[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 zF;}b3oIo  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 9XT6Gf56  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 zVxiCyU  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 eQcy'GA06  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 PH
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 hrZ~7 0r  
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图片:1-1911251A211D3.png

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F5:*;E;$  
光线追迹仿真 m{pL< g^M  
4E4o=Z|K  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 jV:U%  
•单击go！ xVfJ]Y  
•获得了3D光线追迹结果。 85"DS-+e  
{aGQ[MH\9  

图片:1-1911251A23G14.png

q5lRc=.b[  
5tP0dQYd
 
光线追迹仿真 xw%?R=&L  
rM[Ps=5  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *2MUG h  
•单击go！ \5s!lv*&  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 F__DPEAc_  
s<:"rw`  

图片:1-1911251A311b4.png

DbPw)aCj  
jt3s;U*  
场追迹仿真 SwC
,=S  
En5Bsz!  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 L2{tof  
•单击go！ v bb mmv  
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图片:1-1911251A335531.png

bn<&Xe  
)KXLL;]  
场追迹仿真（相机探测器） >GT0x  
jXZKR(L  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 7dPA>5"XD  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 5uDQ*nJ|  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） ((.PPOdJV  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LYWQqxB  
s4~c>voQB  

图片:1-1911251A519A0.png

l*nSgUg  
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场追迹仿真（电磁场探测器） @Z3b
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Yo7ctwzdH;  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f$2lq4P{  
),
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图片:1-1911251A5594c.png

H[-zQ#I9  
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文件信息 #7Qn\C2  
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图片:1-1911251A6203V.png

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