[分享]VirtualLab：高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

摘要 qjQR0MC  
@j
*K|+X"  
高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 5+*MqO>  
;i*<HNQ  

图片:1-1Q210141S0B6.png

h/E+r:2]  
J jRz<T;  
建模任务 `yYoVu*  
e
 P]L  

图片:1-1Q210141Z3L0.png

6-8,qk  
概观 c++GnQc.  
%5#ts/f  

图片:1-1Q21014202H61.png

\$GM4:R D  
光线追迹仿真 bBwQ1,c$  
[=k$Q (.3  
•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 }71a3EUK  
a*?bnw?  
•点击Go！ ] TY$  
•获得3D光线追迹结果。 w<=?%+n  
m)l<2`CM  

图片:1-1Q2101423224L.png

LpCJfQ  
{nvF>  
光线追迹仿真 'sb
&xj`d  
@r7ekyO8)  
.SZZT0Z  
•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 Jbv66)0M  
•单击Go！
&QHZ]2%U  
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 g{|F<2rd[m  
*AK{GfP_  

图片:1-1Q210142613B5.png

^n Gj 7b  
8@b,>l$  
场追迹仿真 @JB9qT  
S7i,oP7  
F|mppY'<J  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 /e|vz^#+1,  
•单击Go！ N_jpCCG~  
P){b"`f  

图片:1-1Q210142A2533.png

\!`k:lusa  
1eod;^AP9  
场追迹结果（摄像机探测器） *CtWDUxSdW  
i'bviD  
py\KY R  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 tqok.h  
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 >|j8j:S[  
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 a-[:RJW  
;og[q  

图片:1-1Q210142Q6438.png

3m;*gOLk6  
3[_zz;Y*d  
场追迹结果（电磁场探测器） Hs9; &C  
|
|p>O  
M
SQz,nn  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 YCBp]xuE  
q>X
30g  

图片:1-1Q210143024c8.png

#_(t46  
文件信息 vZ6_/ew8  
Z [[AmxE'l  

图片:1-1Q210143051458.png

$3yzB9\a"  
,F;<Y9]  
更多阅览 (~k{aO  
- Optical System for Inspection of Micro-Structured Wafer c]Z@L~WW  
- Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination @#u'z~a)  
s?Wkh`b  

一系列镜子是怎么加上去的？经验么