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    [讨论]材料N值和K值 [复制链接]

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    离线oprs999
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-02-23
    求各位大神指点迷津 9qqEr~  
    Box,N5AA  
    怎么才可以获取正确的材料N值和K值 =#+Z KD  
    b]Z@zS<8  
    我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ q_oYI3  
    y*7ht{B  
    我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 Y[x ^59  
    |]m&LC  
    前题是我是用晶控去控制，不是光控。
     
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    离线洋洋0109
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-05-11
    我夜想知道！
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    离线huangweipeng
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-05-16
    同求！！！！！
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    离线ruby6843
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-05-27
    我是用穿透量測(吸收考量) JdV!m`XpXy  
    鍍5Q膜厚 N.isvDk%  
    先以macleod求出基板N與K tSO F7N/<  
    再求出藥材N與K 3~ZtAgih%  
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    离线js2700
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-06-14
    同求TFC计算  Tooling值的方法  
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    离线knight627
    技术员
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-08-06
    这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
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    离线johnyu
    技术员
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-08-13
    5k?unit是什麼?5000nm? _@@S,(MA  
    #Y{"`5>  
    你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? JEP"2MN,  
    > PYe"  
    你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 !~mN"+u&  
    Lc.7:r  
    另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ K]7@%cS  
    J,q:  
    再來 fx}R7GN2  
    _>aesp%  
    你的材料是什麼?介電質材料?金屬? JN8k x;@  
    zcNV<tx  
    有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 \J13rL{<  
    AG9U2x  
    說到這邊其實還是要確定你的手法 %r>vZ/>a  
    .Ftml'!  
    例如:你基板是套入你量的穿透嗎? N7M^  
    >kB?C!\  
    你可能連基板都不對咧!! T&S< 0  
    R4v=i)A~Z  
    去確認一下吧! 有問題再提出
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