可以用幾種工具 s]U4B<q
R A:jzht
1.Macleod `} =yG_!A
Nl@k*^
2.橢圓偏振儀
(}Sr08m
Sw)i1S9
3.optilayer 9)+@0fG)
4q hWm"&CM
先簡單說一下macleod怎麼使用 jM~Bu.7 i6
AUfS-
準備工具 k#O,j pbB
l&Z
Sm
1.macleod程式 GnFs63
o(*F])d;
2.空白基板之穿透 '-vE%U@<
8pXKO"u],
3.待測物之穿透 0DNU,u
f~=r*&U
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 <l$P&jSF3
!VwmPAMr#v
5.計算 J~KX|QY.S
-gS"pE^1
6.即可得到NK值及總厚度 t9FDU
I"@p aLZ
不懂再提出 G?`-]FMO
B**Nn!}0