|
案例024(3.0) M/V"Ke"N !5+9~/; 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 _)-2h[ W(ZEqH2 1. 建模任务1:金属光栅 Ct/6< j5Yli6r?3- p"\-iY] 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 m";8 nm 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 nb5%a O'SxTwO 2. 建模任务2:介质光栅 Ahd{f! Z[+Qf3j}o6 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 L%9yFg%u 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 #oGvxc7 P)TeF1~T 3. 建模任务 ~R|fdD/% i\36 s$\ ^1}ffE(3> VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 nkk GJV! 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 n=fR%<v 场分布计算能够检测结构内部的热点 Fo"'[` !x:w2 4. TE和TM照明线性光栅 iEFS>kL8e >fR#U"KPAB 5. 铬狭缝的分析 AMgvk`<f y(#F&^| @7PE&3 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 I@a7!ugU65 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 -JF|770i 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 DA4!-\bt@ 红线说明了结构的形状(手动添加) U|h@Pw z Q!%CU8!`& 6. 三角光栅的分析 ;rta#pRn 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 [/t/694 .+AO3~Dg CtDS lJ 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 X 'bp?m 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 ]*;+ U6/? 红线说明了结构的形状(手动添加)。 kqAQrg]n 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 HNoh B4vt -p!KsU 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 *DoEDw 红线说明了结构的形状(手动添加)。 oB Bdk@ A[':O*iB 7. 总结 J>Rt2K *t |j+*c}
VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 /[#{#:lo2 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 Js#c9l{{ 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 ZCJ8I 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 Xhkw<XbV
|