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案例024(3.0) :8yrtbf$ V4/eGh_T 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 [sACPn$f K31Fp;K 1. 建模任务1:金属光栅 E5-8tHV ^
chlAQz( L$lo5 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 \'BKI; 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 (J$JIPF q35%t61Lc 2. 建模任务2:介质光栅 [@Uc4LX _S@s 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 wz>j>e6k` 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 tul5:}x3 zSDiJ$Xk 3. 建模任务 j$N`JiKM %6kD^K- LOR$d^l VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 h#;fBQ]
通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 n3~xiQ' 场分布计算能够检测结构内部的热点 )k0bP1oGS Vu;tU. 4. TE和TM照明线性光栅 (O/hu3 NVJvCs)3f 5. 铬狭缝的分析 F RS@-P k<8: #H M0s~^w& 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 mZMLDs: 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 qhL e[[> 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 EDL<J1% 红线说明了结构的形状(手动添加) ,i,f1XJ| yd`.Rb&V 6. 三角光栅的分析 +#'exgGU^[ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 <Pg.N \HTXl] GMB%A 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 CNfeHMT 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 G)'cd D1 红线说明了结构的形状(手动添加)。 |CStw"Fog 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 /$+ifiFT W#-M| 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 [$-y8`~( 红线说明了结构的形状(手动添加)。 {.Nt#l }g>&l.2X 7. 总结 GJ{]}fl 7NoB VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 4`!(M]u= 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 WElB,a-RCp 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 0m51nw~B 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 YI&^j2
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