[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 aFr!PQp4{  
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怎么才可以获取正确的材料N值和K值 uH ny ]  
I`"-$99|t1  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ =|gJb|?w  
Q@e*$<3  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 *qO]v9 j  
VM!-I8t  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) uQ
:ut(  
鍍5Q膜厚 pAJ=f}",]E  
先以macleod求出基板N與K iO%Zd[  
再求出藥材N與K kZU"Xn  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? MS{Hz,I,  
W:`5nj]H9  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? eZynF<i  
ge^!F>whr  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 tW:W&|q  
5+y@ ]5&g  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ Q8 -3RgAw  
D8k*0ei&  
再來 Vn)%C_-]A  
V)2"l"Kt  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? >oe4mW  
5XzrS-I+X@  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 !IO&&\5  
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說到這邊其實還是要確定你的手法 ;rNd701p"  
j'k8^*M6  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? /pO{2[  
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你可能連基板都不對咧!! NV:>a  
HvAE,0N  
去確認一下吧! 有問題再提出