[分享]VirtualLab：高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

摘要 [
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高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 "1ov<  
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图片:1-1Q210141S0B6.png

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建模任务 QR h %S{  
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图片:1-1Q210141Z3L0.png

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概观 TQ25"bWi  
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图片:1-1Q21014202H61.png

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光线追迹仿真 1|oE3  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 +=#@1k~  
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•点击Go！ $(&+NJ$U$  
•获得3D光线追迹结果。 H<ZXe!q(nx  
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图片:1-1Q2101423224L.png

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光线追迹仿真 -\V;Gw8mD  
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•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 M nDaag  
•单击Go！ YL9Tsw  
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 A4f;ftB  
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图片:1-1Q210142613B5.png

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场追迹仿真 Q6=>*}Cm6m  
Zr$D\(hX  
F7U$7(I2G  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 :[bpMP<bz;  
•单击Go！ (zIF2qY  
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图片:1-1Q210142A2533.png

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场追迹结果（摄像机探测器） R6qC0@*  
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)C%S`d<%,  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 \\$wg   
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 @S?D}myD  
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 Z]=9=S| .4  
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图片:1-1Q210142Q6438.png

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场追迹结果（电磁场探测器） a'B 5m]%  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 7` IO mTk  
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图片:1-1Q210143024c8.png

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文件信息 x}H%NzR  
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图片:1-1Q210143051458.png

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更多阅览 8 qwOZ d  
- Optical System for Inspection of Micro-Structured Wafer :1e'22[=.  
- Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination X.JPM{]
  
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一系列镜子是怎么加上去的？经验么