可以用幾種工具 P! #[mio
I75DUJqy]
1.Macleod 76h ,]xi
u frL<]A
2.橢圓偏振儀 l#Y,R 0
e [mm
3.optilayer Q:k}Jl
X))/ m[_[
先簡單說一下macleod怎麼使用 +Kbjzh3<wG
AogVF
準備工具 .MoU1n{Yc
]a*d#
1.macleod程式 wHMX=N1/
'^~{@~ ;%L
2.空白基板之穿透 T&u5ki4NE
xH"/1g
3.待測物之穿透 "N bq#w\
fN^8{w/O
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 70tH:Z)"
!/i{l
5.計算 c?[I?ytl
G[I"8iS,
6.即可得到NK值及總厚度 ++Ts
%oa-WmWm
不懂再提出 ZyPVy
k],Q9