示例.0082(1.0)
Vy*:ne s:p[DEj- 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
ox:[f9.5 *NkA8PC 1. 描述
M&N B/ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
<Ard 7UT ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
`!D s6 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
*g y{] 0G7K 8`a 2. 系统
'd+N Vj{C VYt!U 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
OR}c)|1 3. 透镜系统组件编辑
)\6& 12rj JNkwEZhHyg ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
N@O8\oQG ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
LbaK={tR ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
`}BF${vF ■ 包括序列光学表面和光学介质。
oI}kH=<, U
f|>
(C 4. 光线追迹系统分析器-选项
mN! lo;m5 T :/,2.l OfctoPP _0 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
GP&vLt51 ■ 可以选择选取光线的方法：
r *$Ner — 在x-y-网格
Z^]|o<.<I — 六边形
$aN-Y?U% — 自由选取
*uo'VJI7_, ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
= M]iIWQ@` g.'yZvaP 5. 系统的3维视图
n| b5? 3 z)z{3rR|PW 
5B&;uY 6. 其他系统参数
F)+{AQL ■ 系统由单色平面波
照明 %F:)5gT? ■ 照明波长266.08nm
oP!;\a( SL ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
|1ST=O7.LH — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
AC;V
m: @{ — 一个虚拟屏位于焦平面
hQ(qbt{e —
光束尺寸探测器置于焦平面
SB5&A_ tr ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
hSFn8mpXT Nz U,va N 7. 光线追迹系统分析器的结果
!-N6l6N 1gmt2>#v% 光线经过整个光学系统的三维视图
C4hx@abA 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
%I-+Ead0i 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
%H]lGN) -
/(s#D m;D- u>o ■ VirtualLab可用于计算点列图。
{}QB|IH` ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
^bc;[x &N ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
d3W0-I NL ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
j'aHF #_ LwhyE:1 9. 焦平面上的结果
)ZBY* lk9 /D q LrA &Ch#-CUE/ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
NvHJ3> "% ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
WdZ:K, ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
esHQoI h d ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
?gPKcjgoH! ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Yr w$ z f wS 10. 总结
rHf&:~ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Zum0J{l
h ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
u{FDdR9< ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
$&"V ^@ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
9elga"4:' `E!N9qI?t$ （来源：讯技光电）
