[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 p:<gFZb  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0S:!Gv+  
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建模任务 Be>c)90bO_  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 2PP-0 E  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2@m(XT (  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }:9|*m<$t  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 N 1f~K.e\  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?^48Zq6wM  
•单击go！ .)^3t~  
•获得了3D光线追迹结果。 G<u.+V  
O{ %A&Ui  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 ?V5Pt s  
? W2I1HEy  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 IJ_'w[k  
•单击go！ %YvSHh;c  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9u7n/o&8v6  
RZ)vU'@kx  

图片:1-1911251A311b4.png

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xH`j7qK.  
场追迹仿真 bV )PT`-,  
}OP%p/eY  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0'%+X|  
•单击go！ g"Q}h  
,LW(mdIe(  

图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） Qor{1_h)+9  
N1+4bR  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 iUxDEt[t*  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 =Y]'5cn
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图片:1-1911251A41O04.png

*3F /Ft5  
fVA=<:  
场追迹仿真（电磁场探测器） 9o_ g_q  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 NDe[2  
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图片:1-1911251A519A0.png

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7>t$<J  
场追迹仿真（电磁场探测器） *fQ?A|l!x  
p-Rm,xyL%  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m|nL!Wc  
N'eQ>2>O@  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 j h1bn  
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图片:1-1911251A6203V.png

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