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案例024(3.0) \3XG8J S(ky: 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 {^*K@c ;%a 1. 建模任务1:金属光栅 )[np{eF.k N?j#=b+D Y2d(HD@ 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 VtYrU>q 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 jzb%?8ZJ IY40d^x 2. 建模任务2:介质光栅 ESyb34T` X4dxH_@ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 \u$[ $R5 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 VXP@)\! G<W;HM j2 3. 建模任务 k;(r:k^ svRYdInBNu wmDO^}>ZP VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 9NC?J@&B 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 (,I9| 场分布计算能够检测结构内部的热点 X0 ^~`g oXFo 4. TE和TM照明线性光栅 Xx?~%o6 /*1p|c ^ 5. 铬狭缝的分析 QruclNW{Bv zFm:=,9 L]Dq1q8` 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 B*OBXN>'P 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 bZlKy`Z 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 m"f3hd4D_q 红线说明了结构的形状(手动添加) ,!vI@>nhG QX$3"AZ~ 6. 三角光栅的分析 fJD+GvV$x 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 7-VP)|L#G \\P*w$c ["WWaCcx 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 f-`C1|\w 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 a)QSq<2* 红线说明了结构的形状(手动添加)。 E RjMe'q4 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 cnz+%Y N ]{ir^[A6 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 dZ|x `bIgs 红线说明了结构的形状(手动添加)。 z#*>u ")Qhg-l 7. 总结 8k )i-&R gTb%c84 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 1O2jvt7M 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 UIC~%?oIA 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 u$<>8aMei 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 x5R|,bY
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