可以用幾種工具 (rO_Vfaa
7Ipt~K}
1.Macleod au7%K5
(-*NRY3*
2.橢圓偏振儀 Jfa=#`
Mf7Q+_!
3.optilayer Y(GH/jw
E@TX>M-&
先簡單說一下macleod怎麼使用 4O_z|K_k|
L0uvRge
準備工具 :zfnp,Gv
}HtP8F8!x
1.macleod程式 EQ`;=I3J9y
,!t1( H
2.空白基板之穿透 -cs
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L,!?'.*/]
3.待測物之穿透 -q' n p0H
UfjLNe}wA
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 9|WBJ6
q"ba~@<BEl
5.計算 =2uE\6Fl,
Onb*nm
6.即可得到NK值及總厚度 rt$zM
4NN-'Z>a
不懂再提出 )bRe"jxn7
W"Hjn/xSS