[分享]VirtualLab：高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

摘要 eLh35tw  
D}}?{pe  
高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 \fC;b"j  
{Y-'i;j?  

图片:1-1Q210141S0B6.png

"v wLj:  
DC> R  
建模任务  (t5y$bc  
q Sv!5&u  

图片:1-1Q210141Z3L0.png

JBw2#ry  
概观 ?P|
z,n{  
,#;`f=aqTG  

图片:1-1Q21014202H61.png

,MJddbcg  
光线追迹仿真 E$:2AK{*  
c8  
•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 Z>3~n  
[3S17tTc3  
•点击Go！ euT=]j  
•获得3D光线追迹结果。 p(I^Y{sGI  
9cN@y<_I  

图片:1-1Q2101423224L.png

gU&+^e >  
.Xf_U.h$*@  
光线追迹仿真 a9^})By&  
 Brs}  
$,r%@'=&  
•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 S{2;PaK  
•单击Go！ RWM~7^JA  
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 ?Q=(?yR0]  
X1oR  

图片:1-1Q210142613B5.png

U,yZ.1V^:  

6 mLC{X[  
场追迹仿真 mP15PZ  
# Dgkl  
B[8RBTsA  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 G='`*_$  
•单击Go！ Citumc)E  
G] tT=X[  

图片:1-1Q210142A2533.png

DtGkhq;  
|SMigSu r`  
场追迹结果（摄像机探测器） ZT/
f  
buzpmRoN)  
*1b0IQ$g  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ? B|i  
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 <)O#Y76s  
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 XZ$g~r  
q2*)e/}H  

图片:1-1Q210142Q6438.png

.*YOyK3H  
}>y~P~`S:  
场追迹结果（电磁场探测器） J'=s25OWU  
MMaS  
]CS N7Q+l  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 d@JavcR  
Z9% u,Cb  

图片:1-1Q210143024c8.png

d^IX(y*$  
文件信息 zTG1 0  
3#udzC  

图片:1-1Q210143051458.png

~KGE(o4p  
u|ih
UE!h  
更多阅览 h;} fdk  
- Optical System for Inspection of Micro-Structured Wafer =r`E%P:  
- Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination A9DF
ZZ0  
si]MQ\i+  

一系列镜子是怎么加上去的？经验么