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案例024(3.0) te#Wv9x
o+FDkqEN 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 !s[[X5 -h,?_d> 1. 建模任务1:金属光栅 3|1v)E 63pd W/\j !,cfA';S 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 cFloaCz 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 %bgUU|CdA ~>>^7oq 2. 建模任务2:介质光栅 '>#8
F. 2X@" #wIg 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 t'e5!Ma 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 qPgny/( Ws:MbZyr 3. 建模任务 6[&x7" 4)E$. F^ 9 kLA57 VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 MW|:'D` 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 )PjU=@$lI 场分布计算能够检测结构内部的热点 Q-y`IPtA< J42/S [Rt 4. TE和TM照明线性光栅 c4(og|ifk D`2w>{Y 5. 铬狭缝的分析 +W}6o3x~ b_a6| 4*V[^mht 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 JO&L1<B{v 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 0K^?QM|S 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 ^W,~ 红线说明了结构的形状(手动添加) i&\cDQ 3 O#x=iZI 6. 三角光栅的分析 Z90]I<a~ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 WXe]Q bg P$*9Z@ ]Yk)A.y 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 b
r\_ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 28LYGrB
红线说明了结构的形状(手动添加)。 ZFRKzPc
{V 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 z^\-x9vL CX#d9
8\b 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 $Ahe Vps@@ 红线说明了结构的形状(手动添加)。 }mOo= )C! my%MXTm2 7. 总结 q0VR&b`?>D sI6coe5n VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 C!W0L`r 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 /^=8?wK 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 1;eWnb( 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 ayQ2#9X}
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