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案例024(3.0) HG=!#-$9 uc=-+*D'I 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 ECg/ge2 4'Vuhqk 1. 建模任务1:金属光栅 zL3~,z/o x
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~]Uo 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ;r^8In@6 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 Bu>srX9f K^A\S 2. 建模任务2:介质光栅 Qgo0uuM @ L% 3} 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ub+>i 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 !7AW_l9`i M `Y~IG} 3. 建模任务 1-r1hZ- F{]dq/{ ZaH<\`=% VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 m,Q<4' 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 R7ZxS 场分布计算能够检测结构内部的热点 t \DS}3pv 2Ev~[Hb. 4. TE和TM照明线性光栅 22}J.'Zb 9"=:\PE 5. 铬狭缝的分析 d@7
]=P: tE3!; Sw%=/ g 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 f/*Xw {s# 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 >Ah [uM 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 C[& \Xq 红线说明了结构的形状(手动添加) !j%v Ue;t -?2ThvT 6. 三角光栅的分析 {]Nvq9? 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 >e=tem~/ g>/,},jv[x Rzj5B\+Rk( 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 p8%x@%k 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 E2LpQNvN%g 红线说明了结构的形状(手动添加)。 dL |D 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 `L]cJ0tAs .N5}JUj 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 Jq<&`6hn 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ;pBSGr9 DN;g2R`f 7. 总结 \a<qI HB||'gIC VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 ,wlFn 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 deQ0)A 4g 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 :nCGqg 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 $FNj>1
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