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案例024(3.0) +!E9$U>6% -mn/Yv 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 :#35mBe}k 6H5o/)Q~ 1. 建模任务1:金属光栅 i/H;4#Bz vt^7:!r -aS@y.z 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 1 ]
cLbJ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 Y6Cm
PxOQ v9Sk\9}S 2. 建模任务2:介质光栅 <\O8D0.d HGh
-rEh 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 NsSZ?ky 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 bgKC^Q/F }+G5i_a 3. 建模任务 9==4T$nM[ ,aGIq. *v xkiiQs) VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 wy#>Aq 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 79@CO6 场分布计算能够检测结构内部的热点 oz)4YBf 1"75+Q>D 4. TE和TM照明线性光栅 e&U$;sS` Wf"GA i 5. 铬狭缝的分析 _$5DK%M} OFyy!r@? KK2YT/K$SG 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 kp* ! 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 yiI
oqvP 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 czpu^BT;;T 红线说明了结构的形状(手动添加) <FBBR2 fCF.P"{W" 6. 三角光栅的分析 $p4e8j[EJ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 k{{3nenAG v<g=uEpN ?kQY ^pU 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 j~K(xf 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 ?%qaoxG37 红线说明了结构的形状(手动添加)。 zGyRzxFN 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 fRLA;1va <N$ Hb2b 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 @48!e-W 红线说明了结构的形状(手动添加)。 `PL}8ydZ f_[dFKoX 7. 总结 5X+`aB wv." VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 %_4#WI 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 9X=<uS 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 ~mXzQbe
p 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 GdNhEv
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