切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2306阅读
    • 0回复

    [推荐]VLF示例-受粗糙光栅表面影响的光栅级次效率分析 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek_vlf
     
    发帖
    82
    光币
    164
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-08-01
    该案例介绍了一个正弦光栅仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。 p6!5}dD(  
    t YxN^VqU  
    1. 建模任务 Ec@cW6g(%  
    %%N T m  
    F?[1 m2  
     一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化 \&b 9  
     对于该仿真,采用傅里叶模态法。 [S1 b\f#  
    5RAhm0Op~.  
    2. 建模任务:正弦光栅 -K3d u&j  
    YmOj.Q&  
    x-z方向(截面视图) fvk(eWB  
    OTl9MwW  
    Wf^ sl  
    光栅参数 "=1gA~T  
     周期:0.908um Tdm|=xI  
     高度:1.15um hz*T"HJ]t  
    (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) KIp^| k7>  
    'v9M``  
    3. 建模任务 h8X[*Wme  
    1\~I "$}  
    D,Gv nfY  
    &>]U c%JK  
    7F2 RH 8)  
     VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 }xBDyr63  
    T*%rhnTv0  
     利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 >I/@GX/  
    qYJ<I'Ux O  
    M[~{!0Uz g  
    Y[]I!Bc  
    4. 光滑结构的分析 _",< at  
    D'vaK89\  
    1YQYZ^11  
    W@ &a  
     计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 :9av]Yv&  
     对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32%  %S%IW  
    )z\#  
    jXLd#6  
    }79O[&  
    5. 增加一个粗糙表面 #4./>}G  
    3UaW+@  
    xT]t3'y|-  
     VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。  V?1[R  
     因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 Hy1$Kvub  
    KE ?NQMU  
    df$.gP  
    Zp^O1&\SK?  
    (WJ)!  
    ?_d6 ;  
     该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。 T.3{}230<  
     第一个重要的物理参数称为”最小特征尺寸”。 rhcax%Cd  
     第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。 VnVBA-#r|  
    ]XbMqHGS  
    3qn_9f]  
    l)*(UZ"  
    6. 对衍射级次效率的影响 %~x?C4L8  
    }6!/Nb  
    >mX6;6FF  
    粗糙度参数: icIn>i<m  
     最小特征尺寸:20nm ,}&TZkN{-  
     总的调制高度:200nm ?tL'  X  
     高度轮廓 !u@P\8M}  
    Rx&O}>"E>l  
    hNsi  8/  
    Ht4O5yl"  
    2H}y1bkW  
     效率 xYCJO(&  
    bsDA&~)s  
     粗糙表面对效率仅有微弱的影响 1P(=0\ P>&  
    fs 2MYat  
    )xccs'H  
     粗糙度参数: 最小特征尺寸:20nm :MY=Q]l  
     总调制高度:400nm 高度轮廓 x<M::")5!V  
    "A"YgD#t  
    \? )S {  
    n|)((W  
     效率 T>'O[=UWh  
    .FHk1~\%z^  
    由于粗糙表面的总调制高度变大,±1级衍射效率发生轻微不对称。 m9A%Z bQ^  
    G(.G>8pf  
    粗糙度参数: o=_7KWOA  
     最小特征尺寸:40nm (87| :{  
     总调制高度:200nm W/bW=.d Jd  
     高度轮廓 {%G9iOV.  
    p$9Aadi]  
    6T'UWh0S  
    O^`EuaL  
     效率 '0+~]4&}q  
    0(wu  
    t&?{+?p: 9  
    zP%s]>hH  
     更大的”最小特征尺寸”降低了0级衍射的透射效率。 !i~(h&z  
    17Cb{Q  
    wQUl!s7M;  
    粗糙度参数: Zh;wQCDj  
     最小特征尺寸:40nm <[)-Q~Gg5  
     全高度调制:400nm 2P^|juc)sU  
     高度轮廓 <`uu e  
    dT*Yv`h  
    m6mGcbpn  
     效率 hg" i;I  
    r[i^tIv6As  
    rZ `1G  
    Q}@t'  
    @@H_3!B%4v  
     对于较粗糙的表面,0级衍射效率大幅降低,而且±1级衍射效率的不对称性增大。 KJ'ID  
    8C@u+tx  
    7. 总结 5<dg@,\  
     VirtualLab的光栅工具箱可对任意形状光栅结构进行严格分析(如包含一个附加粗糙面的正弦光栅)。 \L(cFjLIl  
     对于这种类型的分析,VirtualLab中采用全矢量傅里叶模态法。 l;_IH|A  
     光栅级次分析器能够计算全部或特定衍射级次的衍射效率。 /S"jO [n9b  
     利用VirtualLab光栅工具箱,光栅表面的粗糙度可被加以考虑。因此,由于加工引起的结构差异产生的影响可被估算。
    ?d-w#<AiV  
    \,G9'c 'u  
    本主题包含附件,请 登录 后查看, 或者 注册 成为会员
     
    分享到