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    [求助]PMMA基板上镀膜,出现膜裂和脱膜,求大神指点! [复制链接]

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    离线即兴以来
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2015-08-01
    回复本帖可获得1枚光币奖励!
    每人最多可获奖1次,奖池剩余3枚光币 (中奖几率10%)
    现在在PMMA基板上镀AR膜,使用Leybold真空镀膜机,电子枪蒸发方式,选用Ta2O5和SiO2作为镀膜材料;会出现膜裂和脱膜现象,使用3M胶带拉,膜层几乎全部脱落;镀膜前基板未经清洗处理,在真空室中加热到50℃,然后停止加热,开始镀膜,镀膜整个过程中温度未超过50℃。 Hr8$1I$=  
    求大神指点,如何改善工艺才能解决膜裂和脱膜的问题,非常感谢! Dy!bj  
    4\eX=~C>:  
    lVp~oZC6[  
    {-7yZ]OO$  
    +qW w-8  
     
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    离线yzhuang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2015-08-19
    不用离子源吗?用了离子源后50度咋可能控制在50度?除非设置离子源的功率特小,要不离子源的温升效果也很明显呀
    离线即兴以来
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    只看该作者 2楼 发表于: 2015-08-19
    离子源的功率较低,所以整个镀膜过程中温升不明显。
    离线dumoty
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    只看该作者 3楼 发表于: 2015-08-21
    镀膜前基板要清洗,然后退火2-3h,镀完之后再退火2-3h。
    离线woshiyiyun
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    只看该作者 4楼 发表于: 2015-08-30
    膜层与基底结合力不够
    离线即兴以来
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    只看该作者 5楼 发表于: 2015-09-06
    回 dumoty 的帖子
    dumoty:镀膜前基板要清洗,然后退火2-3h,镀完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  {#Cm> @')  
    SFNd,(kB*z  
    请问镀膜前怎么清洗,尝试过用酒精,不行! TmAb! Y|F  
    谢谢!
    离线即兴以来
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    只看该作者 6楼 发表于: 2015-09-06
    回 woshiyiyun 的帖子
    woshiyiyun:膜层与基底结合力不够 (2015-08-30 17:46)  4`]1W,t  
    AOUO',v  
    是的,附着力不行。现在的问题就是如何提高结合力,不知您有没有好的建议? QV1%Zou  
    谢谢!
    离线即兴以来
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    只看该作者 7楼 发表于: 2015-09-06
    回 dumoty 的帖子
    dumoty:镀膜前基板要清洗,然后退火2-3h,镀完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  I'wAgf6W  
    lhU#/}Z  
    退火处理?因为PMMA基板不耐高温,退货处理意义不大吧? huIr*)r&p  
    有点儿不太明白,能否详细说一下? D![Twlll  
    谢谢!
    离线dumoty
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    只看该作者 8楼 发表于: 2015-09-07
    应该不可以用酒精擦吧? (Lp-3Xx  
    超声波清洗,走中性或碱性洗剂。 JQqDUd  
    用60-70度恒温箱退火,去硬力很必要的步骤。
    离线西北风
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    只看该作者 9楼 发表于: 2015-09-17
    现在解决了吗?如果没有可联系我 QQ2860598589