[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 tQCj)Ms'X  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 `bi k/o=%  
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建模任务 !?Tzk&'  
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概述 I$F\(]"@  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }K+\8em  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .>a$g7Rj  
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光线追迹仿真 gFgcxe6  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hkLw&;WJr  
•单击go！ mURX I'JkX  
•获得了3D光线追迹结果。 Dj/Q1KY$m  
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d!FONi  
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光线追迹仿真 !fif8kf  
o(BYT9|.kw  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 M~#5/eRX  
•单击go！ #NSaY+V  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 8HB?=a2Q<'  
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场追迹仿真 a'c9XG}  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 xXl$Mp7  
•单击go！ &Qz"nCvJ  
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场追迹仿真（相机探测器） `7+tPbjs  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 g=)U_DPRi  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )GQD*b  
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场追迹仿真（电磁场探测器） mv
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v#zfs'  
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Zm?G'06  
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场追迹仿真（电磁场探测器） \v B9fA:*  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m|g$'vjk  
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文件信息 E9 :|8#b  
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