[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 3EI$tP@4  
]Yp;8#:1  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 H8mmmt6g  
z$QYl*F1  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ 54-s
b~]  
@@# ^G8+l  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 eXc`"T,C.  
("}
TW-r~  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) %c<e`P;  
鍍5Q膜厚 D|9xD  
先以macleod求出基板N與K p9 <XaJ}  
再求出藥材N與K Sb+^~M  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? ;}1O\nngR  
7IkNS  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? ~+|Vzm|S}  
'tvX.aX2  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 D=1:-aLP7  
>n$V1U&/  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ a;bmZh  
4FQB%3>*  
再來 qQjd@J}^  
nl<TM96  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? ;$,b w5  
[GQn1ZLc  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 7}#zF]vHNi  
j/
[V<  
說到這邊其實還是要確定你的手法 ^E~F,]dV=  
|ht:_l 8  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? AS4mJ UU9  
{z#!3a  
你可能連基板都不對咧!! tVQq,_9C  
59Lc-JJ  
去確認一下吧! 有問題再提出