示例.0082(1.0)
=-dg]Ol8 Mr}K-C?ge 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
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o\R Ux rG t/ /6 1. 描述
D= ^|6} ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
qF? n&>YG ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
4UISuYg' ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
9e _8Z@| I #bta 2. 系统
u]$e@Vw. " 0sk(kT 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
/4 M~ 6LT` 3. 透镜系统组件编辑
,?KN;~t#vz ~2L]K4Z^ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
mh :eUFe ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
?H0"*8C?Y ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
7O]$2 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
ibqJ'@{=e =}xH6^It 4. 光线追迹系统分析器-选项
;X }!;S%K ;W2Rl%z88 of<(4< T ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
>&?k^nI}J ■ 可以选择选取光线的方法：
@\}w8 — 在x-y-网格
i[N= . — 六边形
'> U&B} — 自由选取
{~0 r3N4Zl ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
`;v5o4.` Pq<]`9/w^w 5. 系统的3维视图
F&6Xo]? "b
`R_gG9 
Gi 7p`F. 6. 其他系统参数
RKtU@MX49 ■ 系统由单色平面波
照明 vNIQ1x5Za ■ 照明波长266.08nm
T*b Bw ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
nm{J — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
0NFYFd-50 — 一个虚拟屏位于焦平面
LR:meCOI —
光束尺寸探测器置于焦平面
VPI;{0kh ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
w\`u |f;Aq 4cQ| "sOzD 7. 光线追迹系统分析器的结果
upefj wm NB#- W4NA 光线经过整个光学系统的三维视图
Cj3C% W 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
Dqg~g|(Q< 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
K)_DaTmi) mWiX@ #, /5&' U!:+ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
o >?#$~XNv ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
@@ ~Ql ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
:J~sz)n4 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
#57D10 j WJs2d73Qp 9. 焦平面上的结果
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d7i 0'R Qk#`e ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
rhQv,F9 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
xu(N'l.7& ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
s;!Tz) ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
k*$[V17 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
,5J}Wo?Q} am(jmf:: 10. 总结
m |%ly ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
l
4e`-7 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
TD6MP9L ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
{6Qd,CX ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
JV_ V2L1Ut c@<vFoq （来源：讯技光电）
