切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1993阅读
    • 0回复

    [推荐]VLF示例-受粗糙光栅表面影响的光栅级次效率分析 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek_vlf
     
    发帖
    82
    光币
    164
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-08-01
    该案例介绍了一个正弦光栅仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。 +CXq41g"c  
    LY#V)f  
    1. 建模任务 ICc:k%wE7  
    uu>R)iTQ%S  
    ; 0M"T[c  
     一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化 7xO~v23oe  
     对于该仿真,采用傅里叶模态法。 V?jWp$  
     ;<%th  
    2. 建模任务:正弦光栅 g@>93j=cZU  
    g&8-X?^Q  
    x-z方向(截面视图) Um*&S.y  
    Gq%,'am f  
    *<h)q)HS  
    光栅参数 afu!.}4Ct  
     周期:0.908um 5aXE^.`  
     高度:1.15um ^7t1'A8e<  
    (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) : &~LPmJ  
    qagR?)N)u  
    3. 建模任务 m6A\R KJ'  
    k\g:uIsv$  
    QNxxW2+  
    YTr+"\CkA  
    /*GCuc|  
     VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 GNHWbC6_m  
    J: I@kM  
     利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 SO<9?uk.  
    2 i NZz  
    SDk^fTV8x  
    kQn}lD  
    4. 光滑结构的分析 9oG)\M.6w  
    VtGZB3  
    "3_GFq  
    #)iPvV'  
     计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 WYkh'sv >  
     对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% CW.T`F  
    NK:! U  
    9kbczL^Y  
    7*He 8G[W  
    5. 增加一个粗糙表面 EW+QVu@  
    Ue"pNjd|  
    #%V+- b(  
     VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 @18}'k  
     因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 ySF^^X $J  
    \BO6.;jA  
    Q-1 Xgw!  
    bU/YU0ZIT  
    )l`VE_(|  
    @3S:W2k  
     该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。 <|w(Sn  
     第一个重要的物理参数称为”最小特征尺寸”。 HuQdQ*Q  
     第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。 1y,/|Y  
    x+DecO2  
    EG3u)}vI  
    uH[:R vC0  
    6. 对衍射级次效率的影响 dQO 5  
    oa`7ClzD  
    Gi*_ &  
    粗糙度参数: \p]B8hLW  
     最小特征尺寸:20nm b # Llu$  
     总的调制高度:200nm JU)k+:\a  
     高度轮廓 nyBT4e  
    I~;H'7|e  
    *M$'dLn  
    D'BGoVP  
    91nw1c!  
     效率 ) t CNp  
    Dv&K3^~Rfb  
     粗糙表面对效率仅有微弱的影响 Sl@Ucc31  
    [khXAf1{Q  
    ff~1>=^  
     粗糙度参数: 最小特征尺寸:20nm "b%FkD  
     总调制高度:400nm 高度轮廓 QZ*gR#K]Sz  
    !0F+qzGG7  
    |IS$Om  
    q;7DH4;t  
     效率 c%1{l]   
    )ybF@emc  
    由于粗糙表面的总调制高度变大,±1级衍射效率发生轻微不对称。 '}"&JO~vPj  
    ?/my G{E  
    粗糙度参数: 15r=d  
     最小特征尺寸:40nm 8DM! ]L  
     总调制高度:200nm c]/S<w<  
     高度轮廓 c5: X$k\  
    Cl{Ar8d}  
    J;4aghzY  
    N,3iSH=cN[  
     效率 l[rK)PM   
    -Zp BYX5e_  
    dP`B9>r  
    yrd1J$  
     更大的”最小特征尺寸”降低了0级衍射的透射效率。 0?dr(   
    [AA}P/iW  
    n7yp6 Db  
    粗糙度参数: Q|e-)FS)  
     最小特征尺寸:40nm "fW }6pS  
     全高度调制:400nm HxcL3Bh$~}  
     高度轮廓 &~2I Fp  
    \PcnD$L  
    1aCpeD4|)  
     效率 ww #kc!'  
    Ivj=?[c|  
    |q z%6w=  
    DuIXv7"[  
    Hmnxm gx  
     对于较粗糙的表面,0级衍射效率大幅降低,而且±1级衍射效率的不对称性增大。 < fV][W  
    q6<P\CSHy<  
    7. 总结 SvrUXf  
     VirtualLab的光栅工具箱可对任意形状光栅结构进行严格分析(如包含一个附加粗糙面的正弦光栅)。 c*\;!dbP  
     对于这种类型的分析,VirtualLab中采用全矢量傅里叶模态法。 x*=1C,C  
     光栅级次分析器能够计算全部或特定衍射级次的衍射效率。 +C[g>c}d  
     利用VirtualLab光栅工具箱,光栅表面的粗糙度可被加以考虑。因此,由于加工引起的结构差异产生的影响可被估算。
    c*(^:#"9  
    vm'ZA7f6  
     
    分享到