设计了一种狭缝柔性结构的光学元件调节机构，使光学元件在具备较高调节精度的同时，保持较高的导向精度。采用弹性力学应力函数法分析了狭缝柔性结构的刚度，以径向刚度与轴向刚度的比值为目标函数，对狭缝柔性结构尺寸参数进行了优化，在不超过柔性结构材料屈服应力等约束条件下，刚度比最优值达到1 573.6，较大的刚度比值可以减小调节机构的耦合位移，从而提高机构的导向精度。该结构加工装配方便，可实现三自由度（θx-θy-Z）调节。对优化后的柔性结构进行仿真分析，结果表明：径向刚度与轴向刚度比值的仿真值为1 660.4，解析值与仿真值误差为5.23%，证明了刚度分析方法的有效性。优化后的结构，轴向调节行程为2.09 mm，绕x轴偏转角度调节行程为±16.6 mrad，绕y轴偏转角度调节行程可达到±14.4 mrad，满足光学元件调节的大行程要求。
