切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 2203阅读
    • 0回复

    [推荐]VLF示例-受粗糙光栅表面影响的光栅级次效率分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek_vlf
    技术员
     
    发帖
    82
    光币
    164
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-08-01
    该案例介绍了一个正弦光栅的仿真，该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外，分析了对衍射级次的影响，特别是衍射效率。 2^bq4c4J  
    ,@tkL!"9q  
    1. 建模任务 fB:9:NX  
    lt|\$Iy(  
     =zDU!< U  
     一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化。 Yew n  
     对于该仿真，采用傅里叶模态法。 [pUw(KV2m  
     h +.8Rl  
    2. 建模任务：正弦光栅 )y\^5>p[  
    gYA|JFi  
    x-z方向(截面视图) AMG}'P:  
    OKNA36cU'  
    WM.JoQ  
    光栅参数： 8B JxD<  
     周期：0.908um $HF. 02{|  
     高度：1.15um U[*VNJSp  
    (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次，详见案例341) KoRJ'WW^  
    Yc3\NqQM  
    3. 建模任务 .X\p;~H 5  
    %%`Nq&'  
    x9Fga_  
    ^ llZf$`  
    AqB5B5}  
     VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器，可对光栅衍射效率进行严格的计算。 t 9&xk?%{  
    9W:oo:dK F  
     利用该分析器，也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 D*6v.`]X  
    1 !bODd  
    "CLoM\M)  
    OXe+=Lp<  
    4. 光滑结构的分析 1uZ[Ewl]  
    ?:vp3f#  
     BAG) -  
    /vll*}}  
     计算衍射效率后，结果可在级次采集图中显示。 Umjt~K^Z  
     对于光滑结构，参数平稳，0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% ,;)Y 1q}Q  
    'DO^($N  
    HS XS%v/Y  
    M$~3`n*^  
    5. 增加一个粗糙表面 Ig}G"GR  
    a yn6k=F  
     id<i|  
     VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 Qz\yoI8JA,  
     因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合，形成粗糙光栅面型。 ?YWfoH4mS  
    M(|Qvh{Q6  
    Tm(XM<  
    0{^vqh.La  
    T]-yTsto  
    zs e<b/G1G  
     该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。 }IO<Dq=[  
     第一个重要的物理参数称为”最小特征尺寸”。 dU1w)Y  
     第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。 k4fc 5P  
    {*,~,iq  
    ("Z;)s4q  
    74Xk^  8  
    6. 对衍射级次效率的影响 v,y nz'>)  
    uPKq<hBI  
    4)0 %^\p  
    粗糙度参数： mR@|]T  
     最小特征尺寸：20nm \95qH ,w)T  
     总的调制高度：200nm vQ/}E@?u  
     高度轮廓 ]Q,;5>#W  
    PPk\W7G  
    B!-hcn]y  
    H e ABU(o4  
    .Uq?SmK  
     效率 rCfr&>nn  
    c.-h'1  
     粗糙表面对效率仅有微弱的影响 E .^5N~.  
    nfpkWyIu{  
    o|Cq#JFG  
     粗糙度参数： 最小特征尺寸：20nm ' QGacV   
     总调制高度：400nm 高度轮廓 J@D5C4>i  
    U"$Q$ OFs  
    Mx<z34(T  
    bHVAa#  
     效率 RapHE; <  
    D FDC'E  
    由于粗糙表面的总调制高度变大，±1级衍射效率发生轻微不对称。 {6{y"8  
    z@;]Hy  
    粗糙度参数： d]1%/$v^  
     最小特征尺寸：40nm u>c\J|K_V  
     总调制高度：200nm ^?PU:eS  
     高度轮廓 QK _1!t3  
    f ?8cO#GU  
    j_N><_Jc  
    %pj 6[x`@  
     效率 Ft%HWGE  
    r>73IpJI  
    {Hncm  
    S Y\ UuZ  
     更大的”最小特征尺寸”降低了0级衍射的透射效率。 (ii6w d< *  
    =B4,H=7Spf  
    ! `5[(lm  
    粗糙度参数： ! |SPOk  
     最小特征尺寸：40nm T=r-6eN  
     全高度调制：400nm ~^d. zIN!  
     高度轮廓 iEx.BQ+  
    HT]W2^k  
    m|q?gX9R  
     效率 kwxb~~S}h(  
    H QHFD0hv  
    HScj  
    BiGB<Jr  
    ~\= VSwJ  
     对于较粗糙的表面，0级衍射效率大幅降低，而且±1级衍射效率的不对称性增大。 $r`K4g  
    O7@CAr  
    7. 总结 l`lo5:w  
     VirtualLab的光栅工具箱可对任意形状光栅结构进行严格分析(如包含一个附加粗糙面的正弦光栅)。 ` nBCCz'Y!  
     对于这种类型的分析，VirtualLab中采用全矢量傅里叶模态法。 &qw7BuF  
     光栅级次分析器能够计算全部或特定衍射级次的衍射效率。 lfjY45=  
     利用VirtualLab光栅工具箱，光栅表面的粗糙度可被加以考虑。因此，由于加工引起的结构差异产生的影响可被估算。     *M5 : \+  
    { 3``To$  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表