我国研究人员在硅上研制出第三代半导体氮化镓基激光器
中科院苏州纳米技术与纳米仿生所研究员杨辉团队在硅上研制出第三代半导体氮化镓基激光器,这也是世界上第一支可以在室温下连续工作的硅衬底氮化镓基激光器。相关研究成果近日刊登在《自然—光子学》。 随着半导体科技的高速发展,科技工作者发现基于传统技术路线来进行芯片与系统之间的数据通信越来越难以满足更快的通信速度以及更高的系统复杂度的需求。第三代半导体氮化镓在发光二极管LED和激光器等发光器件领域已经实现了广泛应用,为人类的高效节能照明作出了巨大贡献。 然而,由于第三代半导体氮化镓的热膨胀系数约是硅的两倍,在硅衬底上高温(1000℃左右)生长沉积的氮化镓材料在降温时倾向于快速收缩,受到硅衬底向外拉扯的巨大张应力,因此氮化镓材料在降到室温过程中通常会发生龟裂,产生的微裂纹和其他缺陷严重影响材料质量和器件性能。 |