[求助]新镀膜机如何调试 [复制链接]

一台新的镀膜机，在不知道折射率，没有补正板，不知道均匀性等的情况下，应该如何进行调试啊？步骤我知道，但是就是不知道具体该如何做，比如先做材料折射率，拿五氧化三钛为例，在没有具体的折射率情况下，用多大的折射率去做单层，单层的厚度设计多少，做出来后怎样进行修正计算实际的折射率，具体的教程谁有啊？另外知道折射率了，在做均匀性时，修正板要如何修剪？ /r{5Lyk*  
求指点。 Z#V\[  

补正板作成资料C.zip (384 K) 下载次数:344 补正板作成资料C.zip (384 K) 下载次数:344 bW3o%
srxa  
先看一下附件，新柯隆的补正板做成资料。 s*WfRY*=V  
写的比较详细了。

另外，要做单层时，先确认一下你的分光仪测量范围和手头的光学软件是否可以用，里面有多少材料库，不够的话去查一下自己做材料。（推荐麦克劳德，当然TFC也可以） 0g)mf6}o  
一般单层厚度在测量范围内3～5个PEAK（用光学软件模拟一下就可以知道）。 >,2],X"G  
SiO2一般折射率变化不会太大，所以直接用光学软件的折射率也可以。 A*i_-;W)  
（还有就是有些分光仪分辨率不高，做出来的SiO2曲线毛刺很多，反倒不如软件里的折射率准确） 2p ,6=8^v  
做的话多用几个坩埚，一个坩埚做很厚的膜层不好（打坑深了分布变了修正板就不准了）

1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问； ;_ton?bF  

`lzH:B  
2.镀单层膜  基板选择圆平片，一班镀3-5个极值； HOG7||&y  
\I]'6N=  
3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修 tDkqwF),  
=;T[2:JUu  
4.修好均匀性后根据折射率计算tooling； _,Y79 b6  
KS_d5NvYl  
5.验证膜层的光学及非光学性能；有异常者重新修改参数并重复2-4过程

fly6947:1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问；
2.镀单层膜  基板选择圆平片，一班镀3-5个极值；
3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修 }V{, kK  
....... (2017-09-13 11:28)  'J}lnt[V  

{#MViBhd%  
谢谢。不过说的流程我大概知道，就是不会具体的操作，比如我设计了单层，也镀了；出来特性也测了，如何计算折射率？

折射率和吸收两个要一起用软件算的。 H={,zZ11{  
你先说说手头有什么软件？ 8cHZBM7'  
每种软件的使用方法不一样。 ^,3 >}PU  
如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。 IKt9=Tx  
;iEqa"gO  
=o {`vv  

楼上大神说得对，

ouyuu:折射率和吸收两个要一起用软件算的。 H:CwUFL  
你先说说手头有什么软件？ RxAZ<8T_  
每种软件的使用方法不一样。 +Ix;~  
如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。
....... (2017-09-14 22:19)  rx%lL  

(*#S%4(YX  
麦克劳德、TFC都有

光学薄膜讲习资料（王编译）.rar (813 K) 下载次数:225 KZ&{Ya  
我居然以前还翻译过这个资料…… 1X]?-+',.  
<5=^s%H  
一般我的资料都是免费提供。 : xW.(^(d  
但是这次付出的时间比较多，所以出售5个币。 .|!Kv+yD  
其实你网上找一下应该是有资料的，麦克劳德的资料百度上还挺多的。 w?Y;pc}1B  
dtJ?J<m}  
你也可以问版主CYQDESIGN买一本麦克劳德的中文说明书，大概400元吧。 >Ka}v:E  
这样做事方便很多，公司出钱应该没有问题吧。 c1c8):o+V  
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很好的学习资料 `bNY[Gv>)