切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 2212阅读
    • 0回复

    [推荐]VLF示例-受粗糙光栅表面影响的光栅级次效率分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek_vlf
    技术员
     
    发帖
    82
    光币
    164
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-08-01
    该案例介绍了一个正弦光栅的仿真，该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外，分析了对衍射级次的影响，特别是衍射效率。 tk,Vp3p  
    A&($X)t  
    1. 建模任务 kJG0X%+w  
    s2iL5N|"Q  
     |;(0]  
     一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化。 @DA.$zn&  
     对于该仿真，采用傅里叶模态法。 s!F` 0=J^  
     \}+b_J6-  
    2. 建模任务：正弦光栅 ok<!/"RX$  
    k<!xOg  
    x-z方向(截面视图) @6:J$B~)u  
    )MU)'1jc,  
    +JRPd.B"@  
    光栅参数： ^%~ux0%^T  
     周期：0.908um `%A>{A"  
     高度：1.15um sj\kp ni  
    (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次，详见案例341)  Vq K/GWg  
    23~KzC  
    3. 建模任务 =P\Tk)(`  
    ;ZowC#j  
    v\b@;H`  
    ju{\7X5  
    a>XlkkX  
     VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器，可对光栅衍射效率进行严格的计算。 c 6Z\ecH9  
    :ZP`Y%dt'  
     利用该分析器，也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 ^=V b'g3P~  
    ]\Q9j7}37+  
    %q)*8  
    Z/w "zCd  
    4. 光滑结构的分析 |>L|7>J{<d  
    G tSvb6UNn  
     hj|P*yKV  
    La#otuw+?  
     计算衍射效率后，结果可在级次采集图中显示。 1feS/l$  
     对于光滑结构，参数平稳，0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% -cW 'g  
    Vv3{jn6%  
    hAv.rjhw_  
     (:ObxJ*  
    5. 增加一个粗糙表面 ?ta(`+"  
    wEJ) h1=)^  
     iF1E 5{dH  
     VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 3ZEV*=+T5  
     因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合，形成粗糙光栅面型。 kz+OUA@~  
    ^wm>\o;  
    +X&b  
    "ZU CYYre  
    Q1?09  
    v?en-,{A  
     该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。 ap[{`u  
     第一个重要的物理参数称为”最小特征尺寸”。 fF*{\  
     第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。 leSR2os  
    vPbmQh ex  
    /<WK2G  
    ;Q&|-`NK  
    6. 对衍射级次效率的影响 nNJMQb'K  
    x."/+/  
    sq~9 l|F  
    粗糙度参数： O)E8'Oe"Q  
     最小特征尺寸：20nm c Oi:bC@  
     总的调制高度：200nm )lsR8Hi8  
     高度轮廓 <B %s9Zy  
    ~p0M|  
    R<GnPN:c  
    Fw!TTH6l0  
    9X-w5$<  
     效率 >|S&@<  
    B"rfR_B2M#  
     粗糙表面对效率仅有微弱的影响 CCQ38P@rv  
    l,n V*Z  
    2l#c?]TA  
     粗糙度参数： 最小特征尺寸：20nm #-*#? -  
     总调制高度：400nm 高度轮廓 /\0 rRT  
    X/l{E4Ex  
    wVms"U.  
    |)vC^=N{+  
     效率 `f~\d.*U  
    {-fhp@;  
    由于粗糙表面的总调制高度变大，±1级衍射效率发生轻微不对称。 [_pw|BGp  
    Jiv%Opo/|  
    粗糙度参数： [m9Iz!E  
     最小特征尺寸：40nm <HC5YA)4  
     总调制高度：200nm |\W9$V  
     高度轮廓 x]=s/+Y  
    Pzl2X@{%  
    }+{ ? Ms  
    BS_ 3|  
     效率 +nj 2  
    ^-&BGQM  
    [10y13  
    c :{#H9  
     更大的”最小特征尺寸”降低了0级衍射的透射效率。 UbnX%2TW  
    Mt93YD-2+  
    G'M;]R9EP  
    粗糙度参数： TJY  [s-  
     最小特征尺寸：40nm ,R~{$QUl  
     全高度调制：400nm 8NJxtT~0c~  
     高度轮廓 %]m/fo4b  
    b,tf]Z-  
    FZ0wtS2  
     效率 ,L.*95 ,  
    `v|w&ty*  
    B,_/'DneQK  
    m);0sb  
    {|E'  
     对于较粗糙的表面，0级衍射效率大幅降低，而且±1级衍射效率的不对称性增大。 '[z529HN  
    a^ _ _Z3g,  
    7. 总结 NZTG)<  
     VirtualLab的光栅工具箱可对任意形状光栅结构进行严格分析(如包含一个附加粗糙面的正弦光栅)。 s6k@WT?"^  
     对于这种类型的分析，VirtualLab中采用全矢量傅里叶模态法。 [@&0@/s*t'  
     光栅级次分析器能够计算全部或特定衍射级次的衍射效率。 nsM=n}$5x  
     利用VirtualLab光栅工具箱，光栅表面的粗糙度可被加以考虑。因此，由于加工引起的结构差异产生的影响可被估算。     e@ mjh,  
    xRI7_8Jpyn  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表