可以用幾種工具
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1.Macleod jZ~girA
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2.橢圓偏振儀 =d;a1AO{&
3cJ'tRsp<
3.optilayer |;J`~H"K
K"l~bFCZ8
先簡單說一下macleod怎麼使用 L 0Ckw},,
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準備工具 \(??Ytc<B
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1.macleod程式 &&;.7E
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2.空白基板之穿透 gPn0-)<
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3.待測物之穿透 r;@0F
H7uh"/A
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 @Mya|zb
"C}<umJ'
5.計算 OTYkJEC8\N
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6.即可得到NK值及總厚度 6EY\
b0}dy\dnQ
不懂再提出 c6jVx_tt.
-[*y{K@dh