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案例563(1.0) kWoy%?|RRa 1.建模任务 zGz5|u ^[id8 这个案例将演示设计与分析一个折射率调制的扩散器图层以生成Top Hat图案。 ]v9<^! 设计包括两个步骤: 71)HxC[6vA - 设计相位函数来生成一个角谱Top Hat分布。 MhJ`>.z1
- 基于相位调制来计算对应的折射率调制。 ,'ndQ{\9 如果想要更详细的解释设计和分析步骤,请参见教程Tut565。 N%Lh_2EzqV M5%xp.B wvUph[j}J 照明光束参数 e7hPIG y ruN5 Q
|l93Rb` 波长:632.8nm w$&10 激光光束直径(1/e2):700um wI`uAZ=" C[x!Lf8' 理想输出场参数 nQ/ha9v=n y"){? w5&UG/z%l k@wT,?kD 直径:1° .t~I[J\< 分辨率:≤0.03° G LE`ba 效率:>70% <p<gx*% 杂散光:<20% 1p{\jCi,2 g8vN^nQf[ 2. 设计相位函数 u' r;-|7 @V< |