可以用幾種工具 W#3Q ^Z?
A1zjPG&]
1.Macleod *<ewS8f*6
!0mI;~q| F
2.橢圓偏振儀 ]- QA'Lq
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3.optilayer W-zP/]Dh
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先簡單說一下macleod怎麼使用 -4_$lnw$
pBA7,z"`mP
準備工具 @/-\k*T
3n}?bY8@5_
1.macleod程式 !ff&W1@
RQu(Wu|m.
2.空白基板之穿透 hSyql
S\!ana])
3.待測物之穿透 ;cN{a&
p|D/;Mk
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 E\pL!c
c.F6~IHu7
5.計算 (n9gkO&8"
x0w4)Ic5
6.即可得到NK值及總厚度 l$bu%SZ
.z}~4BY
不懂再提出 ** G9H
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