[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 tBEZ4 W>67  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 WBTdQG Q6  
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建模任务 7{=<_  
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概述 I#(D.\P  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 a<+Qw'  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 _%WJ7~>  
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光线追迹仿真 oQJK}9QR  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 f(q
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•单击go！ :nki6Rkowt  
•获得了3D光线追迹结果。 $LUNA.  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 }N;c  
r1:S8RT;H5  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Zf;1U98oC  
•单击go！ ]>h2h?2te  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 `X?l`H;#  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 C:/ca)  
/$zYSP)YT  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 b{H&%Jx)  
•单击go！ k>#,1GbNZy  
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） DmAMr=p  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8EZ"z d`n/  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ^!^8]u<Q  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） Ni IX^&N1  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7SYU^GD  
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图片:1-1911251A519A0.png

+GMM&6<  
6 )eO%M`  
场追迹仿真（电磁场探测器） F;yq/e#Q  

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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |;{^Mci%  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 SFKW"cP  
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