[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 P-<1vfThH  
qOIVuzi*  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 ,U)&ny  
3Yo)K  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ O3mw5<%15  
gAVD-]`  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 +o):grWvQ  
jFip-=T{4  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) qVI0?B x  
鍍5Q膜厚 rV4K@)~  
先以macleod求出基板N與K l5~O}`gfh  
再求出藥材N與K }}ic{931  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? >`SeX:  
AO]cnhC  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? -W<
1BJE  
%=Z/Frd  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 DcdEt=\)h  
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V0fkQ.|  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ 3+s$K(%I  
D>@NYqMF  
再來 1JfZstT  
**kix  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? vNrn]v=|}7  
i}P{{kMJ  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 %Nvw`H  
`]XI Q\ *  
說到這邊其實還是要確定你的手法 X<Z(,B  
fByf~iv,  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? XD|g G  
|:JT+a1  
你可能連基板都不對咧!! uC#@qpzy  
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OBY  
去確認一下吧! 有問題再提出