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    [讨论]材料N值和K值 [复制链接]

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    离线oprs999
    实习生
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2018-02-23
    求各位大神指点迷津 6a<zZO`Z6+  
    >?#zPweA  
    怎么才可以获取正确的材料N值和K值 ~uV(/?o%  
    \8g= Ix  
    我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ Ldj*{t `5  
    M!D6i5k,   
    我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 ;XQ27,K&  
    8 C9ny}  
    前题是我是用晶控去控制，不是光控。
     
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    离线johnyu
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-08-13
    5k?unit是什麼?5000nm? &po!X )  
    ];jp)P2o  
    你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? a6Joa&`dv  
    vt n T   
    你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 o@7U4#E  
     Bnk '  
    另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ 0qIg:+l+  
    d WY{x47  
    再來 L^zh|MEyzk  
    @SyL1yFX  
    你的材料是什麼?介電質材料?金屬? +KD7Di91<K  
    CUHT5J*sY  
    有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 "vT$?IoEV  
    :`E p#[Wvo  
    說到這邊其實還是要確定你的手法 aj,o<J  
    !A1~{G2VL_  
    例如:你基板是套入你量的穿透嗎? Vh>cV  
    IibYGF  
    你可能連基板都不對咧!! + ~5P7dh6  
    ?3 k_YN"  
    去確認一下吧! 有問題再提出
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    离线knight627
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-08-06
    这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
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    离线js2700
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-06-14
    同求TFC计算  Tooling值的方法  
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    离线ruby6843
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-05-27
    我是用穿透量測(吸收考量) LiV&47e*>  
    鍍5Q膜厚 ZQ+DAX*MS  
    先以macleod求出基板N與K Um 6}h@>  
    再求出藥材N與K 'QxJU$  
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    离线huangweipeng
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-05-16
    同求！！！！！
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    离线洋洋0109
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-05-11
    我夜想知道！
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