可以用幾種工具 O}Hf62"
8"%RCE
1.Macleod Y4E/?37j
8S]".
2.橢圓偏振儀 :IMdN}(L
\8S~c8Z~
3.optilayer .~>?*}
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先簡單說一下macleod怎麼使用 qnM|w~G
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準備工具 ?WUF!Jk
PRkSQ4
1.macleod程式 |F[=b'?
lx |5?P
2.空白基板之穿透 /P:.qtT(
a,|?5j9,P
3.待測物之穿透 x}TS
,1oQ cC
4.選取1/4波長(1/2波長)位置
foRD{Hx
2o3EHZ+]cm
5.計算 )w h%|
Z(u5$<up
6.即可得到NK值及總厚度 :O-iykXyI
Y ^KTkS0D
不懂再提出 N~^yL <O
^Hrn ]