[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 +R8d
y  
6>'>BamX  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 x|Ms2.!  
k~QmDq  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ ZpwFC7LW  
G2=dq  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 ,OkI0[  
#=F{G4d)!=  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) }e>OmfxDBt  
鍍5Q膜厚 zRm@ |IT  
先以macleod求出基板N與K i\ )$  
再求出藥材N與K fDChq[LAn  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? cXt]55"  
}t1J`+x%  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? 9i!
|wkx  
@KU^B_{i  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 &C6*"JZ4  
a=*JyZ.2  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ gV-A+;u  
{fn1sGA  
再來 C=DC g  
mzn#4;m$  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? dMa6hI{k  
]KQBek#DD  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 ,veI'WHMB  
P A$jR fQ  
說到這邊其實還是要確定你的手法 #!w7E,UBi  
W<Asr@  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? o#V{mm,{Pm  
B\qu
XE)  
你可能連基板都不對咧!! j$r2=~1  
3:3>k8  
去確認一下吧! 有問題再提出