[分享]VirtualLab：高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

摘要 m 41t(i  
Q.+|xwz  
高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 YD\]{,F|  
P}V=*g
  

图片:1-1Q210141S0B6.png

vfcb:x  
1DE@N1l  
建模任务 3LDsxE=N:q  
XX6 T$pA6  

图片:1-1Q210141Z3L0.png

'7*=`q{  
概观 iEIg
:  

Sw8kIC  

图片:1-1Q21014202H61.png

Ri#H.T<'  
光线追迹仿真 BByCMY  
N8v'70  
•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 WZZ4]
cC  

wvMW|  
•点击Go！ y{d^?(-  
•获得3D光线追迹结果。
RKZ6}q1n  
FB:<zmwR  

图片:1-1Q2101423224L.png

<?h%k"5  
Fl3#D7K  
光线追迹仿真 ZDx@^P y  
QvLZg  
pI;NL [  
•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 "&~ 0T#  
•单击Go！ Bfr
'Zdw  
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 j>Ag\@2ME  
%O%=rUD  

图片:1-1Q210142613B5.png

06*rWu9P3  
K93p"nHN  
场追迹仿真 O7t(,uox3y  
)US:.7A[.  
N^w'Hw0  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 Q;u SWt<{  
•单击Go！ ' GG=Ebt  
wmU0E/{9]  

图片:1-1Q210142A2533.png

7@}$|u:JUF  
|o<8}Nja6  
场追迹结果（摄像机探测器） al&(-#1  
}_ mT l@*  
WO<
/Mw  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 =~KsS}`1,  
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 FG@-bV  
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 ]@^coj[  
m-/j1GZ*  

图片:1-1Q210142Q6438.png

$gpG%Qj  
_-~`03 `!  
场追迹结果（电磁场探测器） <?Wti_ /M  
DI|:p!
Nx  
,TJD$^  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 X"fh@.  
6\jf|:h  

图片:1-1Q210143024c8.png

=*vM
A#e  
文件信息 -fI@])$9J  
76cG90!Z  

图片:1-1Q210143051458.png

clw%B  
e`>{$t  
更多阅览 U-kVNBs  
- Optical System for Inspection of Micro-Structured Wafer 5kNzv~4B,;  
- Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination LPYbHo3fq  
)~6zYJ2  

一系列镜子是怎么加上去的？经验么