干蚀刻RIE

发布:探针台 2019-07-25 14:34 阅读:1926
RIE是干蚀刻的一种,这种蚀刻的原理是,当在平板电极之间施加10~100MHZ的高频电压(RF,radio frequency)时会产生数百微米厚的离子层(ion sheath),在其中放入试样,离子高速撞击试样而完成化学反应蚀刻,此即为RIE(Reactive Ion Etching)。 d;:+Xd`  
   xO'1|b^&  
服务范围:半导体材料化学等       6Ei>VcN4a  
                                                                               n_)d4d zl  
服务内容:1.用于对使用氟基化学的材料进行各向同性和各向异性蚀刻, 4punJg~1  
其中包括碳、环氧树脂、石墨、铟、钼、氮氧化物、光阻剂、聚酰亚胺、 '2/48j X5  
石英、硅、氧化物、氮化物、钽、氮化钽、氮化钛、钨钛以及钨                 Q6RBZucv  
          2.器件表面图形的刻蚀 j*q]-$2E  
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