[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 =nxKttmU0  
6`e@$(dfA  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 jj&s}_75  
!-tz4vjw  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ <[Oo*:A!7  
u?
0d[mC  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 80hme+e  
<@#PF$!  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) )"u:ytK{  
鍍5Q膜厚 ME+em
1ZH  
先以macleod求出基板N與K R@`rT*lJ  
再求出藥材N與K Xr_pgW|  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? c@OP5L>{  
Pj!%ym3A  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? O),
I[kb  
UR:n5V4  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 L@A9{,9Pl  
z,+m[x=/N  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ >\bPZf)tJ)  
x# 8IZ  
再來 8=4^Lm  
;=p;v .l  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? uUS)#qM|  
</ZHa:=7  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 1t2cY;vJ  
RV92qn B  
說到這邊其實還是要確定你的手法 FsY`nWwg  
b|wWHNEdb,  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? gKQ@!UU8  
cx:jUsb6  
你可能連基板都不對咧!! zJ_My&~  
l $Zs~@N  
去確認一下吧! 有問題再提出