可以用幾種工具 +G7[(Wz(z
&fkH\o7)
1.Macleod JPgFTr
,MHF
2.橢圓偏振儀 /!/Pk'p=/
B/hQvA;(
3.optilayer g ssEdJ
;9J6)zg !n
先簡單說一下macleod怎麼使用 G- ]_
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EF=5[$
u
準備工具 L"jjD:
^d(gC%+!u
1.macleod程式 Bw[IW[(~!
XZ8]se"C
2.空白基板之穿透 I_`NjJ;61
jgkY^l
3.待測物之穿透 9uX15a
0YoV`D,U
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 {\LLiU}MJC
~rAcT6#
5.計算 X~\O]
M$6;&T
6.即可得到NK值及總厚度 ZR{YpLFQ
Y2g%{keo
不懂再提出 ;MlPP)*k
G2|G}#E