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案例024(3.0) ki4f*Ej N/{?7sG& 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 D VwCx^ a-PGW2G 1. 建模任务1:金属光栅 YFx=b!/s \3^Pjx ,P@QxnQ 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 lO2k< 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 @d)a~[pm
5-'vB 2. 建模任务2:介质光栅 Y><(? @hT;Bo2G] 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 BX$hAQ(6Q 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 `pYE[y+ wItz cY1m 3. 建模任务 hEOJb
@:R +89o`u_l% v*DFiCQD VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 A?Sm-#n{ 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 T 46{*( 场分布计算能够检测结构内部的热点 SJ(9rhB5*. h.b+r~u 4. TE和TM照明线性光栅 a;p6?kv #NF+UJYJ&' 5. 铬狭缝的分析 7SHo%bA 7.|S>+Q \UQ],+H 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 1UyH0`& 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 -s~p}CQ. 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 Kq6qXc\x 红线说明了结构的形状(手动添加) 6DZ2pT: X,53c$ 6. 三角光栅的分析 g.&\6^)8p 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 uN&M\( o}R|tOe Kz^ hQd 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 H2]BMkum 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 D4\(:kF\Hg 红线说明了结构的形状(手动添加)。 hGKdGu`0 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 \]GGVI;u qid1b
b 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 ke</x+\F 红线说明了结构的形状(手动添加)。 4+,*sn ndt8=6p
7. 总结 {lKEZirO @f'AWeJ2 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 s @3zx 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 lMPbLF%_ 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 qZc)Sa.S 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 L%4tw5*N
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