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案例024(3.0) hkyO_ns o$Ylqb# 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 ,[T/O\k $5/d?q-ts{ 1. 建模任务1:金属光栅 G@`ZDn tHo|8c~[ @D!*@M6 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 %$kd`Rl} 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 ^<qi&* |:&O!36 2. 建模任务2:介质光栅 P[-do 1og+(m`BL 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 #qmsZHd}b 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 83I 5n&) t$~'$kM)< 3. 建模任务 TTFs|T6`q jDqG9] ,~&HL7v VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 b- e 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 oGB|k]6]| 场分布计算能够检测结构内部的热点 x{8h3.ZQ, i9De+3VqKK 4. TE和TM照明线性光栅 Z~QLjv&$/r Vs{\ YfF 5. 铬狭缝的分析 czU" I#M>b:"te pqb`g@ 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 qB,0(I1-! 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 ^9Cu?!xu0 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 'fGKRd|) 红线说明了结构的形状(手动添加) jwAYlnQ^EM ypG*41 6. 三角光栅的分析 !`RMXUV 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 @!'}=?` @y~kQ5k __Ksn^I 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 knYp"<qj 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 ls&H oJ7 红线说明了结构的形状(手动添加)。 G%: 3.:E" 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 DBB&6~;? k_,&
Q?GtU 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 (DY[OIHI 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ^i Jyo&I ^d{5GK' 7. 总结 M /v@C*c $C5*@`GM$ VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 K)mQcB-"? 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 9$z$yGjl 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 [RN]?, 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 N'9T*&o+
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