[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 *%L:soM'Ll  
'rJkxU{  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 "nXL7N0  
`}gjfu -'\  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ 'qS&7 W(  
>HatbbA  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 -QL_a8NL  
DfP4 `  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) Zq7Y('=`t@  
鍍5Q膜厚 ehB (?  
先以macleod求出基板N與K [%'yHb~<  
再求出藥材N與K hw/:  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? x_Y03__/  
Sep/N"7~t  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? d)hA'k  
X0a)6HZ{  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 IZ?+c@t  
*?Hc8y-dG,  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ r"HQ>Wn  
WBc,/lgZ  
再來 hb@,fgo!Q  
f_\,H|zco)  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? p1}umDb%  
n{'LF #4l  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 ,j3Yvn W  
LC8&},iu  
說到這邊其實還是要確定你的手法 P_e9>t@  
T,G38  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? k5M3g*  
!q]@/<=  
你可能連基板都不對咧!! R3 Zg,YM  
4v[Zhf4JM  
去確認一下吧! 有問題再提出