示例.0082(1.0)
8kE]_t l5%G'1w#,j 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
5 hj
CQ7{1,?2 1. 描述
)C(>H93 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
5wB => ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
_$NI p `d ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
r;9 r!$d !IU.a90V 2. 系统
eg<bi@C1| Dih6mTP{ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
-m'j]1 3. 透镜系统组件编辑
lPH%Do>K /-zXM;h ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
AIb2k ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
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FI\$qB\ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
nKR{u g>I) ■ 包括序列光学表面和光学介质。
QY/hI ` s,bERN7'yO 4. 光线追迹系统分析器-选项
mOo`ZcTU d@w~[b Yw _+`,W ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
*"9><lJ-! ■ 可以选择选取光线的方法：
GdB.4s^ — 在x-y-网格
xw {-9k -~ — 六边形
gVeEdo`$< — 自由选取
'c\iK=fl ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
mw_Ew]& \xg]oKbn 5. 系统的3维视图
wf, 7== y A{ W 
y H] [(o=2 6. 其他系统参数
Qf@I)4' ■ 系统由单色平面波
照明 !4] 9!<.k ■ 照明波长266.08nm
^Rm ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
S9HwI H\m — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
"3FihE]k — 一个虚拟屏位于焦平面
(EPsTox —
光束尺寸探测器置于焦平面
Q)"A-"y ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
\uss Uv x8GJY~:SW 7. 光线追迹系统分析器的结果
o 1nURJ! 8p[)MiC5W^ 光线经过整个光学系统的三维视图
8L w B
B 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
R $zH] 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
<w3!!+oK" ctcS:<r/3@ o M Zq+> ■ VirtualLab可用于计算点列图。
j 65<8svl ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
B=|cS;bM$3 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
EJ2yO@5 O ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
a&vY!vx 3 V)}rEX 9. 焦平面上的结果
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(X y(K"
- ? 37}D9:#5C ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
eF2|Wjl``; ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Agrk|wPK ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
B7imV@< ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
R ##~*># ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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10. 总结
<tioJG{OT ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
kZ"BBJ6w ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
}V\N16f ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
XC+A_"w) ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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Q （来源：讯技光电）
