[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 %at
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2!  
L1m{]>{-  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 AC%JC+  
77 r(*.O|  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ R3.*dqo$  
5r,r%{@K  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 vXj<  
T<b+s#n4  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) 6.1)IQkO  
鍍5Q膜厚 po9 9 y-  
先以macleod求出基板N與K PCrU<J 7  
再求出藥材N與K FCj{AD  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? X6+qpp  
=VLS/\A  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? n(nBRCG)o  
dx*qb  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 )
py{\r9X  
%%ae^*[!n  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ "&Dx=Yf  
V==z"  
再來 5BkV aF7Th  
mV^Zy  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? OX:O^ (-r,  
\qvaE+  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 nnb8Gcr  
2g9G{~,@g  
說到這邊其實還是要確定你的手法 q}BzyC=:n  
3=Ec"  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? dUznxZB  
"P@>M)-9Z  
你可能連基板都不對咧!! &M/0g]4p  
Q zZ;Ob]'  
去確認一下吧! 有問題再提出