[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 ^<2p~h0 \  
aqk!T%fg  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 kt:! 7  
#@Jq~$N|  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ s2'h  
}o`76rDN  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 &Z%?!.4j@  
h2d(?vOT  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) sRb9`u=)  
鍍5Q膜厚 c7H^$_^=  
先以macleod求出基板N與K U]rRQ d/:;  
再求出藥材N與K `Urhy#LC  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? }6ldjCT/,  
NHE18_v5  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? G#$-1"!`  
ia? c0xL  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 Iga024KR  
vih9KBT  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ 4^d?D!j  
y1#1Ne_  
再來 B<C&xDRZ0  
,]D,P  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? 19] E 5'AI  
}-2|XD%]  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 s#GLJl\E_P  
l+b~KU7~l  
說到這邊其實還是要確定你的手法 {4PwLCy  
r
mOj  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? 1 -b_~DF  
`GLx#=Q  
你可能連基板都不對咧!! eJX#@`K  

t#yuOUg  
去確認一下吧! 有問題再提出