示例.0082(1.0)
;eP. B/N #ihHAiy3 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
qO>A 6 -\g@s@5 1. 描述
D`PA@t ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
":L d}~> ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
O Js
s ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
yXro6u?rC ,772$7 x 2. 系统
A~8-{F 31 xUIH,Fp-9 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Bacmrf 3. 透镜系统组件编辑
B`|H }KU 1P/4,D@ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
1Pd2% ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
U.J/ "}5`T ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
8[u$CTl7a ■ 包括序列光学表面和光学介质。
P ,7beHjf q ` @8 4. 光线追迹系统分析器-选项
j8?rMD~ 9<"l!noy y {QF#&lW ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
S oB6F9 ■ 可以选择选取光线的方法：
Yu|L6#[E — 在x-y-网格
n)rSg zI — 六边形
't3nh — 自由选取
p; LF-R ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
"XKd#ncP qa5 T(: 8 5. 系统的3维视图
g;!,2,De} M;E$ ]Z9 
vFsl]|<;8 6. 其他系统参数
Ai5D[ykX ■ 系统由单色平面波
照明 Q}]RB$ZS ■ 照明波长266.08nm
]]|vQA^ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
{(^%2dk83C — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
?yAjxoE~? — 一个虚拟屏位于焦平面
<*DP G\6Ma —
光束尺寸探测器置于焦平面
6g'+1%O ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
G": u::h R O+ o_{t\R 7. 光线追迹系统分析器的结果
C8
"FTH' VY "i>Ae 光线经过整个光学系统的三维视图
] D|Hq4ug 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
gv9z`[erS 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
o`\@Yq$. \rmge4`4 KJ8Qi+cZ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
*@[+C~U ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
)[5 .*g@ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
_~uYNvmg ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
iFaC[(1@a Eb9{ 9. 焦平面上的结果
1#^r 5E4 |1Pi`^ `Qo}4nuRs ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
d# q8- ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
aKC3v R0 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
>A1;!kGE# ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
^|=3sJ4[U ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
S&;D C07 U.nzh 10. 总结
FY <77i ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
+AL(K: ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
B I 0 A0 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
N1u2=puJY ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
p`{ | [< q<w Q/m （来源：讯技光电）
