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案例024(3.0) Zs3xoIW7Ai Lp }V 94xT
该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 o.|36#Fa
K%t&a RjS 1. 建模任务1：金属光栅 Rc D5X{qS#
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在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 7J$rA .tu
对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 |d6/gSiF
fo /sA9 2. 建模任务2：介质光栅 <~v4BiQ3l^
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在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 @ra JB '
对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 F/t Ryq`D >}]bKq 3. 建模任务 Zg4wd/ y? 5RO6YxQ
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VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 @{3_7
通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 VTDnh*\5
场分布计算能够检测结构内部的热点 ^: f)XZ HJ"sK5Q
4. TE和TM照明线性光栅 C deV3 5OO XCtIKf 5. 铬狭缝的分析 & n83 >Q
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通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 w+!V,lU"^
左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 =Bh,>Kg
对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 v!<FeL W
红线说明了结构的形状（手动添加） 3y:),;|5 [6.<# _~{ 6. 三角光栅的分析 *(i %\ 左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 KqaEHL
r"x}=# b!
7+[L6q/K
如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 q
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由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。 Sw[*1C 8
红线说明了结构的形状（手动添加）。 YxU->Wi]G
左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 Dp^=% F{t
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与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 #q&N d2y
红线说明了结构的形状（手动添加）。 !l . ^]| '?{L
gj^R 7. 总结 { M[iYF g=
?&U~X)Q VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 >k/
rJ[Sc 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 S!JLy &@ 对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 pm= s 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。 Yc5)
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