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    [分享]VirtualLab:高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    离线xunjigd
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-12-10
    关键词: 物镜
    摘要 =E?kxf[X  
    o6L\39v_  
    高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 X}x"+ #\<@  
    W u?A} fH  
    =Ji+GJ <,9  
    s?r:McF`  
    建模任务 K@yLcgr{O2  
    h$ ]=z\=  
    i[,9hp  
    概观 jFS])",\i  
    ,=!_7'm  
    Uj]Tdg  
    光线追迹仿真 2ZUI~:U Z  
    rD ^ b{]E3  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 V?pqKQL0  
    zY_?$9l0  
    •点击Go! 5,Rxc=  
    •获得3D光线追迹结果。 |qe[`x; %  
    39Nz>Nu:  
    !' ;1;k);  
    W&MZ5t,k=  
    光线追迹仿真 k2]fUP  
    Jc8^m0_  
    b2rlj6d  
    •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 n[|*[II  
    •单击Go! C1/qiSHsh  
    •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 &|6 A 8,  
    oW[];r  
    ( x)}k&B;  
    aL?+# j^"  
    场追迹仿真 R9 +0ZoS  
    _-MILkx\  
    0Ncx':]5  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 3:H[S_q  
    •单击Go! v*Dz4K#  
    ohLM9mc9  
    st4WjX_Q  
    +)J;4B  
    场追迹结果(摄像机探测器) z8VcV*6  
    <I 5F@pe'  
    ORCG(N  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 $%:=;1Jl  
    •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 ab-z 7g  
    Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 Qk5pRoL_  
    ;*J_V/&?  
    }Mv$Up  
    |XGj97#M  
    场追迹结果(电磁场探测器) @XJzM]*w&  
    =\ek;d0Tqb  
    '?gF9:  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 ,`Yx(4!rR  
    OTy{:ID  
    UR{OrNg*  
    文件信息 _n~[wb5J  
    *#y9P ve  
    \3bT0^7B  
    #TUuk  
    更多阅览 ByU&fx2Z  
    - Optical System for Inspection of Micro-Structured Wafer 6P$jMjs  
    - Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination c'!+]'Lr  
    O-3R#sZ0  
    (来源:讯技光电
     
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    离线songshaoman
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-01-23
    一系列镜子是怎么加上去的?经验么