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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是:
8 $*cfOC 定义单向弯曲器件的材料 ^eT>R,aB 定义系统设置 7-0twq
创建弧形波导 6'lT`E| 插入输入平面 ba:du
|Ec 选择输出数据文件 LYo7?rp 运行仿真 F v^80M=z 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 5r}(|86O/ V?=zuB?' 1. 定义单向弯曲器件的材料 nhaoh!8A6 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 s/'h LkxI 步骤 操作 aRb:.\ \zc 1) 从文件菜单中,选择新建。 )(
jNd&H 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 {*P7) \YF!< 2|[ 图1.初始属性对话框 x?&xz; 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 WiCM,wDi 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 ]R.Vq\A%S 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 'C4Ll2 #3ro?w 图2.轮廓文件设计器 @^jLYu|W 3) 创建以下介电材料: ?fX8WRdh 名称:包层(Cladding) !(AFT! 折射率(Re :):1.442 qk{UO
< -`1L[-<d=/ 4) 要保存资料,请单击“存储”。 G6ES] TVh7h`Eg 5) 创建第二种介电材料: ;,hoX6D$ 0'2{[xF 名称:波导层(Guide) e:D9;`C 折射率(Re :):1.45 *bC^X' yXQ;LQ; 6) 要保存资料,请单击“存储”。 _BA_lkN+D ^i k|l= 7) 创建以下通道: Uwil*Jh 轮廓名称:通道1 !oRm.cO 2D轮廓定义材料:波导(Guide) v-aq".XQ 8) 要保存通道,请单击“存储”。 a^1c _ 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 7I3CPc$ 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI ?{Z0g+B1 1:Gd{z 2. 定义系统设置 P9chRy 要定义系统设置,请执行以下步骤。 ="eum7 步骤 操作 L#N.pd
1 点击默认波导标签 &_^<B7aC'k 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 I,uu>- 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 ;|%JvptwW% 4 键入以下值: eBKIdR%k 长度:800 *N+aZV}`Z 宽度:50 S.4YC>E 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 W5uI(rS<6 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 Hmd:>_[f 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 V1U[p3J-S 出现布局窗口(参见图3)。 NX", e= 1g.9R@Kc$ 图3.布局窗口 pU'sADC 3. 创建弧形波导 + # >%bq x 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 ^*W<$A_ 步骤 操作 T#f@8 -XUE 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 PTZ1oD 光标变成十字线。 *[YN| 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 K9Fnb6J$u @zq{#7%z 图4.绘制一个弧形波导 ml2z 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 *s4!;2ZhsU 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 Br!&Y9 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 }w8AnaC 出现弧形波导属性对话框(参见图5) jYZWf `X~ 7y7y<`)I5 图5.弧形波导属性对话框 jU~%5R 5) 点击起始标签 :.Sc[UI0 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): FI5C&d5d 水平:0 DNe^_v)]| 垂直:-10 @>j \~<% C^tC} n1D( 图6.初始偏移值 #OTsD+2Za= 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 h)`vc#"65k 激活表达式框(参见图7)。 #4u; `j"4= *p!dd?8 图7.波导半径 \ChcJth@o< 8) 键入以下值: TZ2f-KI 表达式:4000 N9<eU!4> 9) 单击终止选项卡。 bm.H0rHR4 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): q Q8l8 Horizontal:800 bb/MnhB 垂直:-8 r&DK> H +rY0/T_0, 图8终止偏移值 {`Z)'G\` 11) 输入以下值: PBv43uIL 宽度:4 o3kj7U:'x 12) 点击“OK”。 e{:qW'% 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 XQ+hTtP d:''qgz` 图9.修改的弧形波导 B)dynGF8i 4. 插入输入平面 I,;)pWX=@ 要插入输入平面,请执行以下步骤。 kv b-= 步骤 操作 |_*1/Wz@ 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 O=/Tx2i; 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 _C\b,D}p 输入平面出现(参见图10)。 }tPl?P'` ](D [T 图10.输入平面 H !u:P?j@\ 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 oJ+$&P( 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 )frtvN7 U\{Z{F%8 ...... {Se93o ffVYlNQ7L 未完待续 Dn?L 来源:讯技光电 5P!17.W'u
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