[求助]镀AR出现的问题，大神们求指点。 [复制链接]

图一：同一伞从上到下的反射数据。不知道主要问题在哪里？ S8kzAT  
   谢谢各位！！ CvZ\Z472.j  
  图二：是与图二同一台机镀的另外一个工艺（除膜厚外，其他条件是一样的）的反射数据。 h|PC?@jp  
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        图一是7层  LHLHLHL       H4\SIO2      vw:GNpg'R6  
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      图二是 5层   LHLHL             H4\SIO2   f34/whD65  
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均匀性问题，建议使用修正板 {ir
c~||4  

ysc212:均匀性问题，建议使用修正板 1F5KDWtE  
 (2017-06-20 09:34)  4L8hn4F
 

!*"fWahv  
恩   但是第二张图只是膜厚层数不同，差异就没有第一个大。是不是第一个膜系里面有些敏感层。谢谢回复。

个人感觉是膜层敏感度的原因，特别是光控进行镀膜时更容易发生这种现象

yzhuang:个人感觉是膜层敏感度的原因，特别是光控进行镀膜时更容易发生这种现象 (2017-06-27 11:20)  _VKI@  

V]p{jLG  
我用的晶控，同样的修正版 膜料 镀出来的差异太大了，SIO2  H4是同一个修正板。

`5IrV&a  
我建议你做一下图一的重复性，如果每炉差，但是情况不一样，那么是你的敏感层是H4，要么膜系结构优化一下，（图2是单峰结构，敏感度没那么高）要么控制H4的预熔与充氧量； *5%vU|9b  
4 O!2nP  
如果每炉都这样，那肯定是均匀性没做好，有条件的话  高低折射率的mask单独修一下； >qmCjY1  
1 ~zjsi  
另外，SIO2的分布比一般的氧化物要差一点，可以选好一点的SIO2 #J"xByQKK  
?RsrY4P  

這很清楚的。 ~L)~p%rbi  
F8f}PV]b  
若與圖一使用之MASK為同支， =,6H2ew  
heVkCM :  
圖二看起來均勻性OK，即表示MASK為好的。 y{%0[x*N<m  
D.K""*ula  
至於圖一為什麼會這樣? 我認為是敏感層問題(薄層) NKu[6J?)  
MCKN.f%lP  
若想重複確認，可以鍍單一材料來看看他的5Q，答案即可得知。

均匀性的问题。。。。。影响均匀性的素较多

fly6947:我建议你做一下图一的重复性，如果每炉差，但是情况不一样，那么是你的敏感层是H4，要么膜系结构优化一下，（图2是单峰结构，敏感度没那么高）要么控制H4的预熔与充氧量；
如果每炉都这样，那肯定是均匀性没做好，有条件的话  高低折射率的mask单独修一下；
....... (2017-06-29 08:46)  IMf|/a9-  

tFmB`*!%  
好的   ，谢谢指导。我回头试试。

johnyu:這很清楚的。
若與圖一使用之MASK為同支，
圖二看起來均勻性OK，即表示MASK為好的。 }U}zS@kI  
....... (2017-07-03 17:36)  72nZ`u  

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好的   ，谢谢指导。我也觉得单层有薄层敏感度高的。很均匀的差别。