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    [分享]脉冲激光沉积技术及其应用 [复制链接]

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    离线ttb2016
    技术专家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-08-12
    关键词： 脉冲激光薄膜
    脉冲激光沉积技术及其应用摘要： \`H"4r[?(  
    ~ .}  
    薄膜材料已在微电子元件、超导材料、生物材料等方面得到广泛应用 ,为了得到高质量的薄膜材料 ,脉冲激光沉积技术受到了广泛的关注。介绍了脉冲激光沉积技术的原理、特点 ,综述了其在制备半导体、高温超导、类金刚石、铁电、生物陶瓷薄膜等方面的应用和研究现状 ,展望了该项技术的应用前景。 ~uF%*  
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    共1条评分 ，光币+10
    cyqdesign 光币 +10 - 2016-08-12
     
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    离线zhrui_2000
    工程师
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2016-08-31
    学习学习，楼主辛苦了
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