可以用幾種工具 x\Sp~]o3C
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1.Macleod Y\p
yl
ydns_Z
2.橢圓偏振儀 jQ`"Op 3
h'-TZXs0e1
3.optilayer C#I),LE|d{
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KqE6
先簡單說一下macleod怎麼使用 m'qMcCE
yJp&A
準備工具
FxZ\)Y
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1.macleod程式 >uuX<\cW
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2.空白基板之穿透 z|b4w7I
7GP?;P
3.待測物之穿透 Ew:JpMR
p[uwG31IL`
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 t'Q48QAb?
+u=xBhZ
5.計算 r\3In-(AT
WJ.PPq>]F
6.即可得到NK值及總厚度 7>ODaj
zWY6D4
不懂再提出 vl*RRoJ
W;-Qze\D