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案例024(3.0) C^~iz
in oc?VAF 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 :H87x?e[ >9klh-f 1. 建模任务1:金属光栅 {!4%Z9G I[|I\tW mU_O64 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 :`|,a( 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 +l#2u#e npF[J x[ 2. 建模任务2:介质光栅 dvf*w:5K! 8BN'fWl&E 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 M1i|qjb:l 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 cZ(XY} _Dv^~e1c 3. 建模任务 3_ >R's8P I@B7uFj 0Nfj}sXCWE VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 B+<k,ad 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 ,yF)7fN 场分布计算能够检测结构内部的热点 L9.#/%I\ 4M]8po/; 4. TE和TM照明线性光栅 JB|I/\(A DjKjEZHgM 5. 铬狭缝的分析 o6r4tpiR5 \z{Y(dS x0d+cSw 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 f.= E. % 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 4|(?Wt)5 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 9NT;^K^I 红线说明了结构的形状(手动添加) jBC9Vt;B =~h54/#[I 6. 三角光栅的分析 Hj!)S&y,$ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 A0XFu}
a:fHTU=\p Rc4EFHL 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 %Z7!9+< 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 r)t^qhn 红线说明了结构的形状(手动添加)。 u!i5Q 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 &0g,Xkr /\#5\dHj 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 vf2K2\fn 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ^Toi_ +6=!ve} 7. 总结 xR:h^S^W ~ #jX>FXo VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 ~K9U0ypH 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 zgqw*)C~ 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 QP#Wfk(C 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 ,:`6x[ +
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