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案例024(3.0) Orb(xLChJ BE+YqT 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 lET)<V(Y d5=xOEv;
: 1. 建模任务1:金属光栅 O.E0LCABC EsWszpRqb C49
G& 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 z
K(5&u 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 ye%F <:O7 8$vH&HdI 2. 建模任务2:介质光栅 L)+ eM&W bVx]r[ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 <^\r9Qxl 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 1P[Lz!C LC7LO
3. 建模任务 )QE_+H}p GWVdNYpmr v wyDY%B"n VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 s z\RmX 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 =c,gK8C 场分布计算能够检测结构内部的热点 [5VUcXGt*\ 3DHm9n+/: 4. TE和TM照明线性光栅 m?j!0> 'O`3FI 5. 铬狭缝的分析 q KM]wu0Et l(5-Cr vxeT[/6i 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 J qUVGEg 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 c6HU'%v 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 3+-(;>>\ 红线说明了结构的形状(手动添加) %5G BMMn lnDDFsA 6. 三角光栅的分析 [&CM-`
N 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 Q
8rtZ z6lz*%Yi #:|Y(,c 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 kYB
<FwwB 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 /;rN/ot2o 红线说明了结构的形状(手动添加)。
@__;RVQ 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 Hl;p>>n
9+QrTO 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 }$U[5wL,_ 红线说明了结构的形状(手动添加)。 .( h$@|Y sZ"U=6R 7. 总结 Gme$FWa f~FehN7 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 =%\6}xPEl< 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 |y%].y) 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 #mhD; .Wg 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 eeU$uR
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