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案例024(3.0) 64lEB>VNm !7oy%{L 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 )
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u5&xIQ 1. 建模任务1:金属光栅 =#tQIhX` kut|A TJpv"V 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 /;4MexgB% 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 Q.1ohj0) X2[cR;;' 2. 建模任务2:介质光栅 CiuN26> _);Kb/ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 G!8pF 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 1 =<|h 6\;1<Sw* 3. 建模任务 YZl%JX CiI:
uU zRu`[b3u< VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 |esjhf}H>v 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 G 7]wg>* 场分布计算能够检测结构内部的热点 >n~p1: $ ;#9|l= 4. TE和TM照明线性光栅 6t:c]G'J rbPs~C-[ 5. 铬狭缝的分析 pXv[]v kW&Z%k 3+3m`%G 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 5V~p@vCx 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 Qiw4'xQm 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 v4_OUA>z, 红线说明了结构的形状(手动添加) yrAzD= wG5RN;`V 6. 三角光栅的分析 k{jw%a<Sc 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 /\cu!yiX -5 /v` ACO4u<M) 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 a~F@3Pd 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 6;frIl; 红线说明了结构的形状(手动添加)。 rs Uw(K^ 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 &hN&nH"PC \.P}`Bpa 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 WWW#s gM% 红线说明了结构的形状(手动添加)。 \Z20fh2 Gr$*t,ZW 7. 总结 O6,"#BX n/oipiYx VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 =veOVv[Q&/ 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 9C}aX}` 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 :$i:8lz
光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 eD{ @0&
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