示例.0082(1.0)
V1[Cc?o Mf 7 Z5 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
du,mbTQib 2~yYwX 1. 描述
<1r#hFU UL ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
uc>u=kEue ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
}/dGC;p" ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
* z,] mi% BSe{HmDq 2. 系统
H0!W:cIS;l qa>Z?/w 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
cV=0)'&<`_ 3. 透镜系统组件编辑
FU;b8{Y *{_WM}G ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
K) e;*D ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
$K_G|Wyi ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
oqLM-=0<} ■ 包括序列光学表面和光学介质。
,C4gA(')K [SnnOq Ww 4. 光线追迹系统分析器-选项
^oykimYI- w(>mP9Cb ~ "eQPTd ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
A6a r@$MZ ■ 可以选择选取光线的方法：
n U0 — 在x-y-网格
dm;C @.ML — 六边形
$ mH'%YDIl — 自由选取
BWtGeaW/sr ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
6),U(e% rsr}%J 5. 系统的3维视图
OrN~ Y#D \J]qd4tF 
uA`EJ )d 6. 其他系统参数
{*#}"/:8K ■ 系统由单色平面波
照明 4&)4hF ■ 照明波长266.08nm
UW!*=?h ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
S"}G/lBx. — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
l_?r#Qc7 — 一个虚拟屏位于焦平面
.ty^ k@J|] —
光束尺寸探测器置于焦平面
Wc iw6.@ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
28u3B2\$ N;\G=q]
9 7. 光线追迹系统分析器的结果
=_\+6\_ h;s~I/e( 光线经过整个光学系统的三维视图
7v{X?86& 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
APne! 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
1Tb'f^M$ ap
5D6y+ 0$saDmED ■ VirtualLab可用于计算点列图。
r~<I5MZY ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
_^Ds[VAgA ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Or({|S9d2 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
mN!5JZ' 2 Q!%C:b 9. 焦平面上的结果
ITUwIpA E ~7kIe+V ('9LUFw\ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
-GqMis}c ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Q&JnF`* ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
TB oN8cB} ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
yf lt2 R ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
lZ\Si O8!> t7x 10. 总结
S yf0dp3 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
H#Aar ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
v/1&V+"^kd ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
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yO ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
\G+uK:PC, u'm[wjCj c （来源：讯技光电）
