摘要
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`>\f 高NA物镜广泛用于
光学光刻,
显微镜等。因此,在聚焦
仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种
镜头进行
光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
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`N~;X~XFk 7W[}7Y 建模任务
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U[ 5 概观
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_|x b)_ 光线追迹仿真
g/b_\__A 4VjP:>*p •首先选择“光线追迹
系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
i6)$pARp D>u1ngu •点击Go!
'IweN •获得3D光线追迹结果。
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k0{5)Su"xr 5-Vdq 光线追迹仿真
Kr!(<i -X ~VXeg p/B&R@% •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
\gRX:i#n •单击Go!
y K~;LV •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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W8Z&J18AU m$xL#omD 场追迹仿真
}vkrWy^ `}ak;^Me 7z'l}*FRD •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
PsTPGK#S •单击Go!
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agzp%m k=2]@K$% 场追迹结果(摄像机探测器)
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