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    [分享]AZO薄膜理想表面形貌的制备与加工工艺优化 [复制链接]

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    离线200833
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-07-26
    关键词： 薄膜工艺优化
    非晶硅薄膜太阳能电池主要采用掺氟氧化锡（FTO）导电玻璃作为基板，但FTO薄膜雾度较低、表面形貌无法优化，导致无法得到较优的陷光结构，从而限制了太阳能电池的转换效率。为了进一步提升太阳能电池的转换效率，探讨了替代型的掺铝氧化锌（AZO）薄膜，通过优化前段磁控溅射镀膜工艺和后段湿化学蚀刻工艺，用以平衡AZO薄膜的光电性能和雾度，从而获得具有理想表面形貌的AZO导电玻璃，使其成为理想的非晶硅薄膜太阳能电池的基板材料。实验表明，经工艺优化后制作的AZO导电玻璃可提升光电转换效率。
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    共1条评分 ，光币+5
    cyqdesign 光币 +5 - 2017-07-26
     
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    离线wyh0416
    助理工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2017-07-27
    看看经过作者允许了吗
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    离线爱哭的云彩
    技术员
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-08-29
    为啥这样
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    离线爱哭的云彩
    技术员
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    只看该作者 3楼 发表于: 2017-08-29
    回 wyh0416 的帖子
    wyh0416:看看经过作者允许了吗 (2017-07-27 09:41)  3p*-tBOO  
    }K(o9$V ^!  
    何必如此相残
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    离线天堂—神话
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2019-01-07
    看看经过
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    离线简简单单丶
    实习生
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    光券
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    只看该作者 5楼 发表于: 2019-01-08
    新来的，多多回帖才是王道.......想下载这个资料.......暂时没钱啊 `!G7k  
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