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案例024(3.0) \2q!2XWgK N5>ioJj 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 X.u&4SH Te%2(w,B 1. 建模任务1:金属光栅 M2UF3xD +RXKI{0Km ![=C`O6K 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 L : hEt 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 )<_e{_h
!(:R=J_h 2. 建模任务2:介质光栅 OhC%5=a7 /U
|@sw4 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 gq[|>Rs75 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 #r\,oXTm Ns ?8N": 3. 建模任务 ^Ht!~So ElJM.
a C&Nga
`J VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 2g>4fZ 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 LxWnPi ^ 场分布计算能够检测结构内部的热点 #G'Y2l MHh>~Y(h 4. TE和TM照明线性光栅 nVkPYeeT IYeX\)Gv& 5. 铬狭缝的分析 \k?Fu=@ +n]z'pijb :A+nmz!z 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 `a$-"tW~j 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 A 9I5 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 05]y*I 红线说明了结构的形状(手动添加) $)UMRG >LvQ&fAo 6. 三角光栅的分析 M4MO)MYJ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 L>4!@L5) tOQ2947zk l~|x*JTq 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
58S >B' 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 )Sz2D[@n 红线说明了结构的形状(手动添加)。 f{s}[p~ 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 y5" b(nb azEN_oUV 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 >_R,^iH" 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ;ps0wswX Ancka 7. 总结 7x6q:4Ep\ @xKfqKoqg VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 I_QWdxn 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 0A]+9@W; 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 5somoV B 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 BZ2frG\0&I
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