[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 Zng` oFD  
:aq>  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 !""!sFx)R  
'}+X,Usm  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ [k~+(.2I  
c =N]! ,MO  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 !@Sf>DM"  
DV[ Jbl:)  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) 5xMA~I0c  
鍍5Q膜厚 AU\xNF3  
先以macleod求出基板N與K w%8ooQ|C  
再求出藥材N與K <t[Z9s$n  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? C2+{U  
0Y5LDP  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? d9
8))G~W  
yxaT7Oqh%  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 ZR!cQ oV=  
Ne &Xf  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ
l5FuMk-  
94~"U5oQ:  
再來 Zz"I.$$[M  

l;XU#6{  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? zyaW3th  
Zg)_cRR   
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的
[kPD`be2#  
FjD,8^SQW  
說到這邊其實還是要確定你的手法 FX%t  
;Ay>+M2O  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? %*$5!;  
zWy ,Om8P  
你可能連基板都不對咧!! ,9=gVW{  
6N9 c<JC  
去確認一下吧! 有問題再提出