切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2405阅读
    • 0回复

    [推荐]VLF示例-受粗糙光栅表面影响的光栅级次效率分析 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek_vlf
     
    发帖
    82
    光币
    164
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-08-01
    该案例介绍了一个正弦光栅仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。 /iJ4{p   
    ak |WW]R  
    1. 建模任务 5[YDZ7g"~  
    TTt#a6eJ  
    49dd5ddr  
     一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化 pm_u  
     对于该仿真,采用傅里叶模态法。 Dm-zMCf}Q  
    #>mr[   
    2. 建模任务:正弦光栅 Ct=- 4  
    fDvl/|62{  
    x-z方向(截面视图) p|&Yku=  
    ,kF}lo)  
    nAjO6g6E  
    光栅参数  \V*xWS  
     周期:0.908um 0^RXGN  
     高度:1.15um {O`w,dMOI  
    (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) {yB&xj[z  
    I^8"{J.Q)[  
    3. 建模任务 }#Qc \eud  
    +L9Eqll  
    elFtBnL'  
    =aoMii   
    #EsNeBu  
     VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 YtfVD7m  
    UmclTGn  
     利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 4*cU<  
    @vrV*!  
    P:aJ#  
    @qnD=mE  
    4. 光滑结构的分析 86mp=6@  
    9)gC6 IiW  
    ,}))u0q+:  
    By9*1H2R  
     计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 ^WNrGF  
     对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% <RG|Dx[:=  
    WUsKnf  
    4y'OMRy  
    L>a  
    5. 增加一个粗糙表面 t[oT-r  
    q~vDz]\G  
    \,7}mdQSv  
     VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 ykX/9y+-s  
     因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 +[tE^`-F  
    ?}a;}Q 6  
    (3 #Cl 1]f  
    fmiz,$O4?  
    ##V5-ZG{:  
    `P3>S(Tgy  
     该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。  uJ5Eka  
     第一个重要的物理参数称为”最小特征尺寸”。 Gmq/3tw  
     第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。 ,;Hu=;  
    D6G oa(!9d  
    H+ 0$tHi  
    W034N[9  
    6. 对衍射级次效率的影响 [h34d5'w  
    /s[l-1zW  
    NX/;+{  
    粗糙度参数: \a6^LD}B  
     最小特征尺寸:20nm 7qg{v9|,  
     总的调制高度:200nm lobGj8uxq  
     高度轮廓 d\61; C  
    u*tN)f3  
    C~N/A73gF  
    zOqn<Y@  
    d_)o  
     效率 G1"zElug  
    X(\fN[;  
     粗糙表面对效率仅有微弱的影响 we;G]`@?  
    Ar:*oiU  
    pSr{>;bN  
     粗糙度参数: 最小特征尺寸:20nm nZ@&2YPlem  
     总调制高度:400nm 高度轮廓 7"w2$*4'0  
    $;/}?QY(  
    .$%Soyr?,  
    CFqJ/ ''  
     效率 %d>=+Ds[  
    _&j}<K$- (  
    由于粗糙表面的总调制高度变大,±1级衍射效率发生轻微不对称。 x7<\] 94  
    rZfN+S,g  
    粗糙度参数: DiEluA&w9  
     最小特征尺寸:40nm kWe{r5C7  
     总调制高度:200nm 6C]1Q.f;  
     高度轮廓 ]Qfn(u=o  
    @*Wh  
    0em#-*|2"  
    e=Z, Jg  
     效率 z[cyA.  
    yfx7{naKC`  
    YE=q:Bv  
    rSHpS`\ou  
     更大的”最小特征尺寸”降低了0级衍射的透射效率。 DVK)2La  
    /u0' 6V  
    tvu!< dxZ  
    粗糙度参数: 8}FzZ?DRy  
     最小特征尺寸:40nm q@@T]V6  
     全高度调制:400nm OnF3lCmu  
     高度轮廓 |ZCn`9hvn  
    ltgc:&=|@  
    v|Yh w  
     效率 O=$~O\}b  
    awOd_![c'  
    SnFk>`  
    9(5Oe H6o?  
    #%D_Y33;  
     对于较粗糙的表面,0级衍射效率大幅降低,而且±1级衍射效率的不对称性增大。 +> WM[o^I  
    Q"t<3-"  
    7. 总结 Mnz!nWhk  
     VirtualLab的光栅工具箱可对任意形状光栅结构进行严格分析(如包含一个附加粗糙面的正弦光栅)。 g-e #!(  
     对于这种类型的分析,VirtualLab中采用全矢量傅里叶模态法。 ;Y; qg  
     光栅级次分析器能够计算全部或特定衍射级次的衍射效率。 #SX8=f`K5  
     利用VirtualLab光栅工具箱,光栅表面的粗糙度可被加以考虑。因此,由于加工引起的结构差异产生的影响可被估算。
    lK4M.QV ?\  
    7hi"6,  
    本主题包含附件,请 登录 后查看, 或者 注册 成为会员
     
    分享到