[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 P8;f^3V(+/  
8A|i$#.&  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 eE[/#5tK  
!d=Q@oy5  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ nwAx47>{  
!Mk:rO-L  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 U-GV^j  
6882:,q  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) _[W`!#"  
鍍5Q膜厚 WtTwY8HC  
先以macleod求出基板N與K zorTZ #5  
再求出藥材N與K E0*'AZi&  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? WJU` g  
t{>66jm\R  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? ~]/X,Cf  
N)h>Ie  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 XI\aZ\v  
7Yxy2[  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ G6eC.vU]j  
}FMl4 _}u  
再來 vd /_`l.D  
('uYA&9  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? ]+':=&+:  
&bj :,$@  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 $_Qo  
`z)!!y  
說到這邊其實還是要確定你的手法 2>O2#53ls0  
=,[46 ;q  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? GKY:"q&h  
Whd4-pR8  
你可能連基板都不對咧!! '{cN~A2b4  
<'~8mV1  
去確認一下吧! 有問題再提出