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    [求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

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    离线rexchou
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2016-04-29
    此帖悬赏结束
    最佳答案:5 光币,最佳答案获得者:yangyangyang
    最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 8/$iCW  
    ]@T `q R  
    若無鍍MGF2則無此現象,推估為MGF2造成 3evfX[V#  
    cDyC&}:f  
    不知道是為什麼,且放一段時間會消失(約3~7天),有人有預過這種情況嗎?? SFNd,(kB*z  
    TmAb! Y|F  
    希望有人可以告訴我,或者提供意見交流 .[85<"C  
    rGL{g&_  
    P.S. ]-L E'Px|  
    ?S:_J!vX{  
    AR與MGF2皆為EB製程  o*1`,n  
    JY8pV+q @=  
    膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M $gK>R5^G>  
    > o`RPWs  
    起鍍真空為5E-4pa
     
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    离线yangyangyang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2016-05-05
    最佳答案奖励:+5 光币
    从你发的来看,应该问题是出在放气阶段产生的,你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下,我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅,优化一下膜系实验一下
    离线贾松山
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    只看该作者 2楼 发表于: 2016-05-27
    热心助人奖励:+1 光币
    氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的,举例说当最外层氟化镁少时,用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下,
    离线rexchou
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    只看该作者 3楼 发表于: 2016-05-09
    回 yangyangyang 的帖子
    yangyangyang:从你发的来看,应该问题是出在放气阶段产生的,你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下,我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅,优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  &-A 7%"  
    g&V.o5jIhc  
    我用的材料為石英 G$b4`wt  
    RZjR d  
    您說的沒錯 q[lqEc  
    K(^x)w r-:  
    最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 r{_'2Z_i  
    >Ko )Z&j9W  
    已經確認放氣時間拉長無法改善此問題
    离线rexchou
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    只看该作者 4楼 发表于: 2016-05-09
    回 yangyangyang 的帖子
    yangyangyang:从你发的来看,应该问题是出在放气阶段产生的,你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下,我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅,优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  xU&rUk/L  
    *,. {Xf  
    我用的材料為石英 ..!yf e"5  
    \bg^E>-  
    您說的沒錯 jC oZm(bi  
    g N[r*:B  
    最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 23>?3-q  
    'fB`e]_  
    已經確認放氣時間拉長無法改善此問題
    离线jakzhou
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    只看该作者 5楼 发表于: 2016-05-24
    好东西
    离线jakzhou
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    只看该作者 6楼 发表于: 2016-05-27
    什么呀
    离线jakzhou
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    只看该作者 7楼 发表于: 2016-06-02
    ipnuk 泥浆中
    离线长江
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    只看该作者 8楼 发表于: 2016-07-28
    是个好方法
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    只看该作者 9楼 发表于: 2017-04-07
    好东西,学习了