5k?unit是什麼?5000nm? n3AaZp[
P3$Q&^?
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? _XCOSomL`
T,aW8|
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 =[b)1FUp
]vwW]O7
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ n]E?3UGD@W
,]bB9tid
再來 zR2B-
&]H
]a5 f2lE
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? C74a(Bk}H
o2<#s)GpY
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 jv&*uYm
M#(+c_(r
說到這邊其實還是要確定你的手法 ;4Y%PVz~D
Z&;uh_EC
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? 6I@h9uIsze
;L']e"G
你可能連基板都不對咧!! uj :%#u
?@E!u|]K
去確認一下吧! 有問題再提出