[求助]新镀膜机如何调试 [复制链接]

一台新的镀膜机，在不知道折射率，没有补正板，不知道均匀性等的情况下，应该如何进行调试啊？步骤我知道，但是就是不知道具体该如何做，比如先做材料折射率，拿五氧化三钛为例，在没有具体的折射率情况下，用多大的折射率去做单层，单层的厚度设计多少，做出来后怎样进行修正计算实际的折射率，具体的教程谁有啊？另外知道折射率了，在做均匀性时，修正板要如何修剪？ T@Z-;
^aV  
求指点。 ~sdM~9@ '  

SX&Q5:  
先看一下附件，新柯隆的补正板做成资料。 L#S|2L_hC  
写的比较详细了。

另外，要做单层时，先确认一下你的分光仪测量范围和手头的光学软件是否可以用，里面有多少材料库，不够的话去查一下自己做材料。（推荐麦克劳德，当然TFC也可以） {w@9\LsU  
一般单层厚度在测量范围内3～5个PEAK（用光学软件模拟一下就可以知道）。 _M^^0kf  
SiO2一般折射率变化不会太大，所以直接用光学软件的折射率也可以。 {gxP_>  
（还有就是有些分光仪分辨率不高，做出来的SiO2曲线毛刺很多，反倒不如软件里的折射率准确） cgO<%_l3`  
做的话多用几个坩埚，一个坩埚做很厚的膜层不好（打坑深了分布变了修正板就不准了）

1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问； skU }BUK6  
C=IN "  
2.镀单层膜  基板选择圆平片，一班镀3-5个极值； R}IuMMx  
^Pah\p4bj  
3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修 X4+H8],)  
*
a
q"c9  
4.修好均匀性后根据折射率计算tooling； 0g~Cdp  
9m\Yi  
5.验证膜层的光学及非光学性能；有异常者重新修改参数并重复2-4过程

fly6947:1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问；
2.镀单层膜  基板选择圆平片，一班镀3-5个极值；
3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修 X[f)0w%  
....... (2017-09-13 11:28)  p L^3*B.Nr  

MJCz %zK  
谢谢。不过说的流程我大概知道，就是不会具体的操作，比如我设计了单层，也镀了；出来特性也测了，如何计算折射率？

折射率和吸收两个要一起用软件算的。 wXKt)3dmu  
你先说说手头有什么软件？ ~*UY[!+4^=  
每种软件的使用方法不一样。 DsD? &:  
如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。 ^4Ff8Y  
/L5:/Z  
Li$2 Gpc/  

楼上大神说得对，

ouyuu:折射率和吸收两个要一起用软件算的。 U5@B7v
1  
你先说说手头有什么软件？ v0tFU!Q%  
每种软件的使用方法不一样。 4mEJu  
如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。
....... (2017-09-14 22:19)  FeQo,a

  

j
VN=_Y}\  
麦克劳德、TFC都有

,@f|t&  
我居然以前还翻译过这个资料…… 6"}F KRR  
gSyBoY  
一般我的资料都是免费提供。 KM"?l<x0Y  
但是这次付出的时间比较多，所以出售5个币。
ui|6ih$+  
其实你网上找一下应该是有资料的，麦克劳德的资料百度上还挺多的。 B4+u/hkbh?  
U~@;2\ o  
你也可以问版主CYQDESIGN买一本麦克劳德的中文说明书，大概400元吧。 In!^+j  
这样做事方便很多，公司出钱应该没有问题吧。 DW:\6k  
vk(I7  
/l3Oi@\  
[z=!OFdE  

很好的学习资料 iS"6)#a72