切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2321阅读
    • 0回复

    [推荐]VLF示例-受粗糙光栅表面影响的光栅级次效率分析 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek_vlf
     
    发帖
    82
    光币
    164
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-08-01
    该案例介绍了一个正弦光栅仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。 OcQ>01Q  
    D+?/MrP  
    1. 建模任务 tcyami6D4  
    5Z/xY &  
    OW1i{  
     一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化 <EFA^,3t%  
     对于该仿真,采用傅里叶模态法。 IiTV*azVh  
    NNSHA'F,.\  
    2. 建模任务:正弦光栅 j\& `  
    f tW-  
    x-z方向(截面视图)  4b]/2H  
    i356m9j  
    {/`iZzPg  
    光栅参数 mUY+v>F  
     周期:0.908um bb}zn'xC  
     高度:1.15um (A(7?eq  
    (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) cM%I5F+n  
    v3!oY t:l  
    3. 建模任务 |}N -5U  
    DXu915  
    QcJ?1GwA"  
    %suSZw`  
    GlkTpX^b  
     VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 \M0-$&[+Z  
     734)s  
     利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 -t~l!! N(  
    !$N^Ak5#  
    g bDre~|  
    c,nE@~ul2  
    4. 光滑结构的分析 ) =-$>75Z  
    R:c$f(aKv%  
    3V ~871:-~  
    KvENH=oh  
     计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 =K'X:UM  
     对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% pw|f4c7AH  
    x"xl3dRu  
    " &2Kvsz  
    y%%D="  
    5. 增加一个粗糙表面 <QbD ;(%  
    2noKy}q  
    A|>~/OW=@  
     VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 l~P%mVC3m  
     因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 B].V|8h  
    | a001_Wv  
    nvY3$ Ty  
    k4:$LFw@  
    Fy:CG6@X  
    ROcI.tL  
     该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。 IoO tn  
     第一个重要的物理参数称为”最小特征尺寸”。 NG3!09eY  
     第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。 q.sErr[zc  
    ]}7FTMGbY  
    'fpm] *ig  
    }-YM>q  
    6. 对衍射级次效率的影响  I/YBL  
    OpFe=1Q  
    [7x,&  
    粗糙度参数: Y%<y`]I  
     最小特征尺寸:20nm %oPW`r  
     总的调制高度:200nm y!_*CYZ~m  
     高度轮廓 zT$-%  
    8<V6W F`e  
    38ac~1HjE  
    matW>D;J  
    co!o+jP  
     效率 #snwRW>=[  
    : :;YS9e  
     粗糙表面对效率仅有微弱的影响 >s0A.7,5  
    Y9V%eFY5E  
    K"Vo'9R[_  
     粗糙度参数: 最小特征尺寸:20nm D{'>G@nLQ  
     总调制高度:400nm 高度轮廓 a,eR'L<"*-  
    `^ FAD   
    d^uE4F}  
    q!UN<+k\h  
     效率 K]c|v i_D  
    RRSkXDU}  
    由于粗糙表面的总调制高度变大,±1级衍射效率发生轻微不对称。 X}jWNN  
    )?_x$GKY  
    粗糙度参数: /%qw-v9qPV  
     最小特征尺寸:40nm ;B Lw?kf  
     总调制高度:200nm Nf@-i`  
     高度轮廓 * AsILK0  
    *[XVkt`H  
    9gWR djK:  
    r.-U=ql  
     效率 :A2{  
    Oe#*-  
    j%w}hGW%,  
    =yT3#A~<G  
     更大的”最小特征尺寸”降低了0级衍射的透射效率。 ^wnlZ09J  
    AQ}(v,DOb  
    XFj\H(D  
    粗糙度参数: s,z$Vt"h*K  
     最小特征尺寸:40nm KImBQ2^Tu  
     全高度调制:400nm w_gFN%8  
     高度轮廓 WA'4y\N  
    !V%h0OE\  
    a"ct"g=  
     效率 b\{34z,  
    QmHj=s:x\  
    $!?tJ@{  
    B7'rbc'  
    p?@R0]  
     对于较粗糙的表面,0级衍射效率大幅降低,而且±1级衍射效率的不对称性增大。 l g0 'qH8  
    nky%Eb[\  
    7. 总结 XIep3l*  
     VirtualLab的光栅工具箱可对任意形状光栅结构进行严格分析(如包含一个附加粗糙面的正弦光栅)。 kdq<)>"  
     对于这种类型的分析,VirtualLab中采用全矢量傅里叶模态法。 v d{`*|x  
     光栅级次分析器能够计算全部或特定衍射级次的衍射效率。  AqqD!  
     利用VirtualLab光栅工具箱,光栅表面的粗糙度可被加以考虑。因此,由于加工引起的结构差异产生的影响可被估算。
    @%FLT6MY  
    ,Wbr; zb  
    本主题包含附件,请 登录 后查看, 或者 注册 成为会员
     
    分享到