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    [求助]滤光膜测试 [复制链接]

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    离线zlygsl
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-05-08
    大家好,最近在镀时用TFCalc模拟的结果如下,Stack: (HL)^10 L (HL)^10,H: Si3N4,L: SiO2,其中高、低折射率材料是用的实际镀膜后实际测试的折射率参数,应该比较真实吧。 f'=u`*(b7  
    p]mN)  
    X84T F~2Y  
    但测试结果如下,除了透射峰的位置不准确外,透射峰基本上没有了,为什么结果很差。我一直认为是吸收太大所致,但模拟时采用的是真实测量的n、k值,多层膜吸收已经考虑之后进行的模拟,请大家帮忙分析一下,非常感谢! `q36`Wn  
       Z5v dH5?!r  
    }nlS&gew^  
    =de'Yy:\-  
    =@!t/LR7kg  
    _Tj&gyS  
    G!6b )4L-  
    u!K1K3T6k  
    H{Ewj_L  
    [ 此帖被zlygsl在2017-05-08 19:41重新编辑 ]
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    离线zlygsl
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    只看该作者 1楼 发表于: 2017-05-11
    希望有相关经验的朋友不吝赐教,非常感谢!
    离线黄康牛
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-05-12
    都是大神
    离线iuggtg
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-02-10
    公差太大。SIO2整体对比于Si3N4随便多走1%或者少走1%。透射峰都会被冲掉。至于透射峰位置不准确就是整体膜系都走多了(整体都能误差到这个地位,何况精度要求几纳米的波峰 )。而且出射介质个人用的是就是基底。楼主用的是空气。可能教程看的不一样。 44 u)F@)  
    对比于模拟与实际,楼主选用的NK是没问题的。 +g g_C'"