切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2313阅读
    • 0回复

    [推荐]VLF示例-受粗糙光栅表面影响的光栅级次效率分析 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek_vlf
     
    发帖
    82
    光币
    164
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-08-01
    该案例介绍了一个正弦光栅仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。 IfGQeynj  
    sCF7K=a  
    1. 建模任务 9p5{,9.3*  
    >4}2~;  
    9#AsSbBpf  
     一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化 YOHYXhc{S  
     对于该仿真,采用傅里叶模态法。 Q9 * N/2+  
    M1f ^Lx  
    2. 建模任务:正弦光栅 );.q:"  
    H21\6 GY  
    x-z方向(截面视图) +T@a/(Gl  
    `y!6(xI  
    GL_a`.=@  
    光栅参数 \4.U.pKY  
     周期:0.908um L('G1J}  
     高度:1.15um = ?hx+-'  
    (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) "jUr[X2J  
    $*{$90 Q  
    3. 建模任务 ]d@@E_s]  
    R.EA5X|_  
    Bjz\L0d  
    3 TN?yP)  
    * QF3l0&  
     VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 <E|K<}W#  
    ?wR;"  
     利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 G'<J8;B* t  
    aO]0|<2 j  
    AE)<ee%\\  
    PIuk]&L^  
    4. 光滑结构的分析 y^gazr"  
    !(hP{k ^g  
    {da Nw>TH  
    Ha\q}~_  
     计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 x hFQjV?V  
     对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% }V3p <  
    O\ T  
    q)ygSOtj  
    PomX@N}1  
    5. 增加一个粗糙表面 :ji_dQ8k  
    gnoV>ON0  
    pQxaT$  
     VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 byv(:xk|'e  
     因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 7"r7F#D=G  
    dyjzF`H  
    8Us5Oi  
    N1KYV&'o  
    cK>5!2b  
    @\_ tS H  
     该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。 2FO.!m  
     第一个重要的物理参数称为”最小特征尺寸”。 TD-d5P^Kek  
     第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。 8kih81tx"U  
    ? kew[oZ  
    }}?L'Vby  
    k3[ ~I'  
    6. 对衍射级次效率的影响 aI|<t^X  
    e:V(kzAY;  
    n]x4twZ  
    粗糙度参数: ehXj.z  
     最小特征尺寸:20nm f{lg{gA(  
     总的调制高度:200nm 0gVylQ  
     高度轮廓 YF @'t~_Z  
    0K, *FdA  
    /40Z-'Bl=(  
    iLy }G7h  
    @.-g  
     效率 Nora<  
    r]km1SrS  
     粗糙表面对效率仅有微弱的影响 !xMyk>%2  
    !a3cEzs3  
    E/(:\Cm^  
     粗糙度参数: 最小特征尺寸:20nm <!&nyuSz  
     总调制高度:400nm 高度轮廓 :SSe0ZZ_6b  
    D<}KTyG]  
    HPp Kti7g  
    ro6peUL*2`  
     效率 ZSYXUFz  
    }MrR svN  
    由于粗糙表面的总调制高度变大,±1级衍射效率发生轻微不对称。 Hbx=vLQ6  
    PR~ho&!  
    粗糙度参数: @y9_\mX!s  
     最小特征尺寸:40nm 1I KDp]SN  
     总调制高度:200nm x!MYIaZ7  
     高度轮廓 bWwc2##7jo  
    c^UG}:Y  
    j; 1X-  
    fT/;TK>z>  
     效率 k5=0L_xc  
    ;-@^G 3C:  
    `>'E4z]-_  
    qJVW :$1q  
     更大的”最小特征尺寸”降低了0级衍射的透射效率。 #+QwRmJdT!  
    I 8`@Srw8  
    Fc7mAV=  
    粗糙度参数: !iCY!:  
     最小特征尺寸:40nm qWtvo';3  
     全高度调制:400nm .'p_j(uv  
     高度轮廓 =wPl;SDf!  
     hPx=3L$  
    1Xt% O86  
     效率 CP'?Om2  
    O@'/B" &  
     _*9eAeJ  
    A/W0O;*q  
    mE%H5&VSI  
     对于较粗糙的表面,0级衍射效率大幅降低,而且±1级衍射效率的不对称性增大。 wvcG <sj  
    7:R8QS9  
    7. 总结 %[-D&flKC  
     VirtualLab的光栅工具箱可对任意形状光栅结构进行严格分析(如包含一个附加粗糙面的正弦光栅)。 d>)*!l2,C  
     对于这种类型的分析,VirtualLab中采用全矢量傅里叶模态法。 YT}m 8Y  
     光栅级次分析器能够计算全部或特定衍射级次的衍射效率。 H{E223  
     利用VirtualLab光栅工具箱,光栅表面的粗糙度可被加以考虑。因此,由于加工引起的结构差异产生的影响可被估算。
    @ bPQhn#(g  
    W'-B)li   
    本主题包含附件,请 登录 后查看, 或者 注册 成为会员
     
    分享到