ZEMAX光学系统设计实战	Zemax光学设计从基础到实践	成像衍射光学元件设计及应用	现代光学与光子学技术
讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商	微小光学与微透镜阵列	光学设计与光学元件	计算光学带来的成像革命

发帖回复

1490阅读
1回复

[分享]脉冲激光沉积技术及其应用 [复制链接]

上一主题下一主题

离线ttb2016

技术专家

发帖: 1066

光币: 12807

光券: 0

只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2016-08-12

关键词：脉冲激光薄膜

脉冲激光沉积技术及其应用摘要：

薄膜材料已在微电子元件、超导材料、生物材料等方面得到广泛应用 ,为了得到高质量的薄膜材料 ,脉冲激光沉积技术受到了广泛的关注。介绍了脉冲激光沉积技术的原理、特点 ,综述了其在制备半导体、高温超导、类金刚石、铁电、生物陶瓷薄膜等方面的应用和研究现状 ,展望了该项技术的应用前景。