微光显微镜 EMMI原理

对于故障分析而言，微光显微镜(Emission Microscope, EMMI)是一种相当有用且效率极高的分析工具。主要侦测IC内部所放出光子。在IC元件中，EHP(Electron Hole Pairs) Recombination会放出光子(Photon)。举例说明：在P-N结加偏压，此时N阱的电子很容易扩散到P阱，而P的空穴也容易扩散至N然后与P端的空穴(或N端的电子)做EHP Recombination S]NT+XM  
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服务内容：1.P-N接面漏电；P-N接面崩溃 |g'ceG-  
          2.饱和区晶体管的热电子 >[;L.  
          3.氧化层漏电流产生的光子激发 7CH.BY  
          4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、 13pu{Xak  
Hot Carriers Effect、ESD等问题 4s@Tn>%SP