[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 qfO=_z ES  
:QndeUw  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 NhI&
wl  
LDj'L~H  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ "Ih>>|r  
K+0&~XU  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 $[L8UUHY<8  
hmA$gR_  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) {U$qxC]M  
鍍5Q膜厚 hjuzVOE|W  
先以macleod求出基板N與K s m42  
再求出藥材N與K _eB?G  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? )I80Nq  
}*!7 Vrep  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? +ahr-v^R<  
7wt2|$Qz  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 \V@Hf"=j  
R
P]hW{:U  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ JPS7L}Kv  
\`w!v,aM$  
再來 c#qOK  
stnyJ9  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? -.A8kJ  
=*q|568  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 ;H#'9p,2  
=e7,d$i  
說到這邊其實還是要確定你的手法 ICNS+KsI  
^}XKhn.S'  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? 8ALvP}H  
)z0qKb\  
你可能連基板都不對咧!! myTz  
W)"PYC4  
去確認一下吧! 有問題再提出