切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2227阅读
    • 0回复

    [推荐]VLF示例-受粗糙光栅表面影响的光栅级次效率分析 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek_vlf
     
    发帖
    82
    光币
    164
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-08-01
    该案例介绍了一个正弦光栅仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。 #3~hF)u&/  
    =# /BCL7  
    1. 建模任务 ;6)Onwx  
    57|RE5]|!  
    l@W1b S  
     一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化 kO3N.t@n  
     对于该仿真,采用傅里叶模态法。 0 k (su  
    7jS`4,  
    2. 建模任务:正弦光栅 Z>l%:;H  
    D[H #W[  
    x-z方向(截面视图) N+N98~Y`P  
    "L9yG:  
    DS| HN  
    光栅参数 XM#xxf* Y  
     周期:0.908um uN;]Fv@Z  
     高度:1.15um b'O>qQ  
    (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) b[/uSwvi  
    bC h  
    3. 建模任务 a(#aEbN?d  
    xJ rKH  
    <| =^['vi  
    2kSN<jMr  
    ^'G,sZ6'Nh  
     VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 BcaX:C?f  
    /^pPT6  
     利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 w,x'FZD  
    <=Z`]8  
    H&*KpOL  
    5jey%)=  
    4. 光滑结构的分析 nj4G8/U-q  
    zL@FN sYVM  
    ^q}cy1"j"  
    ($T"m-e  
     计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 dWi:V 7t+  
     对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% b haYbiX?  
    TbQ5  
    %0Mvd;#[  
    *=b36M   
    5. 增加一个粗糙表面 5fvY#6;  
    xT8pwTO  
    D!WyT`T  
     VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 p:Hg>Z  
     因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 U][\|8i  
    Hs`j6yuc9  
    o>jM4sk$  
    ~YQH]  
    vp4NH]fJ  
    _Squ%z:D  
     该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。 ;_6 CV  
     第一个重要的物理参数称为”最小特征尺寸”。 a+=.(g  
     第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。 yKB&][)&  
    6d{&1-@>  
    $'%.w|MJp  
    ,a'Y^[4k?  
    6. 对衍射级次效率的影响 [4 y7tjar^  
    )WH;G:$&"  
    )aAKxC7w  
    粗糙度参数: Hw 1:zro  
     最小特征尺寸:20nm GyQ9we~  
     总的调制高度:200nm s9[54 7?`  
     高度轮廓 rHpxk  
    hF^y4v|5  
    2Fc>6]:*  
    [Ol~}@gV  
    yp?a7t M  
     效率 6DT ^:LHS  
    q+{$"s9v  
     粗糙表面对效率仅有微弱的影响 Nv5)A=6#AA  
    A +41JMH  
    B>UF dj]-  
     粗糙度参数: 最小特征尺寸:20nm .I%`yhCW  
     总调制高度:400nm 高度轮廓 AMre(lgh  
    _?oofE:{  
    *bSxobn  
    gZ@z}CIw'  
     效率 8)bqN$*h  
    ]114\JE  
    由于粗糙表面的总调制高度变大,±1级衍射效率发生轻微不对称。 k9m9IE"9=$  
    d;hv_h  
    粗糙度参数: 6olJ7`*  
     最小特征尺寸:40nm 0Zh]n;S3m  
     总调制高度:200nm D~b_nFD  
     高度轮廓 `e4gneQY  
    Fk#$@^c@  
    KdXqW0nm  
    YhQ%S}  
     效率 CmxQb,Uls  
    m[DCA\M o@  
    N4)ZPLV  
    @hwe  
     更大的”最小特征尺寸”降低了0级衍射的透射效率。 W 9!K~g_  
    ^m ['VK#?  
    n?:%>Os$  
    粗糙度参数: g[Q+DT  
     最小特征尺寸:40nm +3[8EM#g  
     全高度调制:400nm '!<gPAVTzV  
     高度轮廓 ; <l#k7/  
    d1';d6.u\  
    N?2C*|%f  
     效率 x@3" SiC  
    T#.pi@PF>  
    Sjp ]TWj  
    vYg>^!Q  
    u{&#Gci  
     对于较粗糙的表面,0级衍射效率大幅降低,而且±1级衍射效率的不对称性增大。 #QNa| f#=  
    X]}:WGFM  
    7. 总结 xmi@ XL@t  
     VirtualLab的光栅工具箱可对任意形状光栅结构进行严格分析(如包含一个附加粗糙面的正弦光栅)。 ^X;p8uBo  
     对于这种类型的分析,VirtualLab中采用全矢量傅里叶模态法。 ]$i@^3`[w  
     光栅级次分析器能够计算全部或特定衍射级次的衍射效率。 ~L4L|q 7  
     利用VirtualLab光栅工具箱,光栅表面的粗糙度可被加以考虑。因此,由于加工引起的结构差异产生的影响可被估算。
    :i>If:>g  
    w+u1"  
     
    分享到