[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 9D
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71FeDpe  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 \a"Ct
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Zr$d20M2A;  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ UbJ*'eoX  
Ue5O9;y]u  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 m:tiY [c>W  
l2v_?j-)x  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) jdRq6U^  
鍍5Q膜厚 dFW=9ru+MQ  
先以macleod求出基板N與K Ry;$^.7%  
再求出藥材N與K q1Qje%9@t  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? ziL^M"~2  
<)#kq1b?  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? ym%slg  
Lyoor1   
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到  WR.x&m
>  
qc8Ta"  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ \2DE==M)P  
ijZ>:B2:  
再來 `.BR=['O  
\KM|f9-b  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? =Sxol>?t  
&TT":FPR  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 }=@zj6AC  
i^|@"+  
說到這邊其實還是要確定你的手法 X , ZeD  
tHI*,  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? Vewzo1G2  
j7/(sf  
你可能連基板都不對咧!! U</+.$b  
kL7^$  
去確認一下吧! 有問題再提出