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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2016-08-12

关键词：脉冲激光薄膜

脉冲激光沉积技术及其应用摘要：

薄膜材料已在微电子元件、超导材料、生物材料等方面得到广泛应用 ,为了得到高质量的薄膜材料 ,脉冲激光沉积技术受到了广泛的关注。介绍了脉冲激光沉积技术的原理、特点 ,综述了其在制备半导体、高温超导、类金刚石、铁电、生物陶瓷薄膜等方面的应用和研究现状 ,展望了该项技术的应用前景。