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案例024(3.0) {CVZ7tU7] dWwb}r(ky 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 qvhG^b0h
z{V#_( 1. 建模任务1:金属光栅 a_b+RMy _ |HA\! L/vw7XNrX 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 vQ$"|8, 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 BZXee>3" 9O^~l2` 2. 建模任务2:介质光栅 Nr]guC? rE ,5 3`t 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 JEZ0O&_R 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 1UB.2}/: w&]$!g4 3. 建模任务 JV/:QV 4wa3$Pk 5,|{|/ VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 ozHL'H 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 %6M%PR~u 场分布计算能够检测结构内部的热点 Rx.5;2m k>!i
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4. TE和TM照明线性光栅 _ph1( !H$ iP$>/ [I 5. 铬狭缝的分析 Uz]=`F8 Hf30ve} |^F$Ta 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 } z7yS.{ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 kKC]
n 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 N1vA>(2A 红线说明了结构的形状(手动添加) B LZ<"npn Lo}/k}3Sx 6. 三角光栅的分析 *F(<:3;2 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 wW<u)|>ye 8e`HXU(A 6W;`}'ap 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 M%SNq|Lo 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 65mfq&"P? 红线说明了结构的形状(手动添加)。 aouYPxA` 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 I:MrX 2IkyC` 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 &{q'$oF 红线说明了结构的形状(手动添加)。 e\*(F3r
xKepZ 7. 总结 AOTtAV_e T[cJ VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 F
hyY+{% 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
9p4SxMMO 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 4 .(5m\s! 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 RyWfoLc
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