[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 ^:]$m;v]  
L-!1ybB^  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 {eV8h}KIl  
.z.4E:Iq  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ C!a1.&HHZ7  
i5t6$|u:&m  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 S.)Jp-&K  
94?WL  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

5k?unit是什麼?5000nm? ba);f[>  
^,acU\}VqP  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? ~0a5  
<4"-tYa  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 e~9O#rQI  
 b.&WW  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ GWnIy6TH l  
b}3"v(  
再來 Z[oEW>_A  
TZAd{EZa  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? ^Tm`motzh  
$'498%K2  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 X#lNS+&='  
/|1p7{km  
說到這邊其實還是要確定你的手法 :oP LluW*  
DK)W ,z|  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? h_vT
A  
MC}t8L=  
你可能連基板都不對咧!! ?m |}}a  
LH8jT  
去確認一下吧! 有問題再提出

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

同求TFC计算  Tooling值的方法  

我是用穿透量測(吸收考量) };/QK*  
鍍5Q膜厚 zM9#1^X  
先以macleod求出基板N與K 06&J!,p :  
再求出藥材N與K ) 7/Cg  

同求！！！！！

我夜想知道！