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材料N值和K值
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oprs999
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发表于: 2018-02-23
求各位大神指点迷津
u_$6LEp-
|J@|
怎么才可以获取正确的材料N值和K值
^2P;CAjj-
%@)U/G6s}
我现在的方法是镀一个5k的膜,然后先测裸片监控片的反射率,再测
镀膜
后的监控片反射率,导入到MAC里去算N和K,但是把
材料
回推回去看
光谱
还是和实测的光谱不一样,这里面的原因是啥?
}d$vcEI$3
Zm?G'06
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。
uBV^nUjS"m
9QO!vx
前题是我是用晶控去控制,不是光控。
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洋洋0109
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1楼
发表于: 2018-05-11
我夜想知道!
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huangweipeng
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2楼
发表于: 2018-05-16
同求!!!!!
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ruby6843
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3楼
发表于: 2018-05-27
我是用穿透量測(吸收考量)
B_6v'=7]
鍍5Q膜厚
9X*eE
先以macleod求出基板N與K
'+GVozc6c"
再求出藥材N與K
/(z0I.yE
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js2700
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4楼
发表于: 2018-06-14
同求TFC计算 Tooling值的方法
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knight627
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5楼
发表于: 2018-08-06
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
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johnyu
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6楼
发表于: 2018-08-13
5k?unit是什麼?5000nm?
@_weMz8}
-QNMB4
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少?
z$im4'\c
VRN9 yn2
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到
Wx\"wlJ7.3
E0?\DvA
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ
h ?qY y$
9j>sRE1
再來
NbK?Dg8WJG
m^s2kB4A[
你的材料是什麼?介電質材料?金屬?
V{^fH6;[
$vicHuX!
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的
=)UiI3xHk
!A<XqzV]
說到這邊其實還是要確定你的手法
Q24:G
D8Waf
例如:你基板是套入你量的穿透嗎?
{&j{V-}f
g!|E!\p
你可能連基板都不對咧!!
fkUH]CdaB
~v,KI["o
去確認一下吧! 有問題再提出
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