[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 M1P;x._n  
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怎么才可以获取正确的材料N值和K值 s3ASA.*  
W)Y-^i5  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ &
VU^d3gv~  
zuMz6#aCC8  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 5![ILa_  
]c_lNHssmq  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量)  .;vd  
鍍5Q膜厚 G'HLnx}Yi  
先以macleod求出基板N與K 02^\np  
再求出藥材N與K `yhc,5M  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? /hyCR___  
aUBu"P$J  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? %Z
lnGr  
0g@*N4  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 lo>:S1  
y+VRD  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ @qsOWx`l$  
& *&  
再來 _..5G7%#%  
`,wX&@sN  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? l)0yv2[h  
{O[ !*+O  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 Qnp.Na[JV  
ui^v.YCMI  
說到這邊其實還是要確定你的手法 iB'g7&,L  
jRdW=/q+(  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? "w{,ndZ  
yj`xOncE}  
你可能連基板都不對咧!! DZ
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去確認一下吧! 有問題再提出