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案例024(3.0) R2$ U K &
.?HuK 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 gr
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?&"^\p 1. 建模任务1:金属光栅 X?6h>%) k +2zuIW. Hk]BC 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 Q@2tT&eL 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 x
ctU.)p 30_un 2. 建模任务2:介质光栅 W"kw>JEt s\W 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ;1.>"zX( 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 >fye^Tx d# 3tQ*G/ 3. 建模任务 5b#6 Y j#e.rNG be:phS4vz VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 5(|M["KK~ 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 ^V}R(gDu}s 场分布计算能够检测结构内部的热点 Z02s(y=k1 T'M66kg 4. TE和TM照明线性光栅 DnHAm q] RW7oL:$dt 5. 铬狭缝的分析 A'(7VJ ?4ILl>* }IN_5o(( 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 u`pROd/ R5 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 uXLZtfu{ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 z"K(
bw6 红线说明了结构的形状(手动添加) h)_Gxe"x yK077zH_ 6. 三角光栅的分析 }E5#X R 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 jRG\C=&(x *e<Eu>fW#& cH;TnuX 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 ;:Z=%R$wJ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 <{/;1Dru 红线说明了结构的形状(手动添加)。 d>, V 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 ~"0@u 5w3 ZUmjO 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 9U)t@b 红线说明了结构的形状(手动添加)。 _E6}XNS _;:rkC fj 7. 总结 WE[m@K[CR Mjj}E
>& VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 s^>lOQ= 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 7B(bH8 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 i~)NQmH< 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 Vd+Q:L
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