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案例024(3.0) ?ok)>P <B) 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 Ux}W&K/?' #Ao !>qCE 1. 建模任务1:金属光栅 _{$fA6C >F[GVmC 2JZdw 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 I8u!\F 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 {q,?<zBzu s?c JV` 2. 建模任务2:介质光栅 \GL*0NJ ^ H3m\!h 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 `\N]wlB2/b 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 E!!
alc{ 51 4Z<omrK 3. 建模任务 q@l(Qol CxDcY (.?ZKL VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 _Yq@ FOu 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 ORBxD"J& 场分布计算能够检测结构内部的热点 :,
_!pe;H I\zemW! 4. TE和TM照明线性光栅 Fp%Ln(/m g)R1ObpZ 5. 铬狭缝的分析 ((<`zx 0%<+J;'o aSL6zye
, 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 %;|0 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 W~ruN4q. 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 YQd:M%$ 红线说明了结构的形状(手动添加) fu4!t31 z%sy$^v@vD 6. 三角光栅的分析 >c~RI7uu 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 {@.Vh] "0Q1qZ x2W#ROfg 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 F!yV8XQ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 ~<)vKk 红线说明了结构的形状(手动添加)。 HBiBv-=, 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 ->gZ)?Fqy gU;&$ 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 =Op+v" 红线说明了结构的形状(手动添加)。 Ri)uq\E/# O0huqF$K 7. 总结 pe.QiMW{8 I=Ijdwb H VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 ;Vu5p#,O<M 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 41Ve}% 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 PsnGXcj 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 7L3ik;>
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