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案例024(3.0) e.}3OK _.OMjUBZT 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
a0?iR5\ g;-+7ViIr 1. 建模任务1:金属光栅 h#@4@x{ XJJ[F|k~ l<aqiZSY 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ~t${=o430 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 iVq#aXN \L9?69B~ 2. 建模任务2:介质光栅 A )RI:?+ T`g?)/ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 B15O,sL&W 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 Lov.E3S6; b
5F4+ 3. 建模任务 (pE\nuA\ z^P* : T3G/v)ufd VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 Th~3mf
# 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 i9&K 场分布计算能够检测结构内部的热点 K#l
-? !Bk[p/\ 4. TE和TM照明线性光栅 dT hn? lTV@b& 5. 铬狭缝的分析 I3 G*+6V 7cUR.PI#Q sd]54&3A 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 c
YM CfP 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 5w,lw 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 ,#E3,bu6_4 红线说明了结构的形状(手动添加) bl"
(<TM $ ]W[y= 6. 三角光栅的分析 `qf\3JT\ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 lruF96C/Y `W"a!,s2 Vq3]7l 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 ]k'#g Z$ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 4; BW 红线说明了结构的形状(手动添加)。
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[ 4H 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 Tn4W\?R !paN`Fz\a 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 ZL4l
(&" 红线说明了结构的形状(手动添加)。 [Krm .) wO^$!zB W 7. 总结 }zkL[qu; >W`S(a Mn VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 CN\|_y 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 C2+{U 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 $i,6B9 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 yxaT7Oqh%
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