示例.0082(1.0)
JS<e`#c& (:t Tx>V# 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
,Y 78Q r*~n` 1. 描述
yHa:?u 6 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
a!s. 850@ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
GQEI f$ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
'f p<FeTg C*Y
:w 2. 系统
%[+a[ / "<g?x`iz 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
gPA>*;?E;@ 3. 透镜系统组件编辑
wj5qQ]WC F$"MFdc[ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
6!gtve_
■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
Kt/+P S ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
Q"l"p:n%n ■ 包括序列光学表面和光学介质。
.(gT+5[ 8AC. 2 v?_ 4. 光线追迹系统分析器-选项
5bGjO&$l ZC9.R$}Kl Pp i- skT ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
dA_V:HP ■ 可以选择选取光线的方法：
RGx]DP$5G — 在x-y-网格
O>tC] sm% — 六边形
EL2 hD$ — 自由选取
KV) Hywl` ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
O9Jx%tolF% ]%WD} 4e 5. 系统的3维视图
GDNh?R a
V+o\fId 
/eU1(oo&`5 6. 其他系统参数
QTrlQH &p ■ 系统由单色平面波
照明 Jm*M7g j ■ 照明波长266.08nm
,&z j Oc_v ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
r=iMo7q — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
O[5_ 9W
4 — 一个虚拟屏位于焦平面
pJ)+}vascR —
光束尺寸探测器置于焦平面
{YO%JTQ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
uZ=UBir jU3 ;jm.) 7. 光线追迹系统分析器的结果
qD=m{O8%_ jmk*z(}#: 光线经过整个光学系统的三维视图
>TY5ZRB 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
S$kuhK>W! 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
qk+{S[2j P(YG@ Te U7W?M^ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
&[2Ej|o ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Aa\=7 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Ql6ai
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
)68fm\t( ;([tf; 9. 焦平面上的结果
+DbWMm !=h|&Vta 9Qs"X7 iH ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Uf2v$Jl+Yh ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
lu@>?,< ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
5w [ = ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
BJ.8OU*9]S ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
]zwqG A eV {FcJha 10. 总结
h,WY2Hr ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
rJc)< OZjT ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
% Dr4~7=7a ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
;~gd<KK ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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Sfoy8<j （来源：讯技光电）
