[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 @cq`:_.[  
D\~e&0*  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 *RR[H6B^]X  
GOSI3RRn  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ 8yWoPm<A  
dp5f7>]:(  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。  %5  
J.RAmU<  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) RP(/x+V  
鍍5Q膜厚 nDlO5 pe"d  
先以macleod求出基板N與K b0a}ME&1  
再求出藥材N與K ?z"KnR+?Q  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? m.V,I}J.q  
m4gU*?  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? EDN(eh(_  
e d;"bb  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 M7VID6J.  
oP]L5S&A  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ uu>lDvR*  
|mj# 0  
再來 :^G%57NX  

~JE|f 7  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? B~_Spp  
CT}' ")Bm  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 l^,qO3ES  
{NeWdC  
說到這邊其實還是要確定你的手法 a`38db(z  
g9qC{xd  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? 8ath45G@  
.&chdVcxyS  
你可能連基板都不對咧!! 9-G b"hr  
S'?fJ.  
去確認一下吧! 有問題再提出