该案例介绍了一个正弦光栅的仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。 0{I-x^FI :F9Oj1lM% 1. 建模任务 Y/?z8g'p
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] g8z@r"b 一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化。 MTq/ 对于该仿真,采用傅里叶模态法。 x0K#-
g1:%986jv 2. 建模任务:正弦光栅 jfVw{\l RS#C4NG x-z方向(截面视图) *_P'> V#p ^8YBW<9
18p4]:L 光栅参数: _xy[\X;9 周期:0.908um )3<>H!yG} 高度:1.15um 5X9L h_p (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) A-J#$B
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3. 建模任务 ;]bW
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VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 TuaP
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利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 )eqF21\
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4. 光滑结构的分析 X?;iSekI4
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计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 fL("MDt
对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% |n^rI\p%
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5. 增加一个粗糙表面 .}uri1k"@k
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Bk^o$3# VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 / {[p?7x> 因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 T LF'7ufq Koj9]2<0
,}"jiGgS4 wp5H|ctl 2?v }w<Ydl XHOS"o$y 该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。
BjA$^ i|8 第一个重要的
物理参数称为”最小特征尺寸”。
A)Rh
Bi 第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。
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D;jbZ9 z#rp8-HUDS 6. 对衍射级次效率的影响 M4CC&?6\ 6V}xgfB o^MoU2c 粗糙度参数:
@8+v6z 最小特征尺寸:20nm
{"2CI^!/U. 总的调制高度:200nm
E7_OI7C 高度轮廓
p=zTY7L 4S[)5su
LR\8M(rtvH 5tzO=gO[ i[ws%GfEv 效率
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25j\p{* 粗糙表面对效率仅有微弱的影响
X#K;(.},h c@)?V>oe u8`S*i/)m 粗糙度参数: 最小特征尺寸:20nm
&-X51O C 总调制高度:400nm 高度轮廓
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