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案例024(3.0) };%l <Ui; c%,~1l 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 ^M60#gJ \Q[u ?/TF 1. 建模任务1:金属光栅 _+z5~6> /L,VZ?CmtK }lzUl mRTe 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 Dg]( ?^ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 n JH+P!AC s UX%{|T_ 2. 建模任务2:介质光栅 G&FA~c h\GlyH~ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 bN-ljw0& 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 ooa>~!91P >P*wK9|( 3. 建模任务 NIn# gGl}~ F.:B_t VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 ; n tq% 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 X.V6v4 场分布计算能够检测结构内部的热点 Aa^%_5 @ %LrpD 4. TE和TM照明线性光栅 u
Ey>7I z&!n'N<C 5. 铬狭缝的分析 B16,c9[ ]<\FtH D,Ft*(|T 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 f"emH 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 R<>ptwy 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 rOC2 S(m 红线说明了结构的形状(手动添加) f,utA3[ "W:#4@
F 6. 三角光栅的分析 Si[:l 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 JY4sB8 fz
H$`X'M Ra%" += 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 g~EJja; 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 /Q
Xq<NG 红线说明了结构的形状(手动添加)。 R{zAs?j 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 =<nx[J ~4HS
2\ 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 u;$g13 红线说明了结构的形状(手动添加)。 WVPnyVDc CT1)tRN 7. 总结 +
k1|+zzS rv/O^aL`Y VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 W10=SM} 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 )%D2JC 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 @"[xX}xK; 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 )@"iWQ3K
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