[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 B;$5*3D+  
1F-L(\oKm  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 IbC)F> Dq  
]y/:#^M+  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? /fEXAk  
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希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 -u(#V#}OV?  
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P.S. }#@LZ)]hK  
hvwr!(|W  
AR與MGF2皆為EB製程 iQQJ`  
scmbDaOn  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M +xa2e?A%L  
-b<+Ra
 
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  P*_Q8I)Y  

N[Fz6,ZG _  
我用的材料為石英 Av{1~%hU  
+<I>]J2  
您說的沒錯 A@GyKx%x$  
d+l@hgz~  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象  'y1=Z  
60*=Bs%b  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  1%g%I8W%  

MF69n,(o  
我用的材料為石英 9mZ[SQf  
,t2Mur  
您說的沒錯 ,6J]oX  
(= #EJB1(  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 &?59{B.mD  
,ELbm  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了