示例.0082(1.0)
$`j%z@[g 9<n2-l|) 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
$inlI_ & "i 4og< 1. 描述
Y`F) UwKK ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
[wU e"{ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
3LGX ^J<f ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
F<.oT P-B Y TpiO Pf 2. 系统
r$[`A_ %,T=|5 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
WC0z'N({W 3. 透镜系统组件编辑
@k=UB& ?I &!P' M ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
<O Y (y#x ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
$%BI8_ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
IiU\} <O ■ 包括序列光学表面和光学介质。
>{6U1ft): -pmb-#`M 4. 光线追迹系统分析器-选项
e5RF6roxO 9?X8H1 [)+wke9 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
d1P|v(
`S9 ■ 可以选择选取光线的方法：
XHU\;TF — 在x-y-网格
k5M5bH', — 六边形
= N&5]Z — 自由选取
s$% t2UaV ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
{N3&JL5\"E gY'-C 5. 系统的3维视图
fm q''1u H*j!_>W 
/KL krW 6. 其他系统参数
SZ2 9B ■ 系统由单色平面波
照明 8`<e\g7- ■ 照明波长266.08nm
(C;Q< ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
>?Duz+W) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
]_BH"ng} — 一个虚拟屏位于焦平面
vPz$+&{I —
光束尺寸探测器置于焦平面
lD ^c_ b ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
,,SV@y; Ptz## o'{5 7. 光线追迹系统分析器的结果
C}#$wge
@U3:9~Q 光线经过整个光学系统的三维视图
T>f6V 5 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
dz?On\66 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
X n8&&w" t~7OtPF TjDtNE ■ VirtualLab可用于计算点列图。
JK`$/l |7 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
?&' Kw>s@ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
X% )~i[_DV ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
jST4O"DjM [YP{%1*RM 9. 焦平面上的结果
$ay!'MK0d 43x2BW&& hxzA1s%~ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
*Y?oAVkz ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
(i L*1f ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
{G0=A ~ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
%ufh ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
~4pP(
JP obE8iG@H 10. 总结
jQxhR ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Ui!l3_O ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
<}:` Y" ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
d!w3LwZ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
e'>q( B N2k<W?wQ （来源：讯技光电）
