可以用幾種工具 G,b*Qn5#
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1.Macleod LO,:k+&A+
NC"X{$o2
2.橢圓偏振儀 7\i> >
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3.optilayer AZ.
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先簡單說一下macleod怎麼使用 Dd:48sN:Jq
K{iC'^wP
準備工具 "i\^GK=
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1.macleod程式 *3(mNpi{_
PSU}fo
2.空白基板之穿透 >%c>R'~h
/b."d\
3.待測物之穿透 nz/cs n
]&"01M~+K
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 >UXNR`?
=AX"'q
5.計算 S3y('
PeF
=<r1sqf
6.即可得到NK值及總厚度 @h%Nn)QBq
:d|~k
不懂再提出 -]Aqt/w"l
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