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案例024(3.0) 7IkEud m- ;8O /
该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 K7(k _4
)p> p3b g 1. 建模任务1：金属光栅 +F-Y^):
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在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 +%Kk zdS'
对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 h)j#?\KYm9
(18ZEKk 2. 建模任务2：介质光栅 99By.+~pX
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在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 C"0
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对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 n_LK8 G?\eO&QG{" 3. 建模任务 sKR%YK
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VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 y!R9)=/M
通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 K^tc]ZQ
场分布计算能够检测结构内部的热点 wxj}k7_(`A )^4Ljb1
4. TE和TM照明线性光栅 <&O*'
<6C mJ5%+.V 5. 铬狭缝的分析 ePv`R'#
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1{d; Ngx
通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 PvjZoF["
左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 q *Hg-J}
对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 5[)#3vY
红线说明了结构的形状（手动添加） fz|_c*&64 sM UpkU- 6. 三角光栅的分析 r)Zk- !1 左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 '/0e!x/8
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如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 F]>+pU
由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。 kX }sDvP3
红线说明了结构的形状（手动添加）。 g N [t
左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 @W$ha
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与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 Q!=`|X|:
红线说明了结构的形状（手动添加）。 bT
T> !^0vi3I 7. 总结 8)pL0bg
S<'_{u z VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 #=ij </ 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 B^GMncZO 对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 l=Pw
yJ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。 Lw(tO0b2H
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