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案例024(3.0) wO\,?SI4 bBwMx{iNNz
该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 >|Xy'ZR
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x 1. 建模任务1：金属光栅 Xgq-r $O2X
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在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 Ojea~Y]Sr
对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 }Z^r<-N
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mihWD02 2. 建模任务2：介质光栅 .Ioj]r
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在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 W.nQYH
对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 :Ng4?
+@r ry99R|/d1 3. 建模任务 Z: TW{:lrI +A 3Q$1F
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VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 FrPpRe %!
通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 .tFMa:
场分布计算能够检测结构内部的热点 A4kYE A jGp|:!' w
4. TE和TM照明线性光栅 zYL</!6a[ _PI w""ssr 5. 铬狭缝的分析 ( C1@f!Z
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通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 EUVB>%P
左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 #zRT
对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 t A,#!Z0
红线说明了结构的形状（手动添加） M@R_t(&= 9lT6fW`v1Q 6. 三角光栅的分析 ;JNI $DR 左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
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如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 jsXj9:X I
由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。 4 nIs+
红线说明了结构的形状（手动添加）。 {e>E4(
左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 tks3xS
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与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 3n\eCdV-b<
红线说明了结构的形状（手动添加）。 b[mAkm?9+1 g{]C@,W 7. 总结 %`o3YR
ao@"j}c VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 f,e7;u z% 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 Iy2KOv@a5 对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 pO2Y'1* 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。 xe4F4FC'
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