该案例介绍了一个正弦光栅的仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。 Ljm[?*H# zH 72'"w 1. 建模任务 F$y$'Rzu_B
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^2:p|:Bz!l 一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化。 ;>%r9pz ~ 对于该仿真,采用傅里叶模态法。 kUb>^-
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6%\J"AgXO 2. 建模任务:正弦光栅 ].avItg rm'SOJVA x-z方向(截面视图) } ?$F}s- nUaJzPl
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>b% 光栅参数: j.[.1G*(" 周期:0.908um x;O[c3I 高度:1.15um h6Ub}(Ov (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) c`)\Pb/O
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3. 建模任务 O#4&8>;=
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VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 x`eo"5.$
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利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 YsC>i`n9
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4. 光滑结构的分析 OU\ ~::
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计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 Pjf"CW+A
对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% G6Axs1a
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5. 增加一个粗糙表面 e-/&$Qq
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dmtr*pM_ VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 (*9$`!wS 因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 x
M/+L:_< /|m2WxK)
{_"<1C .^33MWu6 XAKs0*J> S/hQZHZHg, 该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。
:wyno#8`- 第一个重要的
物理参数称为”最小特征尺寸”。
#6aW9GO 第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。
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IJp-BTO{V #4NaL 6. 对衍射级次效率的影响 8mrUotjS [ZwjOi:) A/$QaB,x 粗糙度参数:
V*;(kEqj 最小特征尺寸:20nm
ij`w} V 总的调制高度:200nm
yx8z4*]kH 高度轮廓
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({\K 效率
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H [\o RId 粗糙表面对效率仅有微弱的影响
:gibfk]C |kg7LP3(8, !X#OOqPr= 粗糙度参数: 最小特征尺寸:20nm
[#vH'y 总调制高度:400nm 高度轮廓
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