[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 ~(-df>  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 FfM,~s<Efz  
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建模任务 _ YcIGOL  
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概述 B42qiV2/k  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?/YT,W<c;&  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 l~n=_R3  
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光线追迹仿真 mc|8t0+1`  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ~kOXMLRg  
•单击go！ |5(un/-C  
•获得了3D光线追迹结果。 O6b.oS'-  
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光线追迹仿真 feT.d +Fd  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ]DK.4\^  
•单击go！ ^o[(F<q  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 xP5Z
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RX,c4;  
场追迹仿真 nq*D91Q  
hOr4C4  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 BUU ) Sz  
•单击go！ "[2D&\$  
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场追迹仿真（相机探测器） RsnFjfb'  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `m\l#r2C  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 tybM3VA  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） }EJ'tio]  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;
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场追迹仿真（电磁场探测器） "/zDcZbL;  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 giu8EjzK  
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