[讨论]材料N值和K值 [复制链接]

求各位大神指点迷津 [j=,g-EOA  
,XeyE;||  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 9b"9m*gC  
4#@W;'  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ %su}Ru  
C?[a3rNH(  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 ?y>Y$-v/C  
+-H}s`  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。

我夜想知道！

同求！！！！！

我是用穿透量測(吸收考量) _ yfdj[Ot`  
鍍5Q膜厚 7$!`p,@we/  
先以macleod求出基板N與K Ni2]6U  
再求出藥材N與K gd337jw  

同求TFC计算  Tooling值的方法  

这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

5k?unit是什麼?5000nm? t,RyeS/  
q1H=/[a  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? xN6>2e  
zQ,f5x  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 fD'/#sA#'  
:`D'jF^S  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ brb[})}  
cL
#-*_(  
再來 x_yF|]aI
!  
Ig<}dM.Z[  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? d!o.ASL{  
sp|q((z{  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 &]w#z=5SXi  
1Yud~[c  
說到這邊其實還是要確定你的手法 &GuF\wJ{7  
VSh!4z1  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? Y+FP  
't7Z] G  
你可能連基板都不對咧!! b7bSTFZxC  
~]&B>q  
去確認一下吧! 有問題再提出