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案例024(3.0) P|N?OocE lS3 _Ild 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 EVSK8T, fNEz 1. 建模任务1:金属光栅 Fd"WlBYy0 N<bD ype"7p\ 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 M+UMR+K 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 w)<4>(D *eoq=,O 2. 建模任务2:介质光栅 td/5Bmj W]~ZkQ|P 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 3YRBI|XO 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 y<uE-4 t>@yv# 3. 建模任务 sbjtL, 83xd@-czgh 5@.zz"o.` VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 .9I_NG 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 7 FIFSt 场分布计算能够检测结构内部的热点 sKCGuw(mh GFY-IC+fc 4. TE和TM照明线性光栅 WnO DDr
k7b(QADqUU 5. 铬狭缝的分析 d'q;+jnP Qf~| S9, DoTs9w|5 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 YrKFa%k 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 6DO0zNTY 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 EUXV/QV{ 红线说明了结构的形状(手动添加) Xi*SDy ~W/}:;
6. 三角光栅的分析 ?PYNE 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 e
Ri!\Fx ,iohfZz L<"k7)k 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 ,^M]yr*~ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 H WOek"}Z[ 红线说明了结构的形状(手动添加)。 `-5cQ2>" 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 f!^)!~ *+&z|Pwv[^ 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 e8 v; D 红线说明了结构的形状(手动添加)。 r8<JX5zyuo
Ckw83X 7. 总结 i$g|?g~] NywB3 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 U=M#41J 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 ltP 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 \v.HG]
/u 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 `$f\ %
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