p S\$GC  
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图片:1-1911251A211D3.png

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[,)G\  
光线追迹仿真 n+XLZf#  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =h Lw1~  
•单击go！ BHZCM^  
•获得了3D光线追迹结果。 5SNa~ kC&  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 !|#W,9  
JE<w7:R&  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 zvgy$]y'\  
•单击go！ 0lm7'H*~  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 W Y]  
j LS<S_`  

图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 ~Bi>T15e  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 wJ%;\06  
•单击go！ ;[-TsX:  
rd:WF(]  

图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） Nm7YH@x*o  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 BtA_1RO  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @$aGVEcU$  
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图片:1-1911251A41O04.png

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. SM  
!Soz??~o/  
场追迹仿真（电磁场探测器） 6|G&d>G$_  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Db`SNk=  
d2a*xDkv  

图片:1-1911251A519A0.png

|W#(+m  
j"F?^0aR,Q  
场追迹仿真（电磁场探测器） h4#y'E!,Z  
v6C$Y+5~  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0Fw4}f.o  
YT`,f*t  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 ,6EhtNDu  
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图片:1-1911251A6203V.png

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