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案例024(3.0) 6V1
Z(K C,{ Ekbg 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 oMN
Qv%U ITjg]taD 1. 建模任务1:金属光栅 m9Dg%\B <|:$_&( VO*fC 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 mpl^LF[ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 `h1>rP ~@iYP/=/Q 2. 建模任务2:介质光栅 'W[Nr |%=c<z+8 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 "6iq_!#L 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 gac/%_-HH7 kgRgHkAH~ 3. 建模任务 xllmF)]*Y IPnx5#eB
.~4DlT VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 RD*.n1N1 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 w{Y:p[} 场分布计算能够检测结构内部的热点 W-vEh Wt!NLlN8 4. TE和TM照明线性光栅 &>hln<a> L4Si0 K 5. 铬狭缝的分析 4[K6 ZDBU ;3sJ7%`v iIg99c7/&9 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 @]%cUjQ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 U6_GEBz~y 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 q.p.y0 红线说明了结构的形状(手动添加) \J{%xW> luO4ap]* 6. 三角光栅的分析 h/#s\>)T 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 74%Uojl" /k^O1+]H Uj~
:|?Wz 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 0S>U_#- 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 s|C4Jy_ 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ww~gmz 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 .^uYr^(|[ QdP)-Fx 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 n)>nfnh 红线说明了结构的形状(手动添加)。
/w(t=Y k+Ay^i}s. 7. 总结 @jH8x!5u: dn=g!= VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 `T$CUlt6 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 GvD{ I; 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 N>+L?C 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 {@<EVw
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