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案例024(3.0) hYyIC:PXR ^GV'Y 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 h<LS`$PK;E NUM!'+H_h 1. 建模任务1:金属光栅 %qcCv9 S8qg"YR Re~6' 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 pF6u3] 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 _f2rz+ ds`YVXKH 2. 建模任务2:介质光栅 vFHeGq70j h];H]15& 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 Z5'^Hj1, 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 .pZYPKMaE +8ib928E 3. 建模任务 _t,aPowX bCP2_h3* ,>#\aO1n VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 o,j_eheAM 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 ;m]
n l_vg 场分布计算能够检测结构内部的热点 6v{&, q d>#',C#; 4. TE和TM照明线性光栅 PJ:!O?KVq 3 US`6Y" 5. 铬狭缝的分析 v1i-O' Ib{#dhV CV
HKP[- 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 $-^&AKc 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 +D
@B eQu 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 sh,4n{+ 红线说明了结构的形状(手动添加) enxb
pq# V%[t'uh 6. 三角光栅的分析 >4bw4
Z1 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 (soTkH:# ~c&sr5E J|jvqt9C 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 \$Ky AWrZi 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 ;R&W#Q7>3 红线说明了结构的形状(手动添加)。 3R$R?^G 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 yU(}1ZID 1
39T*0C 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 ga KZ4# 红线说明了结构的形状(手动添加)。 $C=XSuPNK ((AK7hb 7. 总结 f3,LX]zKA dVq9'{[3 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 e4_A`j' 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 )y:M8((% 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 >&>EjK4? 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 P$Yw'3v/
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