该案例介绍了一个正弦光栅的仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。 q *&H
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1. 建模任务 @iuX~QA[9
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一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化。 hb3:,c(
对于该仿真,采用傅里叶模态法。 U,i_}O3Q
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2. 建模任务:正弦光栅 #wIWh^^ Zy
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x-z方向(截面视图) jSE)&K4nI
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光栅参数: (1D1;J4g
周期:0.908um zb9G&'7
高度:1.15um RQ8d1US
(这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) vlkwWm
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3. 建模任务 K{DC{yLu
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VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 )]C]K B
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利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 Li5&^RAo|J
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4. 光滑结构的分析 *xNc^&.
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计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 ?P0b/g
对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% ~_EDJp1J
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5. 增加一个粗糙表面 pL{oVk#,
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VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 Bz } nP9
因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 ~NK $rHwi%
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该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。 k)I4m.0a5
第一个重要的物理参数称为”最小特征尺寸”。 e}?Q&Lci
第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。 |-V:#1wR.]
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6. 对衍射级次效率的影响 LnE/62){N
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