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摘自User's Manual 10.3节 1EMud,,: 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 ]7{
e~U AANT [ P ] eakQZ-Q 开头 msVi3`q~ 以 `$9sYv 2R END kQ`p\}7_ 结束 Aw]kQ\P& 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: }tO>&$
Z6f 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 "&/lF[q 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 g`w46X 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 F1t+D)KA> eQwvp`@" 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 3lTnfc& M 34.567 A TH 4 L_tjclk0J A TH 5 DKF`
xuJP 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 CFUn1^?0 GNR 0.5 10 4 P 1 HQNpf1=D 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 F!fsW9 GOALS部分的输入正式地采用如下形式 PQ{5*}$N (((|vI3 < ]_j={0% 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 S0tkqA4 aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 #-o 'g! M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 ~)VI`36X 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 g4y&6!g
l.P;85/+ 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 S!n?b|_ M 55 .1 A TH 6 ,M~> t7+ 为厚度编号6指定目标值55。 <I#M^}` 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 "}Ikx tee LB0 mGa :~x LB1 '
&3,qT LB2 I1#MS4;$^ LB3 l&*=
.Zc7! LB4 !L@<?0xLW ... eL<jA9cJ9 LB9 !b=W>5h FLAG =ym<yI< FP1 'Z]wh .]T FP2 /=T:W*C FP3 UmArl)R/ FP4 NwxDxIIH/) ... F+ 7*SImv6 {VXucGI| FP9 &F:.OVzX FM1 $U7#3-' FM2 p I~;3T:! FM3 ` Z/ MQ FM4 !??g:2 ... Yep~C%/} FM9 /\;m/cwrl" APS E*IP#:R LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 B[q"oI` M 55 .1 A TH LB2 J7qTE8 W= 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 t-5Y,}j o@7U4#E 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令
Bnk' ZOOM nb =6+99<G|%M 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, zWv0y8[d ZGROUP ALL E N CWOj (像差,光线集,等) ->X>h_k.Y END (结束该组) ;4(}e{ 或者 "Zx<hL* L`e19I$ ZGROUP 1 3 5 7 [[w | ... NuOxEyC END 9e c},~( ZGROUP 2 4 6 8 oH!O{pQK} ... + ~5P7dh6 END #0hqfs (其他AANT条目) ?Pa(e)8\ END (结束AANT文件) 6Ol9P56j 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 ! nvg:$.& 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 sei2\l8q ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 jd,i=P% "DA%vdu 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 +iFt) ACON nb 9(nq 4HvI &oq0XV.M^ 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 <9piKtb|L AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 dq`{fqGl AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 H1 7I"5N AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 ]@b9m AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 EFljUT?& ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 vV*J;%MO ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 dS3\P5D.*c ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 P.5l9Ns(O ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 =4co$oD} AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 w/(c}%v}= AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 O,|NOz ADT 监视透镜直径与厚度的比。 =>B"j`oR AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。
oI[rxr ,ofE*Wt 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: ZJQFn AANT 16Jq*hKU AEC Hz."4nhv GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 & |