大尺寸元件的电场分布基本是均匀的，考虑衍射效应时也比较容易计算出光场（如电场Ex）分布。对于一般光学系统我们通常只关心我们接收面上的场分布。然而对于亚波长结构光栅，内部场分布则相对复杂，并且Ex和Ey的场分布也不再是简单的一致，而是对于特定偏振的入射光，光栅内部的Ex和Ey则会有各自的特性。这也正是亚波长光栅结构需要使用的矢量衍射效应分析所带来的结果。并且不同方向的电场分布对于偏振特性的分析具有重要的参考意义。因而亚波长结构光栅中，内部场的分析就比较重要。 hqW4.|&\c
在VIrtualLab中，光栅工具箱中不仅提供了近场分析，光栅效率分析，偏振分析等引擎，还提供了光栅内部场分析引擎。从而对于构建好的光栅结构，可以方便计算并观察衬底，栈结构，一个周期或者多个周期或者整个光栅元件的内部场分布。 5[.Dlpa'7
