可以用幾種工具 `ASDUgx Mq
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1.Macleod 7+HK_wNi
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2.橢圓偏振儀 "Rj
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3.optilayer U6.aoqb%
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先簡單說一下macleod怎麼使用 ] ?DU8
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準備工具 t`o"K
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1.macleod程式 '/>Mr!H#
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2.空白基板之穿透 d/d)MoaJ*t
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3.待測物之穿透 9X*Nk~}Y
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4.選取1/4波長(1/2波長)位置 {)" 3
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5.計算 /oPW0of
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6.即可得到NK值及總厚度 Sdq}?- &Sa
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不懂再提出 ('&lAn
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