[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 "Mhn?PTq  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 xu%eg]  
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建模任务 D9?.Ru0.  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 (<8}un  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 `48Ql  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 14jN0\  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 _53~D=  
:O$bsw:3w<  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 o. ;Vrc  
•单击go！ V)N{Fr)&  
•获得了3D光线追迹结果。 "H<us?r{  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 nw0#gDI|  
v8j3 K  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 $(Mz@#%  
•单击go！ @NqwJ.%g  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 xLDD;Qm,  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 'A3skznX{  
8/BMFRJ  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Zd-6_,r  
•单击go！ XclTyUGoK+  
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图片:1-1911251A335531.png

% hvK;B?Y|  
IT&,?u%  
场追迹仿真（相机探测器） n2hV}t9O  
1{ %y(?`  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 P <+0sh  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 UNff&E-  

c$%*p (zY  

图片:1-1911251A41O04.png

So'.QWzX  
a4=(z72xe  
场追迹仿真（电磁场探测器） %kjG[C  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Wi'}d6c  
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图片:1-1911251A519A0.png

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&Xqxuy ]J  
场追迹仿真（电磁场探测器） ACdPF_Y]  
PD-&(ka.  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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G~YZ(+V%~  

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