[讨论]關於 EB 製程(不使用IAD) [复制链接]

各位前輩 先進 大家好 >nDnb4 'C  
關於EB製程(不使用IAD)部分 J

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在高溫(280度)不使用IAD的情控下，麻點該如何避免產生 srLr~^$j[  
可以控制的參數很少 g8"7wf`0k  
頂多就 真空、鍍率、氣體 除此之外還有甚麼改善的部分嗎???

麻点有很多因素。 i_Z5SMZ  
改善抽气和放气（延长缓粗抽和缓放弃的时间），可以减少气流带到镜片的粉尘数量。 ] <3?=$  
改善预熔药的溶药制程（甚至溶药后再放置镜片），可以减少粉尘源。 _%vqBr*  
电子枪如果有二次电子（电子枪轰击药物后反射的电子）抑制器，可以减少镜片的静电，减少粉尘沾染。 3{:<z4>{  
另外，腔室的清洁很重要，如果每次都换铝膜，那也能改善很多。

主要还是查看一下膜料吧！另外就是腔体里出现掉膜的部位需要及时清理，还要防止膜料的互相影响。