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案例024(3.0) 8NJxtT~0c~ h'tb 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 dN%*-p( m/T3Um 1. 建模任务1:金属光栅 Q,f~7IVX RiPxz=kr m);0sb 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 {|E' 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 [K=M;$iQ 26&$vgO~: 2. 建模任务2:介质光栅 !pqfx93R* jgW-&nK! 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 u Sl&d 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 ? +q(,P@* y$Rr,]L 3. 建模任务 o^!_S5zKe. '<JNS8h 0eP ] VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 sT*D]J
2 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 \{8?HjJEM 场分布计算能够检测结构内部的热点 pXy'S s@y <Pm!#)-g9 4. TE和TM照明线性光栅 S#{jyU9 ] >]!8f?, 5. 铬狭缝的分析 )9]DJ!]&Q" ZR,"w ILU7Yhk 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 x%!Ea{s 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 D"z3SLFW{ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 Q:5^K 红线说明了结构的形状(手动添加) :Rftn6! ;J>upI 6. 三角光栅的分析 ms]r1x" 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 )-s9CWJv X7g@.Oy` <3)k M&.B 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 \`:nmFO(9 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 Xt.ca,`U 红线说明了结构的形状(手动添加)。 '-l.2IUyT 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 1o8C4?T& RDSkFK( D 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 F<+!28&h 红线说明了结构的形状(手动添加)。 1
O?bT,"b E^`-:L(_ 7. 总结
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w?~% V"Sa9P{y" VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 w:VD[\h 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 gr^TL1( 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 j6: jN-z 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 !\}X?Gf
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