可以用幾種工具 '5'3_vM
?22d},.
1.Macleod - #3{{
Q]< (bD.7
2.橢圓偏振儀 YecT 96%
\% }raI;Y@
3.optilayer yZq?B
O$a#2p&
先簡單說一下macleod怎麼使用 RnHQq'J|\
)T>8XCL\}
準備工具 "$GK.MP5
b.QpHrnhtK
1.macleod程式 x+4vss
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2.空白基板之穿透 Yt -W1vl
L>SZgmV+
3.待測物之穿透 ya:sW5fk
cv3L&zg M
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 A:/}`
'<TD6jBs
5.計算 _*Pfp+if
l1&5uwuF
6.即可得到NK值及總厚度 ~%`EeJwT
d+tj%7
不懂再提出 V|TA:&:7
'f 3HKn<L