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    [讨论]材料N值和K值 [复制链接]

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    离线oprs999
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-02-23
    求各位大神指点迷津 }!0,(<EsV  
    $^IuE0.  
    怎么才可以获取正确的材料N值和K值 `PSr64h:D  
    +6*oO|   
    我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ E?y0UD[8J  
    *`ehI_v :  
    我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 TcZ Ci^1F  
    .Y_RI&B!L  
    前题是我是用晶控去控制，不是光控。
     
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    离线洋洋0109
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-05-11
    我夜想知道！
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    离线huangweipeng
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-05-16
    同求！！！！！
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    离线ruby6843
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-05-27
    我是用穿透量測(吸收考量) `U2PlCf |  
    鍍5Q膜厚 Ip8 Ap$  
    先以macleod求出基板N與K kt[#@M!}  
    再求出藥材N與K F!pUfF,&  
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    离线js2700
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-06-14
    同求TFC计算  Tooling值的方法  
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    离线knight627
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-08-06
    这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
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    离线johnyu
    技术员
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-08-13
    5k?unit是什麼?5000nm? #7Qn\C2  
    4RTEXoXs  
    你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? ).v;~yE   
    xFg=Tyq:  
    你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 9oc[}k-M  
    Bct>EWQ  
    另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ  U,Z(h  
    SvI  
    再來 ^gb2=gWZ<  
    ;y HA.}  
    你的材料是什麼?介電質材料?金屬? 7F+f6(hB  
    I9Z8]Q+2"  
    有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 `uzRHbJ`  
    ]j1BEO!Bg  
    說到這邊其實還是要確定你的手法 >St  
    [;|g2\  
    例如:你基板是套入你量的穿透嗎? N.&)22<m9  
    DCw ldkdJN  
    你可能連基板都不對咧!! Q8\Ks|u]  
    \9ap$  
    去確認一下吧! 有問題再提出
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