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案例024(3.0) 2yNlQP8% #q-t!C%E 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 2Y,s58F O/-xkzR* 1. 建模任务1:金属光栅 n\QG-?%Pi C$_H)I c{[d@jtO 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 22GtTENd1h 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 ,J[sg7vcv qdOS=7]W 2. 建模任务2:介质光栅 JS4pJe\q 6^~&sA 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 Uc&0>_Z 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 CyE.q^Wm IL<5Suz: 3. 建模任务 mU*GcWbc+ K3jno+U& I++!F,pB VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 ,}NG@JID 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 >0> M@s 场分布计算能够检测结构内部的热点 2$jY_{B+x Ws=J)2q 4. TE和TM照明线性光栅 h"[
][ E\QSU88^ 5. 铬狭缝的分析 k&Sg`'LG8 /HLQ )/BKN` , 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 J%nJO3, 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 #pf}q+A 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 {MIs%w.G 红线说明了结构的形状(手动添加) NY_Oo!)3 S"lcePN 6. 三角光栅的分析 (\]_/ W 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 ': HV9]k bo]k9FC /OViqZ;9 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 L)Kn8 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 (A1 !)c 红线说明了结构的形状(手动添加)。 Blu^\:?#z- 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 U\ 51j ?L_#AdK 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 -QRKDp 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ~!UxmYgO pt<84CP 7. 总结 b+{,c@1rd ^b&aDm~(7 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 E;%{hAD{ 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 9!o:)99U 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 )]v vp{ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 r&^4L
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