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    [讨论]材料N值和K值 [复制链接]

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    离线oprs999
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-02-23
    求各位大神指点迷津 }i,LP1R  
    17IT:T,'  
    怎么才可以获取正确的材料N值和K值 h# R;'9*V  
    4rkj$  
    我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ JAPiR=  
    0'&N?rS  
    我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 n:QFwwQ`Q;  
    ]6JI((  
    前题是我是用晶控去控制，不是光控。
     
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    离线洋洋0109
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-05-11
    我夜想知道！
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    离线huangweipeng
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-05-16
    同求！！！！！
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    离线ruby6843
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-05-27
    我是用穿透量測(吸收考量) wO\,?SI4  
    鍍5Q膜厚 t?bc$,S"\(  
    先以macleod求出基板N與K ^uG^XY&ItC  
    再求出藥材N與K >|Xy'ZR  
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    离线js2700
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-06-14
    同求TFC计算  Tooling值的方法  
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    离线knight627
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-08-06
    这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
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    离线johnyu
    技术员
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-08-13
    5k?unit是什麼?5000nm? *{/L7])gm  
    .bwKG`F  
    你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? k{{iF  
    Ng;K-WB\  
    你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 Stq [[S5P  
    !;[cm|<E  
    另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ DA0{s  
    !a(#G7zA  
    再來 IV#kF}9$  
    z3 zN^ZT  
    你的材料是什麼?介電質材料?金屬? R^nkcLFb/q  
    8ec6J*b  
    有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 oH[4<K>  
    xlJ8n+  
    說到這邊其實還是要確定你的手法 "CS {fyJ  
    l7g< $3  
    例如:你基板是套入你量的穿透嗎? :tc]@0+  
    f]P&>j|  
    你可能連基板都不對咧!! ?O]iX;2vM  
    {95z\UE}  
    去確認一下吧! 有問題再提出
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