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案例024(3.0) xu0pY(n^r p^QB^HEV 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 S~LTLv:> 0xg6 1. 建模任务1:金属光栅 ('.r_F ['n;e:* a7Rg!%r 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 qy|si4IU8, 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 `JL&x|q o \a\ApD
2. 建模任务2:介质光栅 <oWoJP`G m`lsUN, 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 |CFTOe\q 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 uEKa
FRm @z)_m!yV1 3. 建模任务 *z
A1 NH5 7 V+rQ }PDNW VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 55T c 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 p94 w0_m@| 场分布计算能够检测结构内部的热点 p#95Q Z,osdF 4. TE和TM照明线性光栅 BSu
]NOwe OjiQBsgnj 5. 铬狭缝的分析 4h[^!up.7 /P/S0 "~lGSWcU 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 G}b LWA 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 *Q8d&$ ^ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 ?0VLx,kp 红线说明了结构的形状(手动添加) M6b;
DQ }Myi0I< 6. 三角光栅的分析 <2a7>\74E0 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 jreY'y: iE$/ Rcp |H4/a;]~ 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 Rg6e7JVu 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 GUyc1{6 红线说明了结构的形状(手动添加)。 /#M|V6n 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 z;_d?S<*m *?`:= 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 >aZ$x/U+Iw 红线说明了结构的形状(手动添加)。 P:")Qb2 Uv06f+P( 7. 总结 04wmN J!:ss VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 l%^'K%'b 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 S/
Y1NH 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 %HJ_0qg 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 :B<lDcFKJ
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