切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1914阅读
    • 0回复

    [推荐]VLF示例-受粗糙光栅表面影响的光栅级次效率分析 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek_vlf
     
    发帖
    82
    光币
    164
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-08-01
    该案例介绍了一个正弦光栅仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。 F2!]T=  
    RN"Ur'+  
    1. 建模任务 6H ^=\  
    K+3+?oYKH  
    VI k]`)#  
     一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化 75W@B}dZd  
     对于该仿真,采用傅里叶模态法。 Ci$?Hm9n  
    yn|U<Hxl~H  
    2. 建模任务:正弦光栅 "U|u-ka8B  
    E-v^eMWX  
    x-z方向(截面视图) c"oJcp  
    RC~C}  
    b^R_8x  
    光栅参数 e'T|5I0K  
     周期:0.908um h@jk3J9^  
     高度:1.15um B\\M%!a>  
    (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) &f-x+y  
    q{uv?{I  
    3. 建模任务 FJ] ?45  
    ~S~4pK  
    -Ra-Ux  
    @cB6,iUr  
    8A: =#P^O\  
     VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 z<OfSS_]R  
     ?)2;W  
     利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 5%]O'h  
    En{< OMg  
    z-JYzxL9  
    ;4k/h/o1#  
    4. 光滑结构的分析 hxkwT  
    ,qwVDYJ  
    85vyt/.,k  
    ?X@uR5?{  
     计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 "Bl6 ) qw  
     对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% '}9 %12\^h  
    4P?R "Lk  
    nG~^-c+  
    t/J|<Ooj?  
    5. 增加一个粗糙表面 C&f{LpB`  
    ;8g[y"I  
    |Ge!;v  
     VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 ?0?+~0sI  
     因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 -u~AY#*  
    BHpj_LB-P  
    Y2W{?<99  
    #{5h6IC  
    gg@Ew4L&  
    9#1Jie$  
     该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。 OjsMT]  
     第一个重要的物理参数称为”最小特征尺寸”。 M3s:B& /  
     第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。 Dop,_94G  
    og`g]Z<I  
    c/}-pZn<  
    Ws:+P~8  
    6. 对衍射级次效率的影响 A'suZpL  
    uQ3W =  
    }*c[} VLN  
    粗糙度参数: mw*KLMo42  
     最小特征尺寸:20nm =U}!+ 8f  
     总的调制高度:200nm ZJV;&[$[  
     高度轮廓 V(M7d>N5G  
    <x1,4a~  
    @5{h+^  
    YLp#z8 1e  
    GRAPv|u9[  
     效率 b&!x.+d-z  
    e#^ vA$d  
     粗糙表面对效率仅有微弱的影响 m6o o-muAr  
    EO\- J-nM  
    6c*QBzNL  
     粗糙度参数: 最小特征尺寸:20nm {4r }jH  
     总调制高度:400nm 高度轮廓 ;RS^^vDm  
    }@vf=jm>  
    Lv@'v4.({  
    F@1Eg  
     效率 !-tVt D  
    ^t P|8k  
    由于粗糙表面的总调制高度变大,±1级衍射效率发生轻微不对称。 sPRs;to-  
    +K48c,gt?  
    粗糙度参数: 3-_`x9u*  
     最小特征尺寸:40nm t]+h.  
     总调制高度:200nm v(l:N@L  
     高度轮廓 v K!vA-7  
    }VqCyJu&{  
    e\ ! ic  
    ese?;1r  
     效率 }T"&4Rvs2R  
    B1va]=([)W  
    k#x"'yZ  
    RC^k#+  
     更大的”最小特征尺寸”降低了0级衍射的透射效率。 ^\w!D{Y7Q  
    r^`~GG!,Q  
    y)T|1)  
    粗糙度参数: 7w?N-Q$y  
     最小特征尺寸:40nm ( #rhD}  
     全高度调制:400nm Iy@6cd,)S  
     高度轮廓 1(qL),F;  
    +krDmU9(  
    _.5AB E  
     效率 gZ6tb p,X  
    `FmRoMW9+  
    nQd~i0`vB  
    AX6l=jFZx  
    K*N8Vpz(  
     对于较粗糙的表面,0级衍射效率大幅降低,而且±1级衍射效率的不对称性增大。 BoofJm  
    A:V/i:IZfR  
    7. 总结 &J,&>CFc  
     VirtualLab的光栅工具箱可对任意形状光栅结构进行严格分析(如包含一个附加粗糙面的正弦光栅)。 uwu`ms7z 2  
     对于这种类型的分析,VirtualLab中采用全矢量傅里叶模态法。 p;)@R$*  
     光栅级次分析器能够计算全部或特定衍射级次的衍射效率。 uOb}R   
     利用VirtualLab光栅工具箱,光栅表面的粗糙度可被加以考虑。因此,由于加工引起的结构差异产生的影响可被估算。
    &W N R{  
    ~;I'.TW  
     
    分享到