[求助]新镀膜机如何调试 [复制链接]

一台新的镀膜机，在不知道折射率，没有补正板，不知道均匀性等的情况下，应该如何进行调试啊？步骤我知道，但是就是不知道具体该如何做，比如先做材料折射率，拿五氧化三钛为例，在没有具体的折射率情况下，用多大的折射率去做单层，单层的厚度设计多少，做出来后怎样进行修正计算实际的折射率，具体的教程谁有啊？另外知道折射率了，在做均匀性时，修正板要如何修剪？ tt%lDr1A)  
求指点。 >h>  

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先看一下附件，新柯隆的补正板做成资料。 c[n4{q1  
写的比较详细了。

另外，要做单层时，先确认一下你的分光仪测量范围和手头的光学软件是否可以用，里面有多少材料库，不够的话去查一下自己做材料。（推荐麦克劳德，当然TFC也可以） <$8`]e?I  
一般单层厚度在测量范围内3～5个PEAK（用光学软件模拟一下就可以知道）。 <NVSF6`  
SiO2一般折射率变化不会太大，所以直接用光学软件的折射率也可以。 7H~J?_  
（还有就是有些分光仪分辨率不高，做出来的SiO2曲线毛刺很多，反倒不如软件里的折射率准确） r*gQGvc  
做的话多用几个坩埚，一个坩埚做很厚的膜层不好（打坑深了分布变了修正板就不准了）

1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问； , Ac gsC  
04u^Q  
2.镀单层膜  基板选择圆平片，一班镀3-5个极值； B]""%&! O  
{&bjjM  
3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修 VXM5 B  
M$O*@])  
4.修好均匀性后根据折射率计算tooling； ^>3q@,C]c  
3kc.U  
5.验证膜层的光学及非光学性能；有异常者重新修改参数并重复2-4过程

fly6947:1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问；
2.镀单层膜  基板选择圆平片，一班镀3-5个极值；
3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修 BJ c'4>  
....... (2017-09-13 11:28)  ^"U-\cx  

Zgw;AY.R>  
谢谢。不过说的流程我大概知道，就是不会具体的操作，比如我设计了单层，也镀了；出来特性也测了，如何计算折射率？

折射率和吸收两个要一起用软件算的。 ^tw\F7  
你先说说手头有什么软件？ FuWMVT`Y  
每种软件的使用方法不一样。 C9,|G7~*q  
如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。 dTE(+M- Gr  
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楼上大神说得对，

ouyuu:折射率和吸收两个要一起用软件算的。 ?}n\&|+  
你先说说手头有什么软件？ ;P
A^.RB  
每种软件的使用方法不一样。 'a^'f]"  
如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。
....... (2017-09-14 22:19)  M%vZcP  

L]syDn  
麦克劳德、TFC都有

V+Tu{fFF7E  
我居然以前还翻译过这个资料……  hb,G'IU  
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M:pg%  
一般我的资料都是免费提供。 pAm L  
但是这次付出的时间比较多，所以出售5个币。 k
gQyG[u  
其实你网上找一下应该是有资料的，麦克劳德的资料百度上还挺多的。  &3:U&}I  
#K4lnC2qz  
你也可以问版主CYQDESIGN买一本麦克劳德的中文说明书，大概400元吧。 .Jvy0B} B  
这样做事方便很多，公司出钱应该没有问题吧。 |#Q4e51H  
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M#5*gWfq9  

很好的学习资料 >7Y6NAwY