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案例024(3.0) ws$!-t4<( W%RjjLJ@ 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
$mG&4Y `ynD-_fTN 1. 建模任务1:金属光栅 ~ugK&0i[2 gb_k^wg~1' N!F ;! 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 W.AN0N 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 p<3^= 8Y$ I 0}+}{M: 2. 建模任务2:介质光栅 YkLEK|d v-@xO&< 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ,-*oc> 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 M&iA^Wrs ,kKMUshBi 3. 建模任务 wA<#E6^vG kiFTx
&gf SD^6ib/]b VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 64OgE! 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 "!6 Ax-' 场分布计算能够检测结构内部的热点 :kDHwYv$ 4X2/n 4. TE和TM照明线性光栅 3yu{Q z5y, BJI
R !J 5. 铬狭缝的分析 wZm=h8d ',yY 48BPo,nWR 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 QviH+9 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 6A]Ia4PL 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 r}y]B\/ 红线说明了结构的形状(手动添加) 'i|z>si[* YRYAQj/7 6. 三角光栅的分析 wV;qc3 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 }pa@qZXh /CAi%UH,F MNKB4C8> 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 %K_[Bx{B 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 hYW<4{Gjr 红线说明了结构的形状(手动添加)。 F$FCfP7 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 {Ah\-{] gekW&tRie 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 qmcLG*^, 红线说明了结构的形状(手动添加)。
zF2GW A({8p 7. 总结 F.b;O : ui,#AZQ#{4 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 k4+F 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 qsUlfv9L6 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 eXI ^9uH 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 ~bCn%r2
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