OM分析失效分析

主要用途 `,GFiTPd  
Dh{P23}  
样品外观、形貌检测。 >)+U^V  
%iV\nFal>  
R'K /\   
性能参数 mMhe,8E&  
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a)总放大倍数为50x-1000x； }?{. 'Hv0  
3_VWtGQ  
b)目标Z空间：0-25mm； *=E4|>Ul,  
5hCfi  
c)具有明场、高级暗场（ADF）、偏光（其中检偏器可旋转360°）、微分干涉观察功能和预留功能位置，功能转换方便，增减功能操作简捷； d9 8pv%  
&:+_{nc,  
d)具备记录光口，可安装数码采集、视频输出等多种记录及输出方式 T?
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应用范围 r:^`005  
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主要应用于制备样片的金相显微分析及各种缺陷的查找。