该案例介绍了一个正弦光栅的仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。 i1!Y{ q'%!qa+ 1. 建模任务 (i-L:
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;.7]zn.X]2 一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化。 vX$|/74 对于该仿真,采用傅里叶模态法。 3lgD,_&
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2. 建模任务:正弦光栅 8x9;3{R /Ur]U
w x-z方向(截面视图) GQ*or>R1 >n%ckL|rG
3vEwui-5 光栅参数: 4r9AU mJqw 周期:0.908um ZC)m&V1 高度:1.15um |Rb8/WX (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) aQV? }
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3. 建模任务 !iUT Re
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VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 +<WNAmh
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利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 && WEBQ
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4. 光滑结构的分析 ZJHaY09N
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计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 !ZayN
对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32%
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5. 增加一个粗糙表面 ?F|F~A8dr
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D~ 7W VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 O?iLLfs 因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 c>wne\(5H [vxHsY3z
a!,X@5 ,m5tO 2W;2._ "fu@2y4^ 该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。
%ejq|i7 第一个重要的
物理参数称为”最小特征尺寸”。
c+:^0&l 第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。
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eqqnR.0 -K6y#O@@ 6. 对衍射级次效率的影响 V/yj.aA*@ U=[isi+7 }`]Et99Q5 粗糙度参数:
F:LrQu 最小特征尺寸:20nm
Am#Pa,g 总的调制高度:200nm
euET)Ccq 高度轮廓
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