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案例024(3.0) 'i8U 7P B)'Wl"6 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 ;oxAe<VIj <|*'O5B 1. 建模任务1:金属光栅 KT.?Xp:z #-"VS-.< tj*y)28- 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 v`c$!L5 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 &(a(W22O TS"D]Txs 2. 建模任务2:介质光栅 PU {uE[ R|P_GN6> 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 M('d-Q{B7L 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 2T)sXB u hAqg Iu* 3. 建模任务 T'#!~GpB /U$8TT8+- a1.|X i'/z VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 mF09U(ci 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 $>R(W=Q 场分布计算能够检测结构内部的热点 RkuuogZ -/D|]qqHm 4. TE和TM照明线性光栅 rxO2js )B!d,HKt; 5. 铬狭缝的分析 W"Jn(:& q+a.G2S e9^2,:wLB 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 XMRNuEU 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 xAwf49N~ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 ;$BdP7i: 红线说明了结构的形状(手动添加) 3_`szl- Hwm?#6\5 6. 三角光栅的分析 -Z^4L 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 X8<2L2: _ jAo:K_Z R[1BfZ 6s 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 &kQ!KA28 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 pGIe=Um0W 红线说明了结构的形状(手动添加)。 G_ Ay 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 }4nT.!5
*o' 4,+=am 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 g6sjc,` 红线说明了结构的形状(手动添加)。 }wSy 2N~ E' 25 7. 总结 n~Szf W3Ulewa VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 /.=r>a}l 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 nSY-?&l6P 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 ;t]|15]u 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 sg'NBAo"
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