[求助]新镀膜机如何调试 [复制链接]

一台新的镀膜机，在不知道折射率，没有补正板，不知道均匀性等的情况下，应该如何进行调试啊？步骤我知道，但是就是不知道具体该如何做，比如先做材料折射率，拿五氧化三钛为例，在没有具体的折射率情况下，用多大的折射率去做单层，单层的厚度设计多少，做出来后怎样进行修正计算实际的折射率，具体的教程谁有啊？另外知道折射率了，在做均匀性时，修正板要如何修剪？ <"A|Xv'Q  
求指点。 f?8cO#GU  

M|!^ #!a(  
先看一下附件，新柯隆的补正板做成资料。 }OY]mAv-B  
写的比较详细了。

另外，要做单层时，先确认一下你的分光仪测量范围和手头的光学软件是否可以用，里面有多少材料库，不够的话去查一下自己做材料。（推荐麦克劳德，当然TFC也可以） s_]p6M  
一般单层厚度在测量范围内3～5个PEAK（用光学软件模拟一下就可以知道）。 iVq4&X_x  
SiO2一般折射率变化不会太大，所以直接用光学软件的折射率也可以。 C${{&$&  
（还有就是有些分光仪分辨率不高，做出来的SiO2曲线毛刺很多，反倒不如软件里的折射率准确） y,qP$5xiq  
做的话多用几个坩埚，一个坩埚做很厚的膜层不好（打坑深了分布变了修正板就不准了）

1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问； Y" 9 o  
EtN@ 6xP  
2.镀单层膜  基板选择圆平片，一班镀3-5个极值； @|Z:7n6S  
"zW3dKVc  
3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修 <>aBmJs4  
Z09FW>"u  
4.修好均匀性后根据折射率计算tooling； ?wE@9g A  
/CpUq;^  
5.验证膜层的光学及非光学性能；有异常者重新修改参数并重复2-4过程

fly6947:1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问；
2.镀单层膜  基板选择圆平片，一班镀3-5个极值；
3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修 .Pq8C  
....... (2017-09-13 11:28)  etf ft8  

6A M,1  
谢谢。不过说的流程我大概知道，就是不会具体的操作，比如我设计了单层，也镀了；出来特性也测了，如何计算折射率？

折射率和吸收两个要一起用软件算的。 iMx+y5O  
你先说说手头有什么软件？ /og}e~q  
每种软件的使用方法不一样。 wI>JOV7  
如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。 XBhWj\`(T  
&ukNzV}VW  
ZJ"*A+IJx[  

楼上大神说得对，

ouyuu:折射率和吸收两个要一起用软件算的。 iZjvO`@[  
你先说说手头有什么软件？ _"WQi}
Mm  
每种软件的使用方法不一样。 J|xqfY@+  
如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。
....... (2017-09-14 22:19)  f7s]:n*Ih  

L7D'wf  
麦克劳德、TFC都有

k ,<L#?,a  
我居然以前还翻译过这个资料…… xY!]eLZ)&  
x[
(2}Qd  
一般我的资料都是免费提供。 -q+Fj;El  
但是这次付出的时间比较多，所以出售5个币。 c&0IJ7fZG  
其实你网上找一下应该是有资料的，麦克劳德的资料百度上还挺多的。 PKjA@+  
@F,HyCSN  
你也可以问版主CYQDESIGN买一本麦克劳德的中文说明书，大概400元吧。 tY[y?DJ  
这样做事方便很多，公司出钱应该没有问题吧。 m2_&rjGz  
HvTi^Fb\a  
RIJBHOa  
k*-+@U"+  

很好的学习资料 Ab(bvS8r$